涂胶机和使用该涂胶机形成密封胶图案的方法技术

技术编号:4125246 阅读:255 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
于此公开的是一种涂胶机。该涂胶机使用提供用于密封胶图案的基准的基准单元校准安装至头单元的截面积传感器,因此提高了截面积传感器的测量精度,从而防止生产有缺陷的产品。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于在基板上形成密封胶图案的涂胶机以及使用 该涂胶机形成密封胶图案的方法。
技术介绍
涂胶机是在制造多种平板显示器(FPDs)的工艺中将密封胶(密封 剂)以预定图案施加至基板,以便粘附或密封基板的装置。此类涂胶机包括托台,其上安装有基板;头单元,其装配有排出 密封胶的喷嘴;头支承件,其支承头单元;以及X轴驱动单元,其置于 头单元和头支承件之间,并沿头支承件延伸的方向(X轴方向)移动头 单元.该涂胶机设置有多个头单元,这些头单元在大面积的基板上同时 形成多个密封胶图案,并因此提高了产量。此类涂胶机在调节喷嘴和基板之间的间隙的同时,在基板上形成密 封胶图案。为此,头单元包括测量喷嘴和基板之间的间隙的激光位移传 感器,以及沿Z轴方向、即竖直方向移动喷嘴和激光位移传感器的Z 轴驱动单元。此外,头单元设置有截面积传感器,该截面积传感器测量施加至基板的密封胶图案的截面积,从而检查密封胶图案的有缺陷部 分。激光位移传感器包括发射激光的发射部,以及与发射部隔开预定距 离并接收激光的接收部。激光位移传感器将对应于从发射部发射并在基 板上反射的激光的图像形成位置而产生的电信号输出至控本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂胶机,包括: 托台,所述托台上安置有基板; 头单元,其包括用于排出密封胶的喷嘴,以及用于测量形成在所述基板上的密封胶图案的截面积的截面积传感器;以及 基准单元,其提供用于所述密封胶图案的截面积的基准,以便校准所述截面 积传感器。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:南嬉祯
申请(专利权)人:塔工程有限公司
类型:发明
国别省市:KR[]

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