一种自动抽真空用平台制造技术

本技术公开了一种自动抽真空用平台，涉及电子加速器技术领域，包括基座和控制箱，基座上安装有主管道和离子泵，主管道一端安装阀门盲板，另一端安装高真空插板阀，高真空插板阀通过过渡真空管道连接离子泵，主管道两侧设有气动挡板阀，气动挡板阀连接各真空元器件，主管道上端安装有真空挡板阀和真空计，离子泵外侧设有隔音板，隔音板与离子泵之间安装减震件。通过多个气动挡板阀可使平台同一时间对多个真空元器件进行抽真空处理，通过真空计和控制箱可自动调节离子泵和气动挡板阀的启闭，工作效率更高，设备实用性更强，隔音板可对离子泵进行降噪处理，减震件可对离子泵进行减震处理，减少噪音污染的同时可延长设备使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子加速器，具体是一种自动抽真空用平台。

技术介绍

1、电子直线加速器是带电粒子加速器的一种，它是利用高微波功率在行波、驻波加速结构中建立纵向电场对电子束进行加速的一种谐振式加速器。电子加速器的电子束需要在高真空加速管内进行加速运动，因此在安装电子加速器前需要对高真空加速管进行真空排气过程。此外加速器中需要一直保持真空的元器件还有电子枪、真空波导与速调管等。如果这些元器件在安装前长时间暴露在空气中，在安装时真空排气所需时间就会偏长，为减少安装电子加速器时对真空管道的排气时间，特需要自动抽真空平台来减少真空元器件暴露时间，从而减少现场安装时的真空排气时间。但现有的电子加速器抽真空设备，结构复杂，抽真空调节不便，同一时间只能对一种真空元器件进行抽真空，同时会对环境产生噪音污染，真空泵的振动还会影响设备的使用寿命。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种自动抽真空用平台，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种自动抽真空用平台，包括基座和控制箱，所述基座上端通过支撑架安装有主管道，主管道一端安装阀门盲板，阀门盲板用于密封主管道，主管道另一端安装高真空插板阀，基座上端设有离子泵，离子泵的输出端通过过渡真空管道连接到高真空插板阀，主管道两侧固定设有若干气动挡板阀，主管道上端远离离子泵的一端安装有真空挡板阀，主管道上端靠近离子泵的一端安装有真空计。

4、作为本技术进一步的方案：所述气动挡板阀上端可直接连接电子枪。

5、作为本技术再进一步的方案：所述基座一侧设有安装架，安装架内部放置有真空加速管，真空加速管一端连接有真空计，另一端通过波纹管与气动挡板阀连接。

6、作为本技术再进一步的方案：所述基座另一侧设有放置台，放置台上端固定有真空波导管，真空波导管一端连接有真空计，另一端通过波纹管与气动挡板阀连接。

7、作为本技术再进一步的方案：所述离子泵外侧设有隔音板，隔音板与离子泵之间固定安装减震件。

8、作为本技术再进一步的方案：所述减震件包括固定安装在隔音板内侧的伸缩杆和套设在伸缩杆外部的减震弹簧，伸缩杆和减震弹簧另一端均与离子泵外壁固定连接。

9、相较于现有技术，本技术的有益效果如下：

10、1、通过在主管道两侧设置多个气动挡板阀，使平台同一时间可对多个真空元器件进行抽真空处理，并且依靠真空计和控制箱根据真空度自动调节离子泵和气动挡板阀的启闭，工作效率更高，设备实用性更强，节约了人们的工作时间，也大大降低了人们的使用成本；

11、2、通过在离子泵外部设置隔音板和减震件，隔音板可对离子泵进行降噪处理，减震件可对离子泵进行减震处理，减少噪音污染的同时可延长设备使用寿命。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动抽真空用平台，包括基座(1)和控制箱(16)，其特征在于，所述基座(1)上端通过支撑架(2)安装有主管道(3)，所述主管道(3)一端安装阀门盲板(4)，所述阀门盲板(4)用于密封主管道(3)，所述主管道(3)另一端安装高真空插板阀(5)，所述基座(1)上端设有离子泵(6)，所述离子泵(6)的输出端通过过渡真空管道(7)连接到高真空插板阀(5)，所述主管道(3)两侧固定设有若干气动挡板阀(8)，所述主管道(3)上端远离离子泵(6)的一端安装有真空挡板阀(9)，所述主管道(3)上端靠近离子泵(6)的一端安装有真空计(10)。

2.根据权利要求1所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述气动挡板阀(8)上端可直接连接电子枪(11)。

3.根据权利要求2所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述基座(1)一侧设有安装架(12)，所述安装架(12)内部放置有真空加速管(13)，所述真空加速管(13)一端连接有真空计(10)，另一端通过波纹管与气动挡板阀(8)连接。

4.根据权利要求3所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述基座(1)另一侧设有放置台(14)，所述放置台(14)上端固定有真空波导管(15)，所述真空波导管(15)一端连接有真空计(10)，另一端通过波纹管与气动挡板阀(8)连接。

5.根据权利要求1所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述离子泵(6)外侧设有隔音板(17)，所述隔音板(17)与离子泵(6)之间固定安装减震件(18)。

6.根据权利要求5所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述减震件(18)包括固定安装在隔音板(17)内侧的伸缩杆和套设在伸缩杆外部的减震弹簧，所述伸缩杆和减震弹簧另一端均与离子泵(6)外壁固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种自动抽真空用平台，包括基座(1)和控制箱(16)，其特征在于，所述基座(1)上端通过支撑架(2)安装有主管道(3)，所述主管道(3)一端安装阀门盲板(4)，所述阀门盲板(4)用于密封主管道(3)，所述主管道(3)另一端安装高真空插板阀(5)，所述基座(1)上端设有离子泵(6)，所述离子泵(6)的输出端通过过渡真空管道(7)连接到高真空插板阀(5)，所述主管道(3)两侧固定设有若干气动挡板阀(8)，所述主管道(3)上端远离离子泵(6)的一端安装有真空挡板阀(9)，所述主管道(3)上端靠近离子泵(6)的一端安装有真空计(10)。

2.根据权利要求1所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述气动挡板阀(8)上端可直接连接电子枪(11)。

3.根据权利要求2所述的自动抽真空用平台，其特征在于，所述基座(1)一侧设有安装架(12)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建慧，李曾文，周国梁，
申请(专利权)人：宜宾精宜科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：