【技术实现步骤摘要】
示例实施例涉及加热板和包括该加热板的衬底处理装置。更具体地，示例实施例涉及被配置为在光刻设施的烘烤装置中加热晶片的加热板、以及包括该加热板的衬底处理装置。
技术介绍
1、在用于光刻工艺的光刻设施中，由于晶片在烘烤工艺期间被加热器支撑和加热，因此晶片会发生翘曲，并且因此，为了将热量从加热器有效地传递到翘曲的晶片，可以生成负压以吸附加热器上的晶片。然而，问题在于，大量的空气被吸入以吸附翘曲的晶片，并且横跨晶片的边缘部分发生不规则的气流，从而降低了工艺成品率。此外，由于诸如加热器中所使用的电热丝的电阻率之类的材料特性是预先确定的，因此在给定空间内调整电热丝的电阻率存在限制。
技术实现思路
1、示例实施例提供了能够容易地针对每个区域设计电导率并将晶片加热到均匀温度的衬底处理装置。
2、示例实施例提供了用作衬底处理装置的加热器的加热板。
3、根据示例实施例，一种衬底处理装置包括：腔室，提供被配置为处理衬底的空间；以及加热板，布置在腔室内，该加热板包括衬底板和液态金属图案，衬底板被配置为支撑衬底并具有从衬底板的中心沿径向方向顺序地布置的第一区域、第二区域和第三区域，液态金属图案在衬底板上被图案化并在第一区域、第二区域和第三区域上延伸，该衬底板是可拉伸的。
4、根据示例实施例，一种衬底处理装置包括：腔室，提供被配置为处理衬底的空间；以及衬底台，在腔室内，并被配置为支撑衬底。衬底台包括：衬底板，被配置为支撑衬底并具有从衬底板的中心沿径向方向顺序地布置的第一区域、
5、根据示例性实施例，一种用于烘烤装置的加热板包括：衬底板，具有从衬底板的中心沿径向方向顺序地布置的第一区域、第二区域和第三区域；液态金属图案，在衬底板上被图案化并在第一区域、第二区域和第三区域上延伸，衬底板是可拉伸的。液态金属图案包括在第一区域内延伸的第一延长线、在第二区域内延伸的第二延长线、以及在第三区域内延伸的第三延长线。第一延长线至第三延长线彼此连接以形成一条电热丝。
6、根据示例实施例，衬底处理装置可以包括可拉伸的衬底板和加热板，衬底板被配置为支撑诸如晶片之类的衬底，加热板具有在衬底板上被图案化并作为用于加热衬底的电热丝的液态金属图案。由于液态金属图案包括液态金属，因此液态金属图案可以具有弹性、以及针对衬底板的每个区域不同的电磁特性。
7、由于衬底板和液态金属图案是可拉伸的，因此当晶片w被真空吸附时，加热板可以容易地变形，并且因此，加热板可以更紧密地粘附到在高温下翘曲的晶片w，从而增加热传递，并以均匀的温度加热晶片w。此外，可以通过抑制不必要的气流来防止或减少空气在晶片边缘部分处的扰动，以将晶片w粘附到加热板。
8、此外，液态金属图案可以容易地被调整为针对衬底板的每个区域具有不同的电阻率，从而增加电热丝设计的自由度，并且可以用一个温度控制器来控制加热板的温度，从而增加可控性。
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1.一种衬底处理装置，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述液态金属图案包括：
3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其中，
4.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述液态金属图案包括：
5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线至所述第三延长线具有相同的宽度。
6.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线至所述第三延长线彼此连接以形成一条电热丝。
7.根据权利要求6所述的衬底处理装置，还包括：
8.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线具有第一电阻率，所述第二延长线具有与所述第一电阻率不同的第二电阻率，并且所述第三延长线具有与所述第一电阻率和所述第二电阻率不同的第三电阻率。
9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中，所述第二电阻率大于所述第一电阻率，并且所述第三电阻率大于所述第一电阻率且小于所述第二电阻率。
10.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述衬底板包括被配置为对所述衬底进行真空吸附的吸
11.一种衬底处理装置，包括：
12.根据权利要求11所述的衬底处理装置，其中，所述液态金属图案包括：
13.根据权利要求12所述的衬底处理装置，其中，
14.根据权利要求11所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线至所述第三延长线彼此连接以形成一条电热丝。
15.根据权利要求14所述的衬底处理装置，还包括：
16.根据权利要求11所述的衬底处理装置，其中，
17.根据权利要求11所述的衬底处理装置，其中，所述衬底板包括被配置为对所述衬底进行真空吸附的吸附孔。
18.根据权利要求17所述的衬底处理装置，其中，所述吸附孔在所述第二区域中沿圆周方向彼此间隔开。
19.根据权利要求17所述的衬底处理装置，其中，
20.一种用于烘烤装置的加热板，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种衬底处理装置，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述液态金属图案包括：
3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其中，
4.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述液态金属图案包括：
5.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线至所述第三延长线具有相同的宽度。
6.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线至所述第三延长线彼此连接以形成一条电热丝。
7.根据权利要求6所述的衬底处理装置，还包括：
8.根据权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述第一延长线具有第一电阻率，所述第二延长线具有与所述第一电阻率不同的第二电阻率，并且所述第三延长线具有与所述第一电阻率和所述第二电阻率不同的第三电阻率。
9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中，所述第二电阻率大于所述第一电阻率，并且所述第三电阻率大于所述第一电阻率且小于所述第二电阻率。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵哲敏，高承焕，申禹燮，金珉佑，吴灵桓，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
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