【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池，特别涉及一种pecvd干燥装置。
技术介绍
1、pecvd设备是光伏设备中重要的镀膜用设备之一，其工艺原理为：pecvd技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。这些分解物发生化学反应，生成形成膜的初始成分和副反应物，这些生成物以化学键的形式吸附到样品表面，生成固态膜的晶核，晶核逐渐生长成岛状物，岛状物继续生长成连续的薄膜。在薄膜生长过程中，各种副产物从膜的表面逐渐脱离，在真空泵的作用下从出口排出。
2、等离子增强型化学气相淀积(pecvd)是化学气相淀积的一种，其淀积温度低是它最突出的优点。pecvd淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，正由于这些优点使其在超大规模集成电路、光电器件、mems等领域具有广泛的应用。
3、不同电池对应不同工艺，不同工艺对应截然不同的pecvd设备，下面是三种不同电池perc、bsf、hjt所需的镀膜工艺：就bsf电池，pecvd设备的在其中的主要作用是镀正表面氮化硅减反射膜；在perc电池工艺中，pecvd设备除了镀正表面减反射膜之外，主要是镀背面钝化膜，包括一层氧化铝膜和一层氮化硅膜，在实际生产中，是先镀一层al
4、由于异质结电池需要双面沉积多层非晶硅薄膜，因此多使用板式pecvd设备，且沉积双面电池时需进行自动化翻片，而自动化翻片过程中由于载板的高温状态会将环境中的水汽凝结在载板上，进而带入反应腔体，对工艺造成不良影响，因此，pecvd自动化环境的湿度是重要影响因素，目前对其主要控制方案为密封后通入氮气，但氮气的泄露会引起员工窒息，且自动化运行过程中常需要开门进行处理，此时就需要将氮气抽离后再进行工作，费时费力，影响设备稼动率。因此如何对异质结电池生产中pecvd自动化环境的湿度进行有效控制是本行业亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种pecvd干燥装置，以提升pecvd设备自动化环境的可控性，达到标准化控制湿度的目的，同时避免常规的通氮气方式对生产带来的诸多不便以及危险性。
2、为了达到上述目的，本技术提供一种pecvd干燥装置，其采用的技术方案如下：
3、一种pecvd干燥装置，包括底座、行走部件、干燥剂、无线湿度传感器以及干燥箱，所述底座的下端设置所述行走部件，所述底座的上端支撑所述干燥箱，所述干燥箱内设置有所述干燥剂，所述干燥箱的外侧设置所述无线湿度传感器。
4、进一步地，所述无线湿度传感器的信号输出端连接处理终端的信号输入端。
5、进一步地，所述处理终端为计算机或智能手机。
6、进一步地，所述行走部件包括驱动轮件以及转向组件，所述转向组件连接所述驱动轮件，以控制所述驱动轮件转向。
7、进一步地，所述转向组件包括转向轴以及转向驱动部件，所述转向驱动部件固定于所述底座，所述转向驱动部件的力矩输出端连接所述转向轴的一端，所述转向轴的另一端连接所述驱动轮件。
8、进一步地，所述转向驱动部件包括转向电机、第一齿轮轴和第二齿轮轴，所述转向电机的力矩输出端同轴连接所述第一齿轮轴，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴啮合，所述第二齿轮轴同轴连接所述转向轴。
9、进一步地，所述驱动轮件包括壳体、轮体、驱动轴以及驱动电机，所述转向轴与所述壳体连接，所述壳体的外侧可转动地设置有所述轮体，所述驱动电机设置于所述壳体内，所述驱动电机的力矩输出端连接所述驱动轴的一端，所述驱动轴的另一端连接所述轮体。
10、进一步地，所述轮体设置为两个，对称地设置于所述壳体的两侧，所述驱动电机具有两个力矩输出端，所述驱动电机的两个力矩输出端分别通过一个驱动轴连接一个轮体。
11、进一步地，所述行走部件设置为4个。
12、本技术的有益效果是：根据本技术的pecvd干燥装置，通过行走部件带动底座上的干燥箱进行移动，通过干燥箱中设置的干燥剂对自动化环境进行干燥，可以保证自动化环境内的湿度处于设定阈值范围内，同时配置有无线湿度传感器以实时监控环境湿度，在环境湿度不达标的情况下，可及时进行干燥剂更换的提醒。
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1.一种PECVD干燥装置，其特征在于，包括底座、行走部件、干燥剂、无线湿度传感器以及干燥箱，所述底座的下端设置所述行走部件，所述底座的上端支撑所述干燥箱，所述干燥箱内设置有所述干燥剂，所述干燥箱的外侧设置所述无线湿度传感器。
2.如权利要求1所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述无线湿度传感器的信号输出端连接处理终端的信号输入端。
3.如权利要求2所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述处理终端为计算机或智能手机。
4.如权利要求1所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述行走部件包括驱动轮件以及转向组件，所述转向组件连接所述驱动轮件，以控制所述驱动轮件转向。
5.如权利要求4所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述转向组件包括转向轴以及转向驱动部件，所述转向驱动部件固定于所述底座，所述转向驱动部件的力矩输出端连接所述转向轴的一端，所述转向轴的另一端连接所述驱动轮件。
6.如权利要求5所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述转向驱动部件包括转向电机、第一齿轮轴和第二齿轮轴，所述转向电机的力矩输出端同轴连接所述
7.如权利要求5所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述驱动轮件包括壳体、轮体、驱动轴以及驱动电机，所述转向轴与所述壳体连接，所述壳体的外侧可转动地设置有所述轮体，所述驱动电机设置于所述壳体内，所述驱动电机的力矩输出端连接所述驱动轴的一端，所述驱动轴的另一端连接所述轮体。
8.如权利要求7所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述轮体设置为两个，对称地设置于所述壳体的两侧，所述驱动电机具有两个力矩输出端，所述驱动电机的两个力矩输出端分别通过一个驱动轴连接一个轮体。
9.如权利要求1至8中任一项所述的PECVD干燥装置，其特征在于，所述行走部件设置为4个。
...【技术特征摘要】
1.一种pecvd干燥装置，其特征在于，包括底座、行走部件、干燥剂、无线湿度传感器以及干燥箱，所述底座的下端设置所述行走部件，所述底座的上端支撑所述干燥箱，所述干燥箱内设置有所述干燥剂，所述干燥箱的外侧设置所述无线湿度传感器。
2.如权利要求1所述的pecvd干燥装置，其特征在于，所述无线湿度传感器的信号输出端连接处理终端的信号输入端。
3.如权利要求2所述的pecvd干燥装置，其特征在于，所述处理终端为计算机或智能手机。
4.如权利要求1所述的pecvd干燥装置，其特征在于，所述行走部件包括驱动轮件以及转向组件，所述转向组件连接所述驱动轮件，以控制所述驱动轮件转向。
5.如权利要求4所述的pecvd干燥装置，其特征在于，所述转向组件包括转向轴以及转向驱动部件，所述转向驱动部件固定于所述底座，所述转向驱动部件的力矩输出端连接所述转向轴的一端，所述转向轴的另一端连接所述驱动轮件。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨骥，师海峰，鲍少娟，黄金，冀杨洲，杨文亮，任法渊，李莎，高英杰，杨泽奇，潘国鑫，张娟，程风，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，
类型：新型
国别省市：
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