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一种压力检测组件及真空镀膜设备,其中压力检测组件包括:压力检测本体;缓冲管道,缓冲管道包括相对的第一端和第二端,压力检测本体与第一端连接,缓冲管道用于延长管道路径;包覆于缓冲管道外部的加热装置;对接体,对接体与第二端连接。通过缓冲管道能够延...该专利属于江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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一种压力检测组件及真空镀膜设备,其中压力检测组件包括:压力检测本体;缓冲管道,缓冲管道包括相对的第一端和第二端,压力检测本体与第一端连接,缓冲管道用于延长管道路径;包覆于缓冲管道外部的加热装置;对接体,对接体与第二端连接。通过缓冲管道能够延...