【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光加工，具体涉及一种玻璃微三维微结构制备方法和玻璃三维微结构制备装置。
技术介绍
1、随着科技的发展，设备对小型化和高精度的需求越来越高，微纳加工技术变得愈发重要。而玻璃凭借着优异的化学稳定性和耐高温的特性，成为微纳结构的优选材料载体。
2、现有进行微纳加工的方法一般分为增材制造和减材制造，增材制造有3d打印，喷墨打印等，但是3d打印由于打印材料方面的限制，一般只能制备由abs、pla等高聚合物材料构成的微纳结构，而无法制备玻璃三维结构，同时3d打印技术在制备大面积样品时耗时长、适用范围小，喷墨打印则无法准确墨滴的形状，这使得所制备的微纳结构的精度较低。而减材制造有金刚石车削、激光直写加工、聚焦离子束、光刻等方法，但是，金刚石车削在加工玻璃这类型的硬脆材料时容易产生应力损伤；激光直写需要位移台配合高功率激光束进行单点加工，其加工效率低，且受到载物位移台的精度限制，难以制备高精度的微纳结构；聚焦离子束没有穿透性，无法对玻璃内部进行三维加工；光刻技术单次曝光只能制备简单的二维结构特征，通过多层套刻工艺所制备的三维结构...
【技术保护点】
1.一种玻璃三维微结构制备方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标曲面确定多个目标光点的坐标，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所有所述目标光点的相位确定多个全息相位图，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述通过所述多个全息相位图先后调制加工光束，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标曲面确定多个目标光点的坐标，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所有所述目标光点的相位...
【技术特征摘要】
1.一种玻璃三维微结构制备方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标曲面确定多个目标光点的坐标，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所有所述目标光点的相位确定多个全息相位图，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述通过所述多个全息相位图先后调制加工光束，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标曲面确定多个目标光点的坐标，包括：
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐少林，姚丽，徐康，黄凌羽，黄沛霖，李宗尧，仲帅，于洪宇，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：
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