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一种复合陶瓷均热板及其制备方法技术

技术编号:41312072 阅读:21 留言:0更新日期:2024-05-13 14:55
本发明专利技术涉及散热器件领域,涉及一种复合陶瓷均热板及其制备方法。所述包括两个单侧基板,两个单侧基板相连接形成均热板壳体,所述单侧基板通过陶瓷浆料干燥、烧结而成;按体积比,所述陶瓷浆料包括:5‑6份陶瓷颗粒、2‑4份金属颗粒和2‑3份粘结剂;下基板表面设有吸液芯结构,所述吸液芯结构内部有金属颗粒,所述吸液芯结构表面设有凹坑结构。复合陶瓷均热板中的金属颗粒被陶瓷颗粒和结合剂包裹,此包裹层可以隔绝金属腐蚀液。在加工出沟槽吸液芯结构后,沟槽表面的金属颗粒被暴露出来,通过金属腐蚀液去除表面暴露的金属颗粒后产生大量微凹坑,使吸液芯结构表面粗化,有效提升其毛细压力,进而增强均热板的传热性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及散热器件领域,涉及一种复合陶瓷均热板及其制备方法


技术介绍

1、随着电子技术的快速发展,射频器件和微处理器等电子器件的高度集成化导致了芯片等发热单元的热流密度大幅增加,需要及时且高效地将热量释放到外界以降低电子器件的温度。热管和均热板均是利用内部液态工作介质的相变过程来实现热量快速传导的传热元件。其中,热管是一种一维传热器件,一般是管状或扁平状,利用液态的工作介质在热管的蒸发端受热蒸发,并带走热量,该热量为工作介质的蒸发潜热,蒸汽从中心通道流向热管的冷凝段,凝结成液体,同时放出潜热。在毛细力的作用下,液体回流到蒸发段。而均热板是一种二维传热平面器件,一般是面积较大的平板结构,工作介质同样在蒸发端蒸发,并在冷凝端冷凝后经过内部毛细结构回流到蒸发端。然而,在电子器件上使用金属均热板存在诸多问题:金属均热板有导电性,与电子器件直接接触时存在短路风险;芯片与金属均热板的热膨胀系数差异较大,容易发生连接失效进而导致传热受阻。

2、陶瓷材料具有绝缘性且热膨胀系数与芯片接近,是制造均热板的理想材料。然而,由于陶瓷材料具有硬脆性,只能通过磨削和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种复合陶瓷均热板,其特征在于,包括两个单侧基板,两个单侧基板相连接形成均热板壳体,所述单侧基板通过陶瓷浆料干燥、烧结而成;

2.根据权利要求1所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,所述陶瓷颗粒的粒径为0.2-5μm。

3.根据权利要求1所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,金属颗粒的粒径比陶瓷颗粒大2-20μm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,金属颗粒为银、铜、铝、铁、锌颗粒中的一种或几种;陶瓷颗粒为碳化硅、氮化硅、氧化铝和氮化铝中的一种或几种。

5.一种复合陶瓷均热板的制备方法,其特征在于,包括:

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【技术特征摘要】

1.一种复合陶瓷均热板,其特征在于,包括两个单侧基板,两个单侧基板相连接形成均热板壳体,所述单侧基板通过陶瓷浆料干燥、烧结而成;

2.根据权利要求1所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,所述陶瓷颗粒的粒径为0.2-5μm。

3.根据权利要求1所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,金属颗粒的粒径比陶瓷颗粒大2-20μm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的复合陶瓷均热板,其特征在于,金属颗粒为银、铜、铝、铁、锌颗粒中的一种或几种;陶瓷颗粒为碳化硅、氮化硅、氧化铝和氮化铝中的一种或几种。

5.一种复合陶瓷均热板的制备方法,其特征在于,包括:

6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐恒林淦昌汤勇赵航伍晓宇许家祥
申请(专利权)人:深圳大学
类型:发明
国别省市:

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