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本发明公开一种蚀刻装置，其包含第一腔室、第二腔室及接合区，第一/第二腔室设置有多个主动传送轴，第一腔室、接合区及第二腔室相邻接，接合区设置有第一从动轮模块及第二从动轮模块，第二腔室内邻近第二从动轮模块的主动传送轴为第一主动传送轴及第二主动传...
该专利属于友达光电（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电（昆山）有限公司授权不得商用。

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