【技术实现步骤摘要】
本技术涉及曝光光源领域，特别涉及超高压紫外曝光光源。
技术介绍
1、近年来，在电路板、液晶基板、半导体等制造工序中，通过使用较大功率紫外光源，实现处理时间缩短，大面积曝光处理物均匀曝光等，因此，作为输入紫外光源中要求放出更高亮度，曝光装置光源过大，易导致设备安装难，并且存在爆裂危险，导致设备损坏。
2、但是超高压曝光灯电极与玻璃紧密接触在形成封固中产生裂痕，电极与玻璃紧密接触面积越大，现象越显著，这是由于在超高压放电灯反复点灯闪烁，在电极膨胀收缩与玻璃膨胀收缩之间产生热膨胀系数之差，在玻璃中产生应力，不便于对电机与玻璃封装时进行防护。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供超高压紫外曝光光源，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃，所述球泡玻璃内腔的一端设置有光源阳极，所述球泡玻璃内腔的另一端设置有光源阴极，所述光源阳极的放电端与光源阴极的放电端相对；
3、所述光源阳极与光源阴极相背的一端均固定连接有钨杆绕丝，所述钨杆绕丝固封于球泡玻璃的内部；
4、所述钨杆绕丝包括钨杆和钨丝，所述钨丝固定缠绕于钨杆的外部。
5、优选的，所述球泡玻璃的两端均固定套设有钼片，所述球泡玻璃的两端均固定连接有钼丝，所述钼片的一侧与钨杆绕丝固定连接，所述钼片的另一侧与钼丝固定连接。
6、优选的，所述球泡玻璃的外部设置有触发线，所述触发线的两端分别缠绕于球泡玻璃外壁的
7、优选的，所述光源阳极与光源阴极之间放电形成电弧，光源阳极与光源阴极材料均为纯钨，所述光源阴极的体积小于光源阳极的体积，所述光源阴极的前端为圆锥形状。
8、优选的，所述光源阴极的外部开设有多个凹槽，所述光源阳极与球泡玻璃封口端口距离为4.5mm-5.5mm，所述光源阳极与光源阴极之间距离为1.1mm-1.5mm。
9、优选的，所述球泡玻璃为石英玻璃，所述球泡玻璃的内部封入水银、稀有气体和卤素气体，所述球泡玻璃形状为椭球形。
10、本技术的技术效果和优点：
11、本技术利用球泡玻璃、光源阳极、光源阴极、触发线、钼片、钼丝和钨杆绕丝的配合使用方式，钨杆绕丝是由钨杆外部缠绕钨丝组合而成，封固电极钨杆部分进行纯钨缠绕，缩小电极与玻璃紧密接触面积，缓和发生在玻璃界面上应力，从而防止产生裂痕。
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1.超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃(1)，所述球泡玻璃(1)内腔的一端设置有光源阳极(2)，所述球泡玻璃(1)内腔的另一端设置有光源阴极(3)，所述光源阳极(2)的放电端与光源阴极(3)的放电端相对；
2.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的两端均固定套设有钼片(5)，所述球泡玻璃(1)的两端均固定连接有钼丝(6)，所述钼片(5)的一侧与钨杆绕丝(7)固定连接，所述钼片(5)的另一侧与钼丝(6)固定连接。
3.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的外部设置有触发线(4)，所述触发线(4)的两端分别缠绕于球泡玻璃(1)外壁的两端，所述触发线(4)的一端与其中一个钼丝(6)固定连接。
4.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述光源阳极(2)与光源阴极(3)之间放电形成电弧(8)，光源阳极(2)与光源阴极(3)材料均为纯钨，所述光源阴极(3)的体积小于光源阳极(2)的体积，所述光源阴极(3)的前端为圆锥形状。
5.根据权利要求4所述的超高压紫外曝光光
6.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)为石英玻璃，所述球泡玻璃(1)的内部封入水银、稀有气体和卤素气体，所述球泡玻璃(1)形状为椭球形。
...【技术特征摘要】
1.超高压紫外曝光光源，包括球泡玻璃(1)，所述球泡玻璃(1)内腔的一端设置有光源阳极(2)，所述球泡玻璃(1)内腔的另一端设置有光源阴极(3)，所述光源阳极(2)的放电端与光源阴极(3)的放电端相对；
2.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的两端均固定套设有钼片(5)，所述球泡玻璃(1)的两端均固定连接有钼丝(6)，所述钼片(5)的一侧与钨杆绕丝(7)固定连接，所述钼片(5)的另一侧与钼丝(6)固定连接。
3.根据权利要求1所述的超高压紫外曝光光源，其特征在于，所述球泡玻璃(1)的外部设置有触发线(4)，所述触发线(4)的两端分别缠绕于球泡玻璃(1)外壁的两端，所述触发线(4)的一端与其中一个钼丝(6)固定连接。
【专利技术属性】
技术研发人员：李治显，赵勇伟，
申请(专利权)人：苏州汇影光学技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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