【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于紫外光源测试领域，具体地说是一种基于光电效应的真空紫外灯发光性能评价装置。
技术介绍
1、真空紫外灯是一种重要的紫外光源，具有功耗低，体积小，结构简单的特点，可以用作质谱光电离源的光源。真空紫外灯的发光性能是影响光电离源电离效率的重要因素，所以需要一种能够评价真空紫外灯发光性能的装置。
2、一般光电离源内使用的真空紫外灯为充有氪气的放电灯，发射的光子能量为10.6ev，铁的逸出功w为4.5ev。使用真空紫外灯照射铁表面，测量表面溢出的电子量，就可以评价真空紫外灯发光性能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种真空紫外灯发光性能评价装置，能够简便快速地评价真空紫外灯的发光性能。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
3、本专利技术包括真空紫外灯安装模块、腔体部分、光电效应模块、微电流检测模块及真空模块，所述真空紫外灯安装模块包括顶盖，所述顶盖上密封安装有进气毛细管及至少一个真空紫外灯；所述腔体部分包括密封腔体，所述顶盖与...
【技术保护点】
1.一种真空紫外灯发光性能评价装置，其特征在于：包括真空紫外灯安装模块、腔体部分、光电效应模块、微电流检测模块及真空模块，所述真空紫外灯安装模块包括顶盖(6)，所述顶盖(6)上密封安装有进气毛细管(1)及至少一个真空紫外灯；所述腔体部分包括密封腔体(7)，所述顶盖(6)与密封腔体(7)密封连接；所述光电效应模块包括电源(11)及栅网电极(14)，所述微电流检测模块包括法拉第盘(16)及皮安电流计(17)，所述法拉第盘(16)及栅网电极(14)均安装于密封腔体(7)内，所述栅网电极(14)位于法拉第盘(16)的上方，且与所述法拉第盘(16)绝缘设置，所述电源(11)及皮...
【技术特征摘要】
1.一种真空紫外灯发光性能评价装置，其特征在于：包括真空紫外灯安装模块、腔体部分、光电效应模块、微电流检测模块及真空模块，所述真空紫外灯安装模块包括顶盖(6)，所述顶盖(6)上密封安装有进气毛细管(1)及至少一个真空紫外灯；所述腔体部分包括密封腔体(7)，所述顶盖(6)与密封腔体(7)密封连接；所述光电效应模块包括电源(11)及栅网电极(14)，所述微电流检测模块包括法拉第盘(16)及皮安电流计(17)，所述法拉第盘(16)及栅网电极(14)均安装于密封腔体(7)内，所述栅网电极(14)位于法拉第盘(16)的上方，且与所述法拉第盘(16)绝缘设置，所述电源(11)及皮安电流计(17)分别位于密封腔体(7)的外部，所述电源(11)的正极通过导线b(13)与栅网电极(14)连接，所述电源(11)的负极通过导线a(9)与密封腔体(7)连接，所述法拉第盘(16)通过导线c(19)与皮安电流计(17)连接，所述皮安电流计(17)通过导线d(21)与密封腔体(7)连接；所述真空模块位于密封腔体(7)的外部，包括挡板阀(20)、真空泵(22)及抽气管路(25)，所述真空泵(22)通过抽气管路(25)与密封腔体(7)密封连接，所述抽气管路(25)上设有挡板阀(20)。
2.根据权利要求1所述的真空紫外灯发光性能评价装置，其特征在于：所述密封腔体(7)为上端开口的中空结构，由导电材质制成，通过地线(23)接地。
3.根据权利要求1所述的真空紫外灯发光性能评价装置，其特征在于：所述密封腔体(7)内设有支架(24)，所述法拉第盘(16)通过绝缘垫片b(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李海洋，张振元，蒋吉春，樊志刚，花磊，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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