【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及板状元件蚀刻薄化领域，尤其涉及一种薄化过程中所使用的蚀刻装置。
技术介绍
1、目前，显示装置被广泛应用在许多电子产品上，如手机、平板电脑、手表等。随着用户对电子产品的要求越来越高，如今电子产品朝着轻薄化方向不断发展。以显示面板为例，其对盒完成后，可利用玻璃基板与酸液之间的化学反应，对上下两块玻璃基板进行蚀刻薄化，使得显示面板的整体厚度减薄。在蚀刻薄化的过程中，相邻两个腔室之间的接合区无法安装腔室内所正常使用的主动传送轴，影响了显示面板在接合区的正常传送。
2、因此，如何设计一种蚀刻装置，能够在蚀刻过程中实现接合区正常传送显示面板，为业界需要解决的技术问题之一。
技术实现思路
1、因此，本专利技术的目的在于提供一种蚀刻装置，以解决上述问题。
2、为了达到上述目的，本专利技术提出一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，该蚀刻装置包含第一腔室、第二腔室及接合区，第一腔室及第二腔室各自设置有沿第一方向排列并沿第二方向延伸的多个主动传送轴，该第一方向与该第二方向垂直，该多个主动传送轴用于将该板状元件自该第二腔室传送至该第一腔室；该第一腔室、该接合区及该第二腔室沿该第一方向相邻接，该接合区于该第一方向间隔设置有邻近该第一腔室的第一从动轮模块及邻近该第二腔室的第二从动轮模块，定义该第二腔室内邻近该第二从动轮模块的主动传送轴为第一主动传送轴及第二主动传送轴，该第一主动传送轴位于该第二主动传送轴与该第二从动轮模块之间；其中，沿该第一方向，该第一从动轮模块与该第二从
3、作为可选的技术方案，该第一从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第一从动轮组件，每一第一从动轮组件包含沿该第一方向间隔排列的第一从动轮及第二从动轮，该第一从动轮与该第二从动轮之间具有第四间距h4，其中，h4＜h1。
4、作为可选的技术方案，沿该第一方向，定义该第一腔室内邻近该第一从动轮模块的主动传送轴为第三主动传送轴，各第二从动轮与该第三主动传送轴之间具有第五间距h5，该第三主动传送轴与该第一主动传送轴之间具有第六间距h6，其中，h4＜h5＜h2，2*h3＜h6＜3*h3。
5、作为可选的技术方案，该第三主动传送轴的顶点位于第三平面，该第三平面低于该第一平面。
6、作为可选的技术方案，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，该接合区还设置有具有沿该第二方向延伸的第一固定架及第二固定架，该多个第一从动轮组件均匀固定于该第一固定架上，该多个第二从动轮组件均匀固定于该第二固定架上。
7、作为可选的技术方案，每一第一从动轮组件包含第一底座、相对的两个第一限位片、该第一从动轮、该第二从动轮及两个第一锁固件，该第一底座固定于该第一固定架上，该两个第一限位片相对并间隔设置于该第一底座上以形成第一限位空间，该第一从动轮、该第二从动轮位于该第一限位空间内并经由该两个第一锁固件各自锁固于该两个第一限位片上。
8、作为可选的技术方案，该第一底座具有第一卡合部，每一第一从动轮组件还具有第二锁固件，该第一卡合部卡合于该第一固定架上，该第二锁固件将该第一底座锁固于该第一固定架上。
9、作为可选的技术方案，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，每一第二从动轮组件包含第二底座、两个第二限位件、第三从动轮及第三锁固件，该第三从动轮与该第一从动轮模块具有该第三间距h3，该第二底座固定于该第二固定架上，该两个第二限位件相对并间隔设置于该第二底座上以形成第二限位空间，该第三从动轮位于该第二限位空间内并经由该第三锁固件锁固于该两个第二限位件上。
10、作为可选的技术方案，各第一从动轮及各第二从动轮具有第一直径d1，该第一主动传送轴具有第二直径d2，其中，d1＜d2。
11、作为可选的技术方案，1＜d2/d1＜1.5。
12、本专利技术的蚀刻装置，邻接于两腔室间的接合区内设置有两个从动轮模块，相邻主动传送轴的间距、从动轮模块与相邻主动传送轴的间距、两从动轮模块的间距依次减小，如此，增加了接合区的支撑性，减轻了板状元件(尤其是前端部)受重力作用发生弯曲的程度，避免传送过程中板状元件与从动轮模块发生干涉而导致从动轮模块受损或板状元件破损，影响正常传送。进一步的，沿传送方向，将两从动轮模块的顶点设置为不在同一平面，即使板状元件的前端部因受重力作用而发生些微弯曲，亦可避免传送过程中板状元件低于从动轮模块的顶点而使得两者发生干涉，进一步提高了板状元件于蚀刻装置内的传送稳定性。
13、以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含，
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第一从动轮组件，每一第一从动轮组件包含沿该第一方向间隔排列的第一从动轮及第二从动轮，该第一从动轮与该第二从动轮之间具有第四间距h4，其中，h4＜h1。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，沿该第一方向，定义该第一腔室内邻近该第一从动轮模块的主动传送轴为第三主动传送轴，各第二从动轮与该第三主动传送轴之间具有第五间距h5，该第三主动传送轴与该第一主动传送轴之间具有第六间距h6，其中，h4＜h5＜h2，2*h3＜h6＜3*h3。
4.根据该权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，该第三主动传送轴的顶点位于第三平面，该第三平面低于该第一平面。
5.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，该接合区还设置有具有沿该第二方向延伸的第一固定架及第二固定架，该多个第一从动轮组件均匀固定于该第一固定架上，该多个第二从动轮组件均匀
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，每一第一从动轮组件包含第一底座、相对的两个第一限位片、该第一从动轮、该第二从动轮及两个第一锁固件，该第一底座固定于该第一固定架上，该两个第一限位片相对并间隔设置于该第一底座上以形成第一限位空间，该第一从动轮、该第二从动轮位于该第一限位空间内并经由该两个第一锁固件各自锁固于该两个第一限位片上。
7.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一底座具有第一卡合部，每一第一从动轮组件还具有第二锁固件，该第一卡合部卡合于该第一固定架上，该第二锁固件将该第一底座锁固于该第一固定架上。
8.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，每一第二从动轮组件包含第二底座、两个第二限位件、第三从动轮及第三锁固件，该第三从动轮与该第一从动轮模块具有该第三间距h3，该第二底座固定于该第二固定架上，该两个第二限位件相对并间隔设置于该第二底座上以形成第二限位空间，该第三从动轮位于该第二限位空间内并经由该第三锁固件锁固于该两个第二限位件上。
9.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，各第一从动轮及各第二从动轮具有第一直径d1，该第一主动传送轴具有第二直径d2，其中，d1＜d2。
10.根据权利要求9所述的蚀刻装置，其特征在于，1＜d2/d1＜1.5。
...【技术特征摘要】
1.一种蚀刻装置，用于对板状元件进行薄化，其特征在于，该蚀刻装置包含，
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，该第一从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第一从动轮组件，每一第一从动轮组件包含沿该第一方向间隔排列的第一从动轮及第二从动轮，该第一从动轮与该第二从动轮之间具有第四间距h4，其中，h4＜h1。
3.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，沿该第一方向，定义该第一腔室内邻近该第一从动轮模块的主动传送轴为第三主动传送轴，各第二从动轮与该第三主动传送轴之间具有第五间距h5，该第三主动传送轴与该第一主动传送轴之间具有第六间距h6，其中，h4＜h5＜h2，2*h3＜h6＜3*h3。
4.根据该权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，该第三主动传送轴的顶点位于第三平面，该第三平面低于该第一平面。
5.根据权利要求2所述的蚀刻装置，其特征在于，该第二从动轮模块包含沿该第二方向排布的多个第二从动轮组件，该接合区还设置有具有沿该第二方向延伸的第一固定架及第二固定架，该多个第一从动轮组件均匀固定于该第一固定架上，该多个第二从动轮组件均匀固定于该第二固定架上。
6.根据权利要求5所述的蚀刻装置，其特征在于，每一第一从动轮组件包含第一底座、相对...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏凡星，杨东，李翔宇，李鸿，蔡照辉，
申请(专利权)人：友达光电昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：
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