【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种压力检测组件及真空镀膜设备。
技术介绍
1、等离子镀膜作为提升材料表面性能的有效方法，被广泛应用于航空航天、汽车制造、电子产品、半导体、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中，需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态，同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应以在被镀膜工件表面生成聚合物膜层。
2、真空镀膜设备在工作时需要检测其腔体内部的压力值，然而，现有技术的压力检测组件在检测时仍存在诸多问题。
技术实现思路
1、本技术解决的问题是提供一种压力检测组件及真空镀膜设备，用于减少对压力检测本体造成的污染，延长压力检测本体的维护和保养周期。
2、为解决上述问题，本技术的技术方案中提供一种压力检测组件，包括：压力检测本体；缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；加热装置，所述加热装置包覆于所述缓冲管道外部；对接体，所述对接体与所述第二端连接。
3、可选的，所述缓冲管道至少包括一圈螺旋管道。
4、可选的，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。
5、可选的，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。
6、可选的，所述第一部和所述第二部分别包括：壳体，所述壳体内具有空腔；设置于所述空腔内的加热组件。
7、可选的
8、可选的，所述保温层包括：石棉保温层。
9、可选的，所述加热组件包括：硅胶加热组件。
10、可选的，所述对接体包括：真空法兰、接驳法兰或卡套接头。
11、相应的，本技术的技术方案中还提供了一种真空镀膜设备，包括：如上述任意一项技术方案所述的压力检测组件。
12、与现有技术相比，本技术的技术方案具有以下优点：
13、本技术技术方案的压力检测组件，包括：缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；加热装置，所述加热装置包覆于所述缓冲管道外部。通过所述缓冲管道能够延长气体的流通路径，增大气体与所述缓冲管道的接触，使得部分气体冷凝附着在所述缓冲管道的内壁，减少气体冷却堆积在所述压力检测本体内部，进而减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。另外，通过所述加热装置进行加热，使得气体能够尽可能的维持在气体状态，减少冷却附着物的产生，进一步的减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。
14、进一步，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。通过将相邻的所述螺旋管道紧密接触，进而减少多圈所述螺旋管道排布占用的空间。
15、进一步，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。通过可拆卸的所述第一部和所述第二部设置，便于对所述缓冲管道的检修和清理。
16、进一步，所述第一部和所述第二部还分别包括：填充于所述空腔内的保温层，所述加热组件包裹于所述保温层内，通过所述保温层能够有效降低热量的散失。
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1.一种压力检测组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道至少包括一圈螺旋管道。
3.如权利要求2所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。
4.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。
5.如权利要求4所述的压力检测组件，其特征在于，所述第一部和所述第二部分别包括：壳体，所述壳体内具有空腔；设置于所述空腔内的加热组件。
6.如权利要求5所述的压力检测组件，其特征在于，所述第一部和所述第二部还分别包括：填充于所述空腔内的保温层，所述加热组件包裹于所述保温层内。
7.如权利要求6所述的压力检测组件，其特征在于，所述保温层包括：石棉保温层。
8.如权利要求5所述的压力检测组件，其特征在于，所述加热组件包括：硅胶加热组件。
9.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述对接体包括：真空法兰、
10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：如权利要求1～9中任意一项所述的压力检测组件。
...【技术特征摘要】
1.一种压力检测组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道至少包括一圈螺旋管道。
3.如权利要求2所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。
4.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。
5.如权利要求4所述的压力检测组件，其特征在于，所述第一部和所述第二部分别包括：壳体，所述壳体内具有空腔；设置于所述空腔内的...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，韩辉，
申请(专利权)人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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