一种半导体储料器用搬运机构制造技术

技术编号:41226078 阅读:18 留言:0更新日期:2024-05-09 23:44
本技术涉及半导体物料搬运技术领域,具体提供了一种半导体储料器用搬运机构,包括底座,所述底座上设置有立柱,立柱上装配有可升降活动的载货单元;所述底座中设置有电机驱动组件,电机驱动组件的输出端设置有传动齿轮,所述立柱的上端装配有定滑轮,在定滑轮、传动齿轮上套接有同一个传送带;所述立柱包括内腔和外腔,传送带的两侧分布置于立柱的内腔和外腔中,配重块的设置,能够形成相对载货单元的重力结构,在定滑轮两侧利用重量互相抵消的原理平衡载货后的大重量载货单元;立柱的内腔、外腔结构设计,能够在保留原有的传动结构装配配重块,不占用储料器的空间;整体设计合理,结构紧凑,实用性高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体物料搬运,具体涉及一种半导体储料器用搬运机构


技术介绍

1、半导体储料器是用于存储半导体物料的装置,在半导体制造过程中需要采用搬运设备将储料器的半导体物料取出使用。

2、现有技术中采用的搬运设备,由于载货后载货单元重量较大,用于提供驱动力的电机负载率较高,降低电机的使用寿命,以及大重量载货状态下的载货单元加速度不足,影响对于半导体物料的搬运效率。


技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种半导体储料器用搬运机构,用于解决现有技术中由于载货后载货单元重量较大,用于提供驱动力的电机负载率较高,降低电机的使用寿命的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的,本技术提供一种半导体储料器用搬运机构,包括底座,所述底座上设置有立柱,立柱上装配有可升降活动的载货单元;所述底座中设置有电机驱动组件,通过所述电机驱动组件驱动载货单元沿立柱升降活动以搬运储料器中的半导体物料;

3、所述电机驱动组件的输出端设置有传动齿轮,所述立柱的上端装配有定滑轮,在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体储料器用搬运机构,包括底座,所述底座上设置有立柱,立柱上装配有可升降活动的载货单元;所述底座中设置有电机驱动组件,通过所述电机驱动组件驱动载货单元沿立柱升降活动以搬运储料器中的半导体物料;

2.根据权利要求1所述的半导体储料器用搬运机构,其特征在于:所述内腔设置为闭合式的,外腔设置为开放式的。

3.根据权利要求2所述的半导体储料器用搬运机构,其特征在于:所述传送带用于装配配重块的区域设置有凸齿,配重块上设置有凹槽,配重块通过凹槽嵌合传送带的凸齿。

4.根据权利要求3所述的半导体储料器用搬运机构,其特征在于:所述配重块设置有多个,多个所述配...

【技术特征摘要】

1.一种半导体储料器用搬运机构,包括底座,所述底座上设置有立柱,立柱上装配有可升降活动的载货单元;所述底座中设置有电机驱动组件,通过所述电机驱动组件驱动载货单元沿立柱升降活动以搬运储料器中的半导体物料;

2.根据权利要求1所述的半导体储料器用搬运机构,其特征在于:所述内腔设置为闭合式的,外腔设置为开放式的。

3.根据权利要求2所述的半导体储料器用搬运机构,其特征在于:所述传送带用于装...

【专利技术属性】
技术研发人员:夏明浩任志康徐岱悦
申请(专利权)人:江苏兰聚科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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