【技术实现步骤摘要】
本申请涉及镀覆，尤其是涉及一种立式parylene镀覆装置。
技术介绍
1、聚对二甲苯（parylene，派瑞林）为一种新型热塑性塑料，用于制作极薄薄膜或沉积涂层，聚对二甲苯具有良好的气体、水汽阻隔性能、物理机械性能、电绝缘性以及防腐蚀性，是最有效的防潮、防霉、防腐以及防盐雾涂层材料。
2、现有聚对二甲苯膜层形成的原理是：粉末状的对二甲苯二聚体原料经过大约150℃的加热，升华为气态二聚体分子状态，然后经过大约700℃的高温，裂解成气态单分子自由基状态，最后在室温真空沉积腔体中自由基聚合形成聚对二甲苯高分子膜层;而对于无法在沉积室成膜的气态分子，则会沉积在冷机部位进行回收。
3、自动化真空气相沉积系统是通过气相沉积方式制备聚对二甲苯涂层的一种设备，将待镀膜的工件放置在镀膜室内的工件架上，然后向腔体内通入带有派瑞林的气体，带有派瑞林的气体与腔体内的物体表面接触从而在物体表面形成派瑞林镀膜。但是现有的派瑞林镀膜设备大都采用通孔喷淋类设计，在镀膜过程中，气体易在其它非孔的空间沉积或受到非孔空间的阻挡，导致气体流动能量急剧...
【技术保护点】
1.一种立式parylene镀覆装置，其特征在于，包括：依次设置的料仓、蒸发室、裂解室和沉积室；所述蒸发室的入口与所述料仓连接，所述蒸发室的出口与所述裂解室的入口连接，所述裂解室的出口与所述沉积室的入口连接；
2.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆装置，其特征在于，所述挡板的顶部与所述腔体侧壁的上端边沿的高度差为8mm~15mm。
3.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆装置，其特征在于，所述挡板的弧度与所述腔体侧壁的弧度一致，所述挡板的半径小于所述腔体侧壁的半径。
4.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆...
【技术特征摘要】
1.一种立式parylene镀覆装置，其特征在于，包括：依次设置的料仓、蒸发室、裂解室和沉积室；所述蒸发室的入口与所述料仓连接，所述蒸发室的出口与所述裂解室的入口连接，所述裂解室的出口与所述沉积室的入口连接；
2.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆装置，其特征在于，所述挡板的顶部与所述腔体侧壁的上端边沿的高度差为8mm~15mm。
3.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆装置，其特征在于，所述挡板的弧度与所述腔体侧壁的弧度一致，所述挡板的半径小于所述腔体侧壁的半径。
4.根据权利要求1所述的立式parylene镀覆装置，其特征在于，所述沉积室的入口在所述挡板上的正投影位于所述挡板沿宽度方向的中点位置；和/或，所述挡板的宽度为150mm~250mm。
【专利技术属性】
技术研发人员：张岳，杜新伍，张金刚，兰德，金超，
申请(专利权)人：上海派拉纶生物技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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