【技术实现步骤摘要】
本技术属于太阳能硅片硼化，具体的说是一种硼扩装置。
技术介绍
1、硅片是生产太阳能的重要材料，通过光伏线锯设备将硅原料切合处理成硅片，用于制造电池，在使用时，需要对硅片进行硼化。
2、现有技术中，公开号为cn 214254438 u的一种硼扩散设备,包括供源装置和扩散炉，所述供源装置包括供源组件、主管道以及多组分管道，扩散炉包括石英管组件，石英管组件包括石英管、尾部匀流组件、炉口匀流组件、进气管和气路管，进气管、分管道与输气管连通，形成工艺气体流通通道，气路管与气管连通形成气路通道，尾部匀流组件和炉口匀流组件分别位于石英管内，尾部匀流组件、炉口匀流组件控制工艺气体的分布状态，本技术的尾排管抽气口延伸至炉口匀流板下方或超过炉口匀流板并伸至靠近炉口的位置，有效解决因尾排管在石英炉管底部抽气，导致气流偏下的问题，进一步提高了位于炉口位置硅片的均匀性，从而保证扩散方阻的一致性。
3、目前现有技术中，由于通过石英舟进行硅片硼化时，机械手防撞报警频繁，撞舟频繁导致石英舟缺角较多，影响硅片硼化效果，在进行硼化时，尾气排放需要排气管口的准确对接，在对接不完全时，易造成尾气外溢，污染试验环境；因此，针对上述问题提出一种硼扩装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决机械手防撞报警频繁，撞舟频繁导致石英舟缺角较多，影响硅片硼化效果的问题，为了解决上述问题，本体通过设置垫片加宽储位支撑点间距存，减缓活动板对箱体的冲击，为此，提出的一种硼扩装置。
2、本技术解
3、所述活动板，用于对所述箱体的开放端口的封闭，所述活动板与箱体的侧面端口平行设置，所述箱体的端面上固定有垫片，所述活动板的侧面与箱体的端面相对立设置，通过垫片加宽储位支撑点间距存，减缓活动板对箱体的冲击，减少对撞舟频繁，更好的保护石英舟，避免石英舟缺角。
4、所述活动板的一侧固定有石英罩，所述石英罩与石英管为配合扣连的结构，所述石英罩的圆周面上连接有导气管，所述导气管的端口处固定有连接塞，所述箱体的侧面开口位置竖直固定有排气管，所述排气管的底部端口与所述连接塞的顶侧面挤压相切，在石英罩输送过程过程中，排气管在活动过程中，与连接塞接触后，连接塞能够实现导气管和排气管的紧密连接，避免尾气外溢。
5、优选的，所述连接塞的顶侧面为“︹”型结构，所述连接塞的内部开设有通孔，所述连接塞的顶侧面与排气管的底部端面相切。
6、优选的，所述石英罩的端口与石英管的端口相对立设置，所述石英罩的开口内径大于石英管的开口外径，能够保证石英罩对石英管的封堵，保证硼扩效果。
7、优选的，所述箱体的开口侧面开设有限位孔，所述活动板的一侧底部固定有导向杆，且导向杆配合穿插在限位孔内。
8、优选的，所述活动板的一侧中部并列固定有两个托架,两个托架的端部均位于石英管内，两个托架上放置有石英舟。
9、优选的，所述箱体的内部内置有加热组件，所述加热组件包括电热丝，电热丝排布在箱体的内部，且电热丝环绕石英管设置。
10、优选的，所述箱体的另一侧开设有管口，管口内装配有进气管，所述进气管与石英管的另一端连通。
11、优选的，所述箱体的侧面装配有操作面板,操作面板用于伸缩气缸和加热组件的控制，所述石英管的内部装配有热电偶，热电偶检测的温度值输送至操作面板显示，能够在硼化过程中，实现对箱体内部温度的监控，同时能够实现箱体内部温度的调控。
12、本技术的有益效果：
13、本技术提供一种硼扩装置，在硼化排气流程中，在石英罩与石英管扣接时，排气管的底部端口沿连接塞的坡面滑动，在石英罩安装到位时，排气管的底部平口面与连接塞的水平面紧密相贴，能够保证排气效果，避免硼化废气的外溢，能够准确、有效的排出，保证试验场所的整洁。
14、所述箱体的端面上设置有垫片，在活动板与箱体合并时，通过垫片加宽储位支撑点间距存，减缓活动板对箱体的冲击，减少对撞舟频繁，更好的保护石英舟，避免石英舟缺角。
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1.一种硼扩装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部安装有石英管(7)，所述箱体(1)的底侧开设有安装槽，所述安装槽内装配有伸缩气缸(2)，所述伸缩气缸(2)的作用端固定有活动板(3)；
2.根据权利要求1所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述连接塞(14)的顶侧面为“︹”型结构，所述连接塞(14)的内部开设有通孔，所述连接塞(14)的顶侧面与排气管(8)的底部端面相切。
3.根据权利要求2所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述石英罩(12)的端口与石英管(7)的端口相对立设置，所述石英罩(12)的开口内径大于石英管(7)的开口外径。
4.根据权利要求3所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述箱体(1)的开口侧面开设有限位孔，所述活动板(3)的一侧底部固定有导向杆(5)，且导向杆(5)配合穿插在限位孔内。
5.根据权利要求4所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述活动板(3)的一侧中部并列固定有两个托架(16),两个托架(16)的端部均位于石英管(7)内，两个托架(16)上放置有石英舟(9)。
6.根据权利要求5所述的
7.根据权利要求6所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述箱体(1)的另一侧开设有管口，管口内装配有进气管(15)，所述进气管(15)与石英管(7)的另一端连通。
8.根据权利要求7所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述箱体(1)的侧面装配有操作面板(11),操作面板(11)用于伸缩气缸(2)和加热组件(4)的控制。
9.根据权利要求8所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述石英管(7)的内部装配有热电偶，热电偶检测的温度值输送至操作面板(11)显示。
...【技术特征摘要】
1.一种硼扩装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部安装有石英管(7)，所述箱体(1)的底侧开设有安装槽，所述安装槽内装配有伸缩气缸(2)，所述伸缩气缸(2)的作用端固定有活动板(3)；
2.根据权利要求1所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述连接塞(14)的顶侧面为“︹”型结构，所述连接塞(14)的内部开设有通孔，所述连接塞(14)的顶侧面与排气管(8)的底部端面相切。
3.根据权利要求2所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述石英罩(12)的端口与石英管(7)的端口相对立设置，所述石英罩(12)的开口内径大于石英管(7)的开口外径。
4.根据权利要求3所述的一种硼扩装置，其特征在于：所述箱体(1)的开口侧面开设有限位孔，所述活动板(3)的一侧底部固定有导向杆(5)，且导向杆(5)配合穿插在限位孔内。
5.根据权利要求4所述的一种硼扩装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐礼再，
申请(专利权)人：中润新能源滁州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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