下载一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置及校准方法的技术资料

文档序号:41314593

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本发明公开了一种基于激光干涉及同步触发的动态校准装置及校准方法,该装置包括:直线运动导轨,包括固定工作台以及移动工作台;移动工作台上承载有被校仪器的测量目标以及激光干涉仪的反射镜;固定工作台上固定有激光干涉仪的干涉镜;同步触发器,具有多个输...
该专利属于上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)所有,仅供学习研究参考,未经过上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心)授权不得商用。

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