一种真空镀膜除气装置制造方法及图纸

本技术公开了一种真空镀膜除气装置，包括：镀膜箱体，所述镀膜箱体的内部固定安装有第一电机，且第一电机的下端固定连接有连接架，所述镀膜箱体的左端固定安装有安装管，且安装管的内部设置有移动管；衔接杆，其设置在移动管的下方，所述衔接杆的外表面连接有衔接块，且衔接块的左侧设置有衔接轮，所述衔接轮的下端连接有主动轮；波纹伸缩管，其固定连接在移动管的左端，所述波纹伸缩管的下端连接有真空泵，且真空泵的右侧设置有过滤箱体。该真空镀膜除气装置，便于均匀对腔室内部气体进行吸出，便于封堵抽气口，解决了现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜，具体为一种真空镀膜除气装置。

技术介绍

1、真空镀膜指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜，由于镀层常为金属薄膜，故真空镀膜也称为真空金属化，对于具有较高品质要求的镀膜，一般要先对箱体内部进行除气处理，以去除基材表面的水气、氮气等杂气，增加基材表面的清洁性，再进行附着镀层的操作；

2、如中国专利授权公开号为cn219363786u的一种真空镀膜除气装置，其包括镀膜箱体，所述镀膜箱体内相对布设有两组环形抽气管，环形抽气管内端面呈环形阵列布设多组抽气口，所述环形抽气管与抽气部件连接；镀膜箱体两端相对布设有由环形板以及圆板围合而成的环形密封槽，环形密封槽用于容纳环形抽气管以实现对抽气口的密封；其中，环形抽气管与带动其在镀膜箱体内移动的调节机构连接，抽气完成后，通过调节机构带动环形抽气管嵌入至环形密封槽内，进而实现对环形抽气管以及抽气口的密封，避免在对工件进行镀膜时，镀膜材料喷涂在环形抽气管表面，同时，对抽气口进行隔绝，避免镀膜材料从抽气口进入环形抽气管内。

3、但是，目前市场上大部分的真空镀膜除气装置在使用时仍存在一些不足之处，就比如：现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞，且大多难以均匀对腔室内部气体进行吸出，进而存在一定的使用缺陷，因此，我们提出一种真空镀膜除气装置，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种真空镀膜除气装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞，且大多难以均匀对腔室内部气体进行吸出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜除气装置，包括：

3、镀膜箱体，所述镀膜箱体的内部固定安装有第一电机，且第一电机的下端固定连接有连接架，并且连接架的外端固定连接有遮板，所述镀膜箱体的左端固定安装有安装管，且安装管的内部设置有移动管，并且移动管的下端面开设有抽气孔；

4、衔接杆，其设置在移动管的下方，所述衔接杆的外表面连接有衔接块，且衔接块的左侧设置有衔接轮，所述衔接轮的下端连接有主动轮，且主动轮的右端连接有第二电机；

5、波纹伸缩管，其固定连接在移动管的左端，所述波纹伸缩管的下端连接有真空泵，且真空泵的右侧设置有过滤箱体。

6、优选的，所述连接架和遮板均转动连接在镀膜箱体的内部，且遮板的横截面呈弧形设置。

7、优选的，所述移动管滑动连接在安装管的内部，且抽气孔在移动管的下端面从左至右等间距开设。

8、优选的，所述衔接块固定连接在移动管的下端面，且衔接块与衔接杆之间的连接方式为螺纹连接。

9、优选的，所述衔接杆转动安装在安装管的内部，且衔接轮固定连接在衔接杆的外表面。

10、优选的，所述衔接轮与主动轮之间构成啮合连接，且主动轮右端的第二电机固定安装在安装管的下端面。

11、优选的，所述真空泵固定安装在过滤箱体的左端面，且过滤箱体设置在镀膜箱体的左侧。

12、与现有技术相比，本技术的有益效果是：该真空镀膜除气装置，便于均匀对腔室内部气体进行吸出，便于封堵抽气口，解决了现有的真空镀膜除气装置大多直接裸露在腔室内，镀膜材料易进入管道内部造成堵塞的问题；

13、1、设有镀膜箱体、移动管和抽气孔，通过抽气孔在移动管的下端面从左至右等间距开设，当移动管伸入镀膜箱体内部时，可通过抽气孔将镀膜箱体内部气体抽出，由于抽气孔分散设置，增大抽气均匀性，使实用性更佳；

14、2、设有连接架、遮板和移动管，通过第一电机可驱动连接架与遮板旋转，当移动管缩回安装管内侧时，通过遮板可对移动管右端进行封堵，防止镀膜材料进入移动管的内部造成堵塞；

15、3、设有移动管、主动轮和衔接杆，通过第二电机驱动主动轮旋转，即可使衔接轮带动衔接杆旋转，进而通过衔接块带动移动管在安装管的内部横向滑动，从而控制移动管伸入镀膜箱体或缩回安装管中，从而避免移动管受镀膜材料的污染。

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【技术保护点】

1.一种真空镀膜除气装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述连接架(3)和遮板(4)均转动连接在镀膜箱体(1)的内部，且遮板(4)的横截面呈弧形设置。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述移动管(6)滑动连接在安装管(5)的内部，且抽气孔(7)在移动管(6)的下端面从左至右等间距开设。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接块(8)固定连接在移动管(6)的下端面，且衔接块(8)与衔接杆(9)之间的连接方式为螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接杆(9)转动安装在安装管(5)的内部，且衔接轮(10)固定连接在衔接杆(9)的外表面。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接轮(10)与主动轮(11)之间构成啮合连接，且主动轮(11)右端的第二电机(12)固定安装在安装管(5)的下端面。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述真空泵(14)固定安装在过滤箱体(15)的左端面，且过滤箱体(15)设置在镀膜箱体(1)的左侧。

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【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜除气装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述连接架(3)和遮板(4)均转动连接在镀膜箱体(1)的内部，且遮板(4)的横截面呈弧形设置。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述移动管(6)滑动连接在安装管(5)的内部，且抽气孔(7)在移动管(6)的下端面从左至右等间距开设。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气装置，其特征在于：所述衔接块(8)固定连接在移动管(6)的下端面，且衔接块(8)与衔接杆(9)之间的连接方式...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗永安，罗毅，王美军，
申请(专利权)人：宁波恒毅永兴光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：