【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硼扩设备，特别是涉及一种硼扩真空泵异常预警方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
技术介绍
1、光伏设备实质是将原料硅片加工处理，输出成品太阳能电池片。在成套光伏设备中，硼扩工艺机台完成n型硅片的硼原子扩散过程，形成pn节，该工艺的优劣对最终成品电池片发电效率影响很大。
2、实践证明，硼扩设备真空泵系统是影响电池片加工品质的关键部件之一，由于硼扩加工过程会产生白色固体粉末，将真空泵及其管路系统堵塞，导致抽真空过程管腔内气体分布不均匀，严重影响电池片加工品质。
3、然而，传统技术中尚无一种应用于硼扩设备真空泵系统的异常预警方案。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种准确的硼扩真空泵异常预警方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
2、第一方面，本申请提供了一种硼扩真空泵异常预警方法。所述方法包括：
3、获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
4、根据所述实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；
5、获取硼扩真空泵的泵速实际值；
6、若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息；
7、其中，所述属性数据和泵速的对应关系由以下方式得到：获取历史记录中硼扩设备的工艺数据；对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据；构建所述属性数据和泵速的对应关
8、在其中一个实施例中，所述构建所述属性数据和泵速的对应关系包括：
9、对泵速进行平滑处理；
10、基于平滑处理后的泵速以及对应的属性数据构建训练数据集；
11、选用随机森林算法对所述训练数据集进行训练，得到泵速预测模型。
12、在其中一个实施例中，所述对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据包括：
13、基于所述工艺数据对泵速进行机理分析，确定影响所述泵速的初始属性数据；
14、分析所述初始属性数据与所述泵速的相关性；
15、基于相关性分析结果，从所述初始属性数据中选取影响所述泵速的属性数据。
16、在其中一个实施例中，所述获取历史记录中硼扩设备的工艺数据包括：
17、获取历史记录中硼扩设备的方阻数据和初始工艺数据；
18、将所述方阻数据和所述初始工艺数据进行匹配融合，从所述初始工艺数据中筛选得到工艺数据。
19、在其中一个实施例中，所述对泵速进行平滑处理包括：
20、对泵速进行数据清洗；
21、对数据清洗后的所述泵速进行高斯算法的平滑处理。
22、在其中一个实施例中，所述若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息包括：
23、若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则计时连续大于累计时长；
24、若连续大于累计时长大于预设时长阈值，则推送异常提示消息。
25、在其中一个实施例中，所述属性数据包括气体流量、压力、步序以及耗时。
26、第二方面，本申请还提供了一种硼扩真空泵异常预警装置。所述装置包括：
27、数据获取模块，用于获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
28、预测模块，用于根据所述实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；
29、泵速获取模块，用于获取硼扩真空泵的泵速实际值；
30、预警模块，用于当所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差时，推送异常提示消息；
31、其中，所述属性数据和泵速的对应关系由以下方式得到：获取历史记录中硼扩设备的工艺数据；对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据；构建所述属性数据和泵速的对应关系。
32、第三方面，本申请还提供了一种计算机设备。所述计算机设备包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：
33、获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
34、根据所述实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；
35、获取硼扩真空泵的泵速实际值；
36、若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息；
37、其中，所述属性数据和泵速的对应关系由以下方式得到：获取历史记录中硼扩设备的工艺数据；对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据；构建所述属性数据和泵速的对应关系。
38、第四方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质。所述计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
39、获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
40、根据所述实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；
41、获取硼扩真空泵的泵速实际值；
42、若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息；
43、其中，所述属性数据和泵速的对应关系由以下方式得到：获取历史记录中硼扩设备的工艺数据；对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据；构建所述属性数据和泵速的对应关系。
44、第五方面，本申请还提供了一种计算机程序产品。所述计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
45、获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；
46、根据所述实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；
47、获取硼扩真空泵的泵速实际值；
48、若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息；
49、其中，所述属性数据和泵速的对应关系由以下方式得到：获取历史记录中硼扩设备的工艺数据；对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据；构建所述属性数据和泵速的对应关系。
50、上述硼扩真空泵异常预警方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品，获取硼扩设备运行时影响泵速的实时属性数据；根据实时属性数据、以及属性数据和泵速的对应关系，获取硼扩真空泵的泵速预测值；获取硼扩真空泵的泵速实际值；若泵速预测值与泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息。整个方案中，由于属性数据和泵速的对应关系是基于历史工艺数据进行相关性分析和机理分析得到的，因此可以基于实时采集的属性数据准确分析得到对应的泵本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硼扩真空泵异常预警方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述构建所述属性数据和泵速的对应关系包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取历史记录中硼扩设备的工艺数据包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对泵速进行平滑处理包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若所述泵速预测值与所述泵速实际值的偏差绝对值大于预设泵速安全偏差，则推送异常提示消息包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述属性数据包括气体流量、压力、步序以及耗时。
8.一种硼扩真空泵异常预警装置，其特征在于，所述装置包括：
9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7中任一项所述的方法的步骤。
10.一种计算机可
...【技术特征摘要】
1.一种硼扩真空泵异常预警方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述构建所述属性数据和泵速的对应关系包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺数据进行相关性分析和机理分析，确定影响所述泵速的属性数据包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取历史记录中硼扩设备的工艺数据包括：
5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对泵速进行平滑处理包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述若所述泵速预测值与所述泵速...
【专利技术属性】
技术研发人员：王苏西，陈帅，冯晶，赵张超，樊臻，嵇浩，
申请(专利权)人：江苏恒云太信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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