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本申请涉及镀覆技术领域，具体涉及一种立式parylene镀覆装置，包括：依次设置的料仓、蒸发室、裂解室和沉积室；所述蒸发室的入口与所述料仓连接，所述蒸发室的出口与所述裂解室的入口连接，所述裂解室的出口与所述沉积室的入口连接；所述裂解室的出口...
该专利属于上海派拉纶生物技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海派拉纶生物技术股份有限公司授权不得商用。

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