【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硼扩设备，特别是涉及一种硼扩真空泵异常预警方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
技术介绍
1、光伏设备实质是将原料硅片加工处理，输出成品太阳能电池片。在成套光伏设备中，硼扩工艺机台完成n型硅片的硼原子扩散过程，形成pn节，该工艺的优劣对最终成品电池片发电效率影响很大。
2、实践证明，硼扩设备真空泵系统是影响电池片加工品质的关键部件之一，由于硼扩加工过程会产生白色固体粉末，将真空泵及其管路系统堵塞，导致抽真空过程管腔内气体分布不均匀，严重影响电池片加工品质。
3、然而，传统技术中尚无一种应用于硼扩设备真空泵系统的异常预警方案。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种准确的硼扩真空泵异常预警方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
2、第一方面，本申请提供了一种硼扩真空泵异常预警方法。所述方法包括：
3、获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
4、根据所述实时属性数据、以及属性...
【技术保护点】
1.一种硼扩真空泵异常预警方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述构建所述属性数据和泵速的对应关系包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取历史记录中硼扩设备的工艺数据包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对泵速进行平滑处理包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值...
【技术特征摘要】
1.一种硼扩真空泵异常预警方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述构建所述属性数据和泵速的对应关系包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取历史记录中硼扩设备的工艺数据包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对泵速进行平滑处理包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若所述泵速预测值与所述泵速...
【专利技术属性】
技术研发人员：王苏西，陈帅，冯晶，赵张超，樊臻，嵇浩，
申请(专利权)人：江苏恒云太信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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