下载垂直腔面发射激光器的技术资料

文档序号:4131301

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本发明提供垂直腔面发射激光器,从基板侧依次包括:第一多层膜反射器;有源层,具有发光区域;第二多层膜反射器;以及反射率调整层。第一多层膜反射器和第二多层膜反射器具有层叠结构,其中振荡波长λ↓[x]的反射率几乎为常数而不依赖于温度变化。有源层由...
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