【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及带有谐振腔的表面声波滤波器。此种滤波器应用于高频信号处理领域，例如应用于电信应用。
技术介绍
1、参照图1，并且如例如从ep0608249可知，此种滤波器1通常包括布置在压电基板上的至少两个电声换能器2a、2b(分别为输入电声换能器和输出电声换能器)。这两个换能器限定表面弹性波传播所沿的路径。它们还形成滤波器1的电气输入端口pe和输出端口ps。
2、滤波器1可以包括沿弹性波的传播轴线x布置在该对输入换能器2a和输出换能器2b的任一侧上的两个外部反射栅3a、3b(并且优选地仅反射)、通常为布拉格反射镜。
3、滤波器1包括至少一个内部反射栅4，该至少一个内部反射栅在弹性波的路径x上布置在两个换能器2a、2b之间，并且可以与这两个换能器2a、2b等距。该至少一个内部反射栅4具有非零透射系数。
4、沿着波传播路径以这种方式限定多个谐振腔c1、c2，这些谐振腔形成滤波器1的相等数量的极。
5、文档de2363701也公开了带有谐振腔的表面弹性波滤波器的若干构型。
6、文档wo2020021029提出了此种带有谐振腔的表面弹性波滤波器的多种有利构型，这些构型均在复合基板(亦即，由基部基板(构成机械支撑)和压电上层形成的基板)上制成。弹性波以纵向和/或剪切波的形式在上层中传播。上层的厚度被选择为在滤波器的中心波长的数量级上，或者小于该波长。然后在基部基板中没有辐射损失的情况下进行传播。
7、由前述文档所提出的滤波器的这一通式结构使得能够合成在通带中具有低插入
8、众所周知(例如参见ep0608249)，带有谐振腔的表面弹性波滤波器的合成可能引起在滤波器抑制带或过渡带中出现次级波瓣。当试图加宽滤波器的相对通带时，这些波瓣的幅值甚至更高。
9、因此，期望具有一种可以限制存在于抑制带或过渡带中的波瓣的幅值的滤波器结构。
10、专利技术目的
11、本专利技术的一个目的是提出一种使得能够解决这种需求的滤波器结构。更具体地，本专利技术的目的是提出一种滤波器结构，相对于现有技术的滤波器结构，该滤波器结构减小了存在于抑制带或过渡带中的波瓣的高度幅值。
技术实现思路
1、为了实现该目的，本专利技术的对象提出了一种带有谐振腔的表面弹性波滤波器，包括：
2、-由基部基板和压电上层形成的复合基板；
3、-布置在上层上的至少一个输入电声换能器和输出电声换能器；
4、-布置在输入电声换能器与输出电声换能器之间的至少一个内部反射结构。
5、滤波器的内部反射结构包括：
6、-包括具有第一周期的至少一个反射栅的第一结构；包括具有第二周期的至少一个反射栅的第二结构，第一周期大于第二周期；
7、根据本专利技术，第一结构包括以第一距离彼此分开的第一多个反射栅，第二结构包括以第二距离彼此分开的第二多个反射栅，并且第一距离小于第二距离。
8、根据本专利技术的其它有利的非限制性特征(单独地或根据任何技术上可行的组合)：
9、-第一结构与输入电声换能器相距第一间隔距离，第二结构与输出换能器相距第二间隔距离，第一间隔距离小于第二间隔距离；
10、-滤波器还包括布置在输入换能器和输出换能器的任一侧上的两个外部反射镜；
11、-反射栅和/或外部反射镜由设置在复合基板的顶层上/中的金属指状部的阵列制成；
12、-反射栅和/或外部反射镜由蚀刻到复合基板中的凹槽的阵列制成；
13、-复合基板包括布置在基部基板与压电上层之间的至少一个层；
14、-基部基板具有大于1000ohm.cm的电阻率；
15、-压电上层的厚度小于20微米；
16、-输入电声换能器和输出电声换能器分别由两个叉指式梳状电极组成；
17、-将第一结构和第二结构分开的距离等于第一距离和第二距离的算术平均值，在10％以内。
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1.一种带有谐振腔的表面弹性波滤波器(1)，所述表面弹性波滤波器包括：
2.根据权利要求1所述的滤波器(1)，其中，所述第一结构(P右)与所述输入电声换能器(2a)相距第一间隔距离(Srg)，所述第二结构(P左)与所述输出换能器(2b)相距第二间隔距离(Slg)，所述第一间隔距离(Srg)小于所述第二间隔距离(Slg)。
3.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，所述滤波器还包括布置在所述输入换能器(2a)和所述输出换能器(2b)的任一侧上的两个外部反射镜(3a,3b)。
4.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述反射栅(R1,R2)和/或所述外部反射镜(3a,3b)由布置在所述复合基板(S)的所述上层上/中的金属指状部的阵列制成。
5.根据权利要求1至3中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述反射栅(R1,R2)和/或所述外部反射镜(3a,3b)由蚀刻到所述复合基板中的凹槽的阵列制成。
6.根据权利要求1至3中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述反射栅(R1,R2)和/或所述外部反射镜(3a,3b)
7.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述复合基板包括布置在所述基部基板(S3)与所述压电上层(S1)之间的至少一个层(S2)。
8.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述基部基板(S3)具有大于1000ohm.cm的电阻率。
9.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述压电上层(S3)的厚度小于20微米。
10.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述输入电声换能器(2a)和所述输出电声换能器(2b)分别由两个叉指式梳状电极构成。
11.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，将所述第一结构(P右)和所述第二结构(P左)分开的距离(Pcg)等于所述第一距离(Rg)和所述第二距离(Lg)的算术平均值，在10％以内。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种带有谐振腔的表面弹性波滤波器(1)，所述表面弹性波滤波器包括：
2.根据权利要求1所述的滤波器(1)，其中，所述第一结构(p右)与所述输入电声换能器(2a)相距第一间隔距离(srg)，所述第二结构(p左)与所述输出换能器(2b)相距第二间隔距离(slg)，所述第一间隔距离(srg)小于所述第二间隔距离(slg)。
3.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，所述滤波器还包括布置在所述输入换能器(2a)和所述输出换能器(2b)的任一侧上的两个外部反射镜(3a,3b)。
4.根据前述权利要求中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述反射栅(r1,r2)和/或所述外部反射镜(3a,3b)由布置在所述复合基板(s)的所述上层上/中的金属指状部的阵列制成。
5.根据权利要求1至3中的一项所述的滤波器(1)，其中，所述反射栅(r1,r2)和/或所述外部反射镜(3a,3b)由蚀刻到所述复合基板中的凹槽的阵列制成。
6.根据权利要求1至3中...
【专利技术属性】
技术研发人员：E·米丘利尔，S·巴朗德拉斯，T·拉罗什，
申请(专利权)人：索泰克公司，
类型：发明
国别省市：
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