【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及板状元件蚀刻薄化领域，尤其涉及一种薄化过程中所使用的蚀刻装置。
技术介绍
1、目前，显示装置被广泛应用在许多电子产品上，如手机、平板电脑、手表等。随着用户对电子产品的要求越来越高，如今电子产品朝着轻薄化方向不断发展。以显示面板为例，其对盒完成后，可利用玻璃基板与酸液之间的化学反应，对上下两块玻璃基板进行蚀刻薄化，使得显示面板的整体厚度减薄。在蚀刻薄化的过程中，相邻两个腔室之间的接合区无法安装腔室内所正常使用的主动传送轴，影响了显示面板在接合区的正常传送。
2、因此，如何设计一种蚀刻装置，能够在蚀刻过程中实现接合区正常传送显示面板，为业界需要解决的技术问题之一。
技术实现思路
1、因此，本专利技术的目的在于提供一种蚀刻装置，以解决上述问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术提出一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，该蚀刻装置包含第一腔室、第二腔室及接合区，第一腔室及第二腔室各自设置有沿第一方向排列并沿第二方向延伸的多个主动传送轴，该第一方向与该第二方向垂...
【技术保护点】
1.一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含，
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第一从动轮组件，每一第一从动轮组件包含沿该第一方向间隔排列的第一从动轮及第二从动轮，该第一从动轮与该第二从动轮之间具有第四间距h4，其中，h4＜h1。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，沿该第一方向，定义该第一腔室内邻近该第一从动轮模块的主动传送轴为第三主动传送轴，各第二从动轮与该第三主动传送轴之间具有第五间距h5，该第三主动传送轴与该第一主动传送轴之间具有第六间距h6，其中...
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含，
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第一从动轮组件，每一第一从动轮组件包含沿该第一方向间隔排列的第一从动轮及第二从动轮，该第一从动轮与该第二从动轮之间具有第四间距h4，其中，h4＜h1。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，沿该第一方向，定义该第一腔室内邻近该第一从动轮模块的主动传送轴为第三主动传送轴，各第二从动轮与该第三主动传送轴之间具有第五间距h5，该第三主动传送轴与该第一主动传送轴之间具有第六间距h6，其中，h4＜h5＜h2，2*h3＜h6＜3*h3。
4.根据该权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，该第三主动传送轴的顶点位于第三平面，该第三平面低于该第一平面。
5.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，该接合区还设置有具有沿该第二方向延伸的第一固定架及第二固定架，该多个第一从动轮组件均匀固定于该第一固定架上，该多个第二从动轮组件均匀固定于该第二固定架上。
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，每一第一从动轮组件包含第一底座、相对...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏凡星，杨东，李翔宇，李鸿，蔡照辉，
申请(专利权)人：友达光电昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：
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