一种聚焦离子束中的样品台制造技术

一种聚焦离子束中的样品台，包括使用螺丝连接的上圆柱体、下圆柱体，上圆柱体上设第一圆形凹槽、第一侧面排气孔，第一圆形凹槽内设的三角形凹槽设顶端排气孔、纵向设置第一螺丝孔；第一侧面排气孔与顶端排气孔连同；下圆柱体顶面上设第二圆形凹槽、第二侧面排气孔，第二圆形凹槽内纵向设第二螺丝孔；下圆柱体底面上设第三圆形凹槽，第三圆形凹槽中部为第二螺丝孔；下圆柱体的底面上设底面排气孔。本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术最大可能地降底了高度，对超高、超厚样品提供了加工的最大可能；解决了原装样品通路经常松动、螺丝进口不好配的问题；解决原装样品台上样不水平、不稳定的问题；解决了托盘水平的问题；解决原装样品台接触面空气排不干净的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于集成电路制造，具体涉及一种聚焦离子束中的样品台。

技术介绍

1、现有技术的样品台采用圆柱杆式，使用时杆下方螺丝为固定在设备中使用，上方螺丝为固定样品托盘使用，上方螺丝侧面有螺丝孔，样品托盘的圆柱插入孔中后拧紧侧面的螺丝固定。其缺点是：杆太细，托盘大，稳定性不好，微小的抖动对芯片的加工影响都是巨大的；下方螺丝用久了总出现松动的情况；上方螺丝太小对托盘的接触面太少，稳定性不好，水平性不好；侧面螺丝为非标螺丝，且寿命不长，用一段时间就会滑丝，很不好配；上下大螺丝是面和面接触，接触面附着的空气分子抽不干净，样品台工作过程中造成真空读数不稳。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种聚焦离子束中的样品台。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种聚焦离子束中的样品台，其特征在于：包括上圆柱体、下圆柱体，所述上圆柱体、所述下圆柱体的直径相同；

3、所述上圆柱体的顶面上设置第一圆形凹槽，所述第一圆形凹槽内设置三角形凹槽，所述三角形凹槽的三本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种聚焦离子束中的样品台，其特征在于：包括上圆柱体、下圆柱体，所述上圆柱体、所述下圆柱体的直径相同；

2.如权利要求1所述的聚焦离子束中的样品台，其特征在于：所述三角形凹槽的三个侧面设置为斜坡面。

3.如权利要求2所述的聚焦离子束中的样品台，其特征在于：所述第二侧面排气孔、所述底面排气孔均为四个。

【技术特征摘要】

1.一种聚焦离子束中的样品台，其特征在于：包括上圆柱体、下圆柱体，所述上圆柱体、所述下圆柱体的直径相同；

2.如权利要求1所述的聚焦离子束中的样品台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：达晓冬，闫国友，
申请(专利权)人：纳瑞科学仪器江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：