【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及包括从顶面辐射激光的谐振器结构的垂直腔面发射激光器。
技术介绍
垂直腔面发射激光器在垂直于基板的方向上辐射光，与现有的法布里-珀罗(Fabry-Perot)谐振器激光二极管不同。在垂直腔面发射激光器中，很 多谐振器结构可在同一基板上设置为二维阵列状态。因此，近来垂直腔面发 射激光器在数据通讯领域等已经引起人们的注意。这样类型的激光二极管通常包括台面状的谐振器结构，其中下DBR层、 下分隔层、有源层、上分隔层、上DBR层和接触层依次层叠在基板上。在 下DBR层和上DBR层之一中，为了改善电流注入有源层的效率和降低阈值 电流，提供具有限制电流注入区域结构的电流限制层。此外，电极分别提供 在接触层的前面和基板的背面。在激光二极管中，从电极注入的电流受到电 流限制层的限制，然后注入有源层中，并由于电子-空穴复合而在有源层中 发光。由一对多层膜反射器反射光，在给定的波长产生激光振荡，并且从谐 振器结构的顶面辐射作为激光的光。在前述激光二极管中，已知的是在激光辐射区域中，基横模振荡(basic transverse mode )主要产生在中心区域中，而高阶横...
【技术保护点】
一种垂直腔面发射激光器，在基板上从该基板侧依次包括： 第一多层膜反射器； 有源层，具有发光区域； 第二多层膜反射器；以及 反射率调整层，其中 该第一多层膜反射器和该第二多层膜反射器具有层叠结构，该层叠结构中振荡 波长λ↓［ｘ］的反射率几乎为常数，而不依赖于温度变化， 该有源层由在温度高于常温时获得最大增益的材料制作，并且 该反射率调整层具有层叠结构，该层叠结构中该发光区域的中心区域的相对区域的反射率Ｒ↓［ｘ］与该发光区域的外边缘区域的相 对区域的反射率Ｒ↓［ｙ］之差ΔＲ（＝Ｒ↓［ｘ］－Ｒ↓［ｙ］...
【技术特征摘要】
JP 2008-8-14 209057/081、一种垂直腔面发射激光器，在基板上从该基板侧依次包括第一多层膜反射器；有源层，具有发光区域；第二多层膜反射器；以及反射率调整层，其中该第一多层膜反射器和该第二多层膜反射器具有层叠结构，该层叠结构中振荡波长λx的反射率几乎为常数，而不依赖于温度变化，该有源层由在温度高于常温时获得最大增益的材料制作，并且该反射率调整层具有层叠结构，该层叠结构中该发光区域的中心区域的相对区域的反射率Rx与该发光区域的外边缘区域的相对区域的反射率Ry之差ΔR(＝Rx-Ry)随着温度从常温增加到高温而增加。2、 根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中该反射率调整层 具有该反射率Ry随着温度从常温增加到高温而减小的层叠结构。3、 根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中该反射率调整层 具有该反射率Ry随着温度从常温增加到高温的减小率大于该反射率Rx随着 温度从常温增加到高温的减小率的层叠结构。4、 根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中 该反射率调整层在该发光区域的该外边缘区域的相对区域中具有第三多层膜反射器，并且在该发光区域的该中心区域的相对区域中具有开口，在 该第三多层膜反射器中，给定波长范围内的反射率随着波长的增长而减小， 该给定波长范围包括该振荡波长^和对应于该有源层的带隙的发光波长、 (<^)，并且该开口由该第三多层膜反射器围绕。5、 根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中 该反射率调整层至少在该发光区域的整个相对区域中具有第三多层膜反射器，在该第三多层膜反射器中，给定波长范围内的反射率随着波长的增 长而减小，并且该给定波长范围包括该振荡波长、和对应于该有源层的带隙 的发光波长、(<、)，而且该反射率调整层在该第三多层膜反射器上具有第四多层膜反射器，在该 第四多层膜反射器中，在给定的波长内，该发光区域的该外边缘区域的相对区域中的反射率低于该发光区域的该中心区域的相对区域中的反射率，并且该给定的波长大于25 °C时的振荡波长、。6、 根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其中该有源层由这样 的材料制作该材料25时的振荡波长^与对应于该...
【专利技术属性】
技术研发人员：前田修，增井勇志，汐先政贵，荒木田孝博，河角孝行，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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