【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及洁净室压力控制，尤其是涉及一种洁净室压力控制系统。
技术介绍
1、随着微电子技术的快速发展，对洁净室压力控制的要求也越来越高，微电子行业对洁净室环境的要求极其严格，须确保制造过程中的无尘、无菌、稳定压力等环境要求，以防止环境对芯片制造过程的影响；而生物医药领域则需要高度洁净的环境来进行药物的研发、制备和实验，洁净室可以有效地在生物医药行业中用于控制微生物污染，确保生物医药产品的纯度和安全性。洁净室的压力控制可以有效控制环境空气中的微粒和有害物质，洁净室通过控制空气流向、过滤环境空气中的微粒和有害物质，为生产提供更有利的环境。
2、目前，洁净室压力控制系统主要用于检测及控制洁净室中的压力情况，保证洁净室压力处于控制运行范围之内。传统的控制方法通常是采取调节风机速度来实现洁净室的压力控制，但是这种方法无法监测洁净室内的微粒含量，洁净室的主要目标是控制微粒浓度以保持特定的洁净水平，如果不进行微粒浓度的监控，可能在未预警的情况下导致微粒超标的情况，从而导致产品质量下降、生产过程中断或重新处理。因此本申请提出了一种洁净室压力控制系统，通过在压力控制系统的基础上添加微粒检测报警模块，设置微粒报警阈值，当微粒浓度超标影响到洁净室正常运行时会及时的进行预警并向用户发送报警信息，提醒用户及时的进行干预，同时通过预设的洁净室压力控制模块自动调节空气流量和压力，以维持洁净室内的微粒浓度稳定，确保微粒浓度在可控范围内保持稳定，提高洁净室压力控制系统的稳定性以及安全性。
技术实现思路
<...【技术保护点】
1.一种洁净室压力控制系统，包括用于洁净室参数异常警报的报警系统(6)，其特征在于：所述洁净室压力控制系统模块包括；
2.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述洁净室数据收集模块(1)中设置有传感器安装模块(8)，所述传感器安装模块(8)中设置有压力传感器、温湿传感器、风速传感器以及微粒浓度传感器，压力传感器用于监测洁净室内外的压力，以实时获取洁净室的压力状态，温湿度传感器用于监测洁净室内的温度和湿度，风速传感器用于监测洁净室内的空气流速情况，粒子计数传感器用于监测洁净室内微粒浓度的变化，通过测量空气中的微粒数量和大小，可以评估洁净室的过滤效果和空气质量。
3.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述压力要求设置模块(2)使用了压力控制算法(9)，所述压力控制算法(9)使用了PID算法，所述压力控制算法(9)通过传感器安装模块(8)中的各类传感器检测洁净室当前压力、压力变化速率以及历史压力数据，通过PID算法计算出的调整量来控制洁净室的送风量、排风量以及其他参数。
4.根据权利要求1所述的一种洁净室压力
5.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述远程控制参数调整模块(4)用于远程控制调整洁净室压力参数以及其他设备参数，通过远程控制参数调整模块(4)与交互系统(17)实现交互控制，用户通过远程交互设备(18)远程访问交互系统(17)进入远程控制界面，控制洁净室压力、温湿度、风速等参数的实时数据。
6.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述报警阈值设置模块(5)中设置有微粒计数器设置模块(14)，所述微粒计数器设置模块(14)用于设置以及调整洁净室中的微粒检测报警阈值，跟据洁净室等级标准，确定每个等级对应的允许微粒数量，洁净室等级越高时允许的微粒数量越少，通过微粒计数器设置模块(14)将这些数据转化为微粒计数器的报警阈值，例如，对于ISO 5级洁净室而言，可以设置报警阈值为每立方米(或每升)允许的最大微粒数量不超过100个0.5微米的微粒，将报警阈值设置为100，当微粒含量超过了设置阈值，则报警阈值设置模块(5)会响应报警系统(6)。
7.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述报警系统(6)中设置有报警信息推送模块(15)，所述报警信息推送模块(15)会向远程设备中发送报警信息，报警系统(6)根据微粒计数器设置模块(14)预设的规则和条件，确定触发推送操作，在洁净室发生异常或超出预设范围时，报警系统(6)会自动响应报警信息推送模块(15)向用户推送报警信息提醒，推送方式可以是邮件、短信、APP通知。
8.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述状态报告输出模块(7)中设置有可视化模块(16)，所述状态报告输出模块(7)根据报警系统(6)的报警情况，生成可视化报告输出，将洁净室的运行数据按照规范化的报告格式进行汇总和生成报告，报告应该包括系统的关键指标、运行状态的概述、报警记录，通过可视化模块(16)使用Tableau数据可视化工具，将各种数据转化为图表、表格、仪表盘等形式进行展示。
...【技术特征摘要】
1.一种洁净室压力控制系统，包括用于洁净室参数异常警报的报警系统(6)，其特征在于：所述洁净室压力控制系统模块包括；
2.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述洁净室数据收集模块(1)中设置有传感器安装模块(8)，所述传感器安装模块(8)中设置有压力传感器、温湿传感器、风速传感器以及微粒浓度传感器，压力传感器用于监测洁净室内外的压力，以实时获取洁净室的压力状态，温湿度传感器用于监测洁净室内的温度和湿度，风速传感器用于监测洁净室内的空气流速情况，粒子计数传感器用于监测洁净室内微粒浓度的变化，通过测量空气中的微粒数量和大小，可以评估洁净室的过滤效果和空气质量。
3.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述压力要求设置模块(2)使用了压力控制算法(9)，所述压力控制算法(9)使用了pid算法，所述压力控制算法(9)通过传感器安装模块(8)中的各类传感器检测洁净室当前压力、压力变化速率以及历史压力数据，通过pid算法计算出的调整量来控制洁净室的送风量、排风量以及其他参数。
4.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所述洁净室压力控制模块(3)中设置了进出风口控制模块(12)以及电器设备控制模块(13)，进出风口控制模块(12)用于控制室内外气流的平衡，对洁净室压力进行调节，电器设备控制模块(13)用于控制和保护风机、进出风口等设备的安全运行，进出风口控制模块(12)中设置了风机控制模块(10)，电器设备控制模块(13)设置了电器柜控制模块(11)，进出风口控制模块(12)通过风机控制模块(10)调节洁净室内外的气流的进出口，实现气流平衡调整，电器设备控制模块(13)通过电器柜控制模块(11)集中管理和保护洁净室压力控制系统中的电器设备，例如电器控制元件、开关，保证设备正常运行。
5.根据权利要求1所述的一种洁净室压力控制系统，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱民，胡钧，
申请(专利权)人：江苏众邦净化科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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