System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种真空镀膜玻璃的制备方法技术_技高网

一种真空镀膜玻璃的制备方法技术

技术编号:41311643 阅读:14 留言:0更新日期:2024-05-13 14:54
本发明专利技术公开了一种真空镀膜玻璃的制备方法,属于玻璃生产技术领域,包括以下步骤:待镀玻璃经洗净干燥处理后,进行预溅射3‑4min,得到预溅射基片,在预溅射基片的镀膜基面上,从里到外依次镀设增强层、低辐射层、功能层,其中,增强层的靶材为钛铝合金靶材,镀设厚度为45‑60nm;低辐射层的靶材为银铜合金靶材,镀设厚度为110‑130nm;功能层的靶材为改性靶材,镀设厚度为45‑60nm,溅射完成后,冷却至室温,得到真空镀膜玻璃。本发明专利技术制备的真空镀膜玻璃具有优异的抗水抗油抗指纹性能,同时,所制备的玻璃为一种低辐射(辐照率≤0.221)玻璃。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于玻璃生产,具体涉及一种真空镀膜玻璃的制备方法


技术介绍

1、玻璃真空镀膜的制备方法主要包括真空磁控溅射法、真空蒸镀法、化学气相沉积法。其中,磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系,可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色,膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好,是现有生产和使用最多的玻璃品种。

2、低辐射(low-e)玻璃是采用真空磁控溅射一层或多层银膜于普通玻璃上,以减少其对室外能量的吸收,达到室内和室外热量相互传递的目的。low-e玻璃应用到建筑中,能够实现“冬暖夏凉”的作用。目前,将low-e玻璃运用到汽车玻璃行业已经如火如荼地开展,low-e玻璃的使用,能够实现车内冬暖夏凉,降低空调使用能耗的目的。但是与建筑领域不同,将low-e玻璃运用到汽车玻璃上,需要增强low-e玻璃的抗指纹、抗污性能,以提高车辆行驶过程中的安全性。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜玻璃的制备方法,以提高low-e玻璃的抗指纹、抗污性能。

2、本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:

3、一种真空镀膜玻璃的制备方法,包括以下步骤:

4、步骤s1、待镀玻璃经洗净干燥处理后,得到洗净基片,将洗净基片置于磁控溅射沉积系统的真空镀膜室的溅射样品台上,将镀膜室进行抽真空,控制真空度为0.0035-0.005pa;

5、步骤s2、在室温条件下,预溅射3-4min,得到预溅射基片;

6、步骤s3、在预溅射基片的镀膜基面上,从里到外依次镀设增强层、低辐射层、功能层,具体地,镀设增强层过程中,靶材为钛铝合金靶材,增强层的镀设厚度为45-60nm,溅射完成后,镀设低辐射层,镀设低辐射层过程中,靶材为银铜合金靶材,低辐射层的镀设厚度为110-130nm,溅射完成后,镀设功能层,镀设功能层过程中,靶材为改性靶材,功能层的镀设厚度为45-60nm,溅射完成后,冷却至室温,得到真空镀膜玻璃。

7、进一步地,步骤s1中所述洗净干燥处理过程,包括以下步骤:

8、将待镀玻璃切割成2cm×2cm×0.3cm的待镀基片;

9、将待镀基片置于盛有30-40wt%的盐酸的烧杯中浸泡15-20min,除去待镀基片表面的油渍等,浸泡完毕后,取出,再置于盛有无水乙醇的超声波清洗机中超声清洗30min,最后置于盛有去离子水的超声波清洗机中超声清洗30min,清洗待镀基片表面残留的盐酸和无水乙醇,超声清洗完毕后,取出,置于80-100℃烘干室内干燥1-2h,取出冷却后,得到洗净基片。

10、进一步地,步骤s2中所述预溅射的参数设定:设定靶基距为70-80mm,向镀膜室内通入保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为1.0-1.4pa,靶功率为75-95w。

11、进一步地,步骤s3中所述钛铝合金靶材的纯度为4n,钛含量为45%,半径为50mm,厚度为5mm;所述银铜合金靶材的纯度为5n,银含量为65%,半径为50mm,厚度为5mm。

12、进一步地,步骤s3中镀设所述增强层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1pa,靶功率为70-80w,溅射时间为70-90min。

13、进一步地,步骤s3中镀设所述低辐射层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1pa,靶功率为70-80w,溅射时间为100-120min。

14、进一步地,步骤s3中镀设所述功能层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1pa,靶功率为70-80w,溅射时间为70-90min。

15、进一步地,所述保护气为氮气或氩气。

16、进一步地,步骤s3中所述改性靶材由以下步骤制备:

17、将钛粉和聚四氟乙烯微粉按照质量比3-4:4充分搅拌混合后压块,压制成圆盘状靶材,半径为50mm,厚度为5mm,压制完成后,得到改性靶材。

18、本专利技术的有益效果:

19、本专利技术提高了一种真空镀膜玻璃的制备方法,本专利技术制备的真空镀膜玻璃具有优异的抗水抗油抗指纹性能,同时,所制备的玻璃为一种低辐射(辐照率≤0.221)玻璃。

20、本专利技术通过真空磁控溅射法在洗净的玻璃基片上,从里到外依次镀设增强层、低辐射层、功能层。其中,增强层为钛铝层,低辐射层为银铜层,功能层由镀设聚四氟乙烯和钛混合制备的改性靶材而形成。其中,增强层用于提高低辐射层和功能层的附着力,低辐射层通过镀设银铜层实现隔热保温作用,氮化钛和聚四氟乙烯的功能层,该功能层具有较好的抗水抗油抗指纹特性。最终制备的真空镀膜玻璃综合了抗水抗油抗指纹和低辐射的优点。

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【技术保护点】

1.一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S1中所述洗净干燥处理过程,包括以下步骤:

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S2中所述预溅射的参数设定:设定靶基距为70-80mm,向镀膜室内通入保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为1.0-1.4Pa,靶功率为75-95W。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S3中所述钛铝合金靶材的纯度为4N,钛含量为45%,半径为50mm,厚度为5mm;所述银铜合金靶材的纯度为5N,银含量为65%,半径为50mm,厚度为5mm。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S3中镀设所述增强层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1Pa,靶功率为70-80W,溅射时间为70-90min。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S3中镀设所述低辐射层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1Pa,靶功率为70-80W,溅射时间为100-120min。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S3中镀设所述功能层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为0.9-1.1Pa,靶功率为70-80W,溅射时间为70-90min。

8.根据权利要求3、5、6、7中任一项所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,所述保护气为氮气或氩气。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤S3中所述改性靶材由以下步骤制备:

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【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤s1中所述洗净干燥处理过程,包括以下步骤:

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤s2中所述预溅射的参数设定:设定靶基距为70-80mm,向镀膜室内通入保护气,通入流量为2.5-5sccm,设定溅射气压为1.0-1.4pa,靶功率为75-95w。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤s3中所述钛铝合金靶材的纯度为4n,钛含量为45%,半径为50mm,厚度为5mm;所述银铜合金靶材的纯度为5n,银含量为65%,半径为50mm,厚度为5mm。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜玻璃的制备方法,其特征在于,步骤s3中镀设所述增强层的参数设定:溅射气氛为保护气,通入流量为2.5-5scc...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘青龙
申请(专利权)人:安徽省大诚智能玻璃有限公司
类型:发明
国别省市:

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