一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置及校准方法制造方法及图纸

技术编号:41314593 阅读:23 留言:0更新日期:2024-05-13 14:56
本发明专利技术公开了一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置及校准方法,该装置包括:直线运动导轨,包括固定工作台以及移动工作台;移动工作台上承载有被校仪器的测量目标以及激光干涉仪的反射镜;固定工作台上固定有激光干涉仪的干涉镜;同步触发器,具有多个输出同步脉冲信号的输出端口,分别与激光干涉仪以及被校仪器连接;激光干涉仪响应于同步脉冲信号测量移动工作台的位移量;被校仪器响应于同步脉冲信号测量测量目标的位置信息;上位机用于接收移动工作台的位移量以及测量目标的位置信息。采用激光干涉仪作为长度标准器,采用同步触发器作为时间标准器,通过同步触发标准器与被校仪器测量,完善动态校准在长度和时间上的溯源链。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及计量测试领域,尤其涉及一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置及校准方法


技术介绍

1、近年来,以激光跟踪仪为代表的大尺寸坐标类测量仪器常应用于部件调姿、对接等动态测量场景。因此,大尺寸坐标类测量仪器的动态测量性能,特别是瞬时误差必须进行校准。目前,仅《jjf 1242—2021激光跟踪三维坐标测量系统校准规范》中涉及动态参数校准,推荐采用标准圆轨迹发生器作为标准设备,激光跟踪仪追踪测量随标准圆轨迹发生器运动的球面反射靶标,取一周的测量点集拟合圆周并计算直径以测试动态示值误差及动态示值变动量。

2、但是,《jjf 1242—2021激光跟踪三维坐标测量系统校准规范》中未标明标准圆轨迹发生器的时间参数的计量要求,且在动态示值误差及动态示值变动量的计算中圆周拟合忽略时间信息,动态校准在时间层面的溯源链缺失。因此,基于标准圆轨迹发生器的动态校准方法不适用于激光跟踪仪等大尺寸坐标类测量仪器的瞬时误差等时变参数的溯源。


技术实现思路

1、为弥补基于标准圆轨迹发生器的动态校准方法不适用于激光跟本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于包括:直线运动导轨(1)、激光干涉仪(2)、同步触发器(3)以及上位机(4);

2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于:直线运动导轨(1)包括大理石基底,所述移动工作台(101)通过金属直线导轨滑动设置在大理石基底上;所述驱动机构为直线电机,与所述上位机连接;在大理石基底以及所述移动工作台(101)之间设置有光栅尺;所述直线电机构与所述光栅尺构成闭环控制,驱动移动工作台(101)按设定速度及加速度沿导轨运动。

3.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装...

【技术特征摘要】

1.一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于包括:直线运动导轨(1)、激光干涉仪(2)、同步触发器(3)以及上位机(4);

2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于:直线运动导轨(1)包括大理石基底,所述移动工作台(101)通过金属直线导轨滑动设置在大理石基底上;所述驱动机构为直线电机,与所述上位机连接;在大理石基底以及所述移动工作台(101)之间设置有光栅尺;所述直线电机构与所述光栅尺构成闭环控制,驱动移动工作台(101)按设定速度及加速度沿导轨运动。

3.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于:直线运动导轨(1)包括大理石导轨,所述移动工作台(101)为滑动设置在所述大理石导轨上的气浮工作台;所述驱动机构为伺服电机驱动的摩擦轮。

4.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征在于:所述反射镜(201)、干涉镜以及所述激光干涉仪(2)的三者共线,且经过三者中心的直线与所述移动工作台(101)的运动方向平行。

5.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:任瑜张丰胡晓磊郭志敏傅云霞
申请(专利权)人:上海市计量测试技术研究院中国上海测试中心华东国家计量测试中心上海市计量器具强制检定中心
类型:发明
国别省市:

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