System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 氢检测装置以及氢检测装置的控制方法制造方法及图纸_技高网

氢检测装置以及氢检测装置的控制方法制造方法及图纸

技术编号:41222520 阅读:4 留言:0更新日期:2024-05-09 23:41
氢检测装置(10)具备氢传感器(100)与检测电路(200),氢传感器(100)具有第一电极(103)、第二电极(106)、金属氧化物层(104)、第一绝缘膜(绝缘膜107a~107c)、经由通孔(108)连接于第二电极(106)的与主面对置的另一面的第一端子(TE1)以及第二端子(TE2)、及经由通孔(108)连接于第一电极(103)的与主面对置的另一面的第三端子(BE),检测电路(200)具有测定(1)第一端子(TE1)与第二端子(TE2)之间的第一电阻值、和(2)第一端子(TE1)以及第二端子(TE2)的至少一方与第三端子(BE)之间的第二电阻值的电流计(230以及231)、及选择性地输出第一电阻值以及第二电阻值中的某一个的控制电路(210)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及氢检测装置以及氢检测装置的控制方法,特别是涉及对低浓度与高浓度的氢进行检测的宽范围的氢检测装置。


技术介绍

1、以往,提出了检测低浓度与高浓度的氢的宽范围的氢检测装置(例如参照专利文献1)。根据专利文献1的技术,泄漏检测单元具备泄漏检测模式与气体浓度测定模式这两种模式。由此,消除了由气体传感器的疲劳引起的等待时间。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:日本特开2009-276309号公报


技术实现思路

1、专利技术将要解决的课题

2、然而,在上述专利文献1的技术中,需要用于在向第一气体传感器供给试样气体并向第二气体传感器供给背景气体的状态、及向第二气体传感器供给试样气体并向第一气体传感器供给背景气体的状态之间切换流路的阀。因此,存在氢检测装置大型化这一问题。

3、因此,本公开的目的在于提供小型并且检测低浓度与高浓度的氢的宽范围的氢检测装置等。

4、用于解决课题的手段

5、为了实现上述目的,本公开的一方式的氢检测装置具备:检测氢的第一氢传感器以及第二氢传感器;以及第一检测电路,连接于所述第一氢传感器以及所述第二氢传感器,所述第一氢传感器具有:主面彼此对置地配置的第一电极以及第二电极;第一金属氧化物层,与所述第一电极的所述主面和所述第二电极的所述主面相接地配置;第一绝缘膜,覆盖所述第一电极、所述第二电极以及所述第一金属氧化物层;第一端子以及第二端子,经由通孔连接于所述第二电极的所述主面所对置的另一面;以及第三端子,经由通孔连接于所述第一电极的所述主面所对置的另一面,所述第一绝缘膜在针对所述第二电极的平面图中的所述第一端子与所述第二端子之间具有第一开口,该第一开口使所述第二电极的所述另一面不被所述第一绝缘膜覆盖而露出,所述第二氢传感器具有:主面彼此对置地配置的第三电极以及第四电极;第二金属氧化物层,与所述第三电极的所述主面和所述第四电极的所述主面相接地配置;第二绝缘膜,覆盖所述第三电极、所述第四电极以及所述第二金属氧化物层;第四端子以及第五端子,经由通孔连接于所述第四电极的所述主面所对置的另一面;以及第六端子,经由通孔连接于所述第三电极的所述主面所对置的另一面,所述第二绝缘膜在针对所述第四电极的平面图中的所述第四端子与所述第五端子之间具有第二开口,该第二开口使所述第四电极的所述另一面不被所述第二绝缘膜覆盖而露出,所述第一检测电路具有第一测定电路,该第一测定电路测定所述第一端子与所述第二端子之间的第一电阻值、和所述第四端子以及所述第五端子的至少一方与所述第六端子之间的第二电阻值。

6、为了实现上述目的,本公开的一方式的氢检测装置的控制方法是上述氢检测装置的控制方法,其中,所述第一检测电路取得所述第一电阻值,基于所取得的所述第一电阻值,选择性地输出所述第一电阻值以及所述第二电阻值中的某一个。

7、专利技术效果

8、根据本公开,可提供小型并且检测低浓度与高浓度的氢的宽范围的氢检测装置等。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氢检测装置,具备:

2.根据权利要求1所述的氢检测装置,

3.根据权利要求2所述的氢检测装置,

4.根据权利要求1至3中任一项所述的氢检测装置,

5.根据权利要求1至4中任一项所述的氢检测装置,还具备:

6.一种氢检测装置,具备:

7.根据权利要求6所述的氢检测装置,

8.根据权利要求6或7所述的氢检测装置,还具备:

9.根据权利要求1至8中任一项所述的氢检测装置,

10.根据权利要求1至9中任一项所述的氢检测装置,

11.根据权利要求1至10中任一项所述的氢检测装置,

12.一种氢检测装置,具备:

13.根据权利要求12所述的氢检测装置,

14.根据权利要求12或13所述的氢检测装置,还具备:

15.根据权利要求12至14中任一项所述的氢检测装置,

16.根据权利要求12至15中任一项所述的氢检测装置,

17.根据权利要求12至16中任一项所述的氢检测装置,

18.一种氢检测装置,

19.根据权利要求18所述的氢检测装置,

20.根据权利要求18所述的氢检测装置,

21.根据权利要求18至20中任一项所述的氢检测装置,

22.根据权利要求21所述的氢检测装置,

23.一种控制方法,是权利要求1所述的氢检测装置的控制方法,

24.一种控制方法,是权利要求6所述的氢检测装置的控制方法,

25.一种控制方法,是权利要求12所述的氢检测装置的控制方法,

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种氢检测装置,具备:

2.根据权利要求1所述的氢检测装置,

3.根据权利要求2所述的氢检测装置,

4.根据权利要求1至3中任一项所述的氢检测装置,

5.根据权利要求1至4中任一项所述的氢检测装置,还具备:

6.一种氢检测装置,具备:

7.根据权利要求6所述的氢检测装置,

8.根据权利要求6或7所述的氢检测装置,还具备:

9.根据权利要求1至8中任一项所述的氢检测装置,

10.根据权利要求1至9中任一项所述的氢检测装置,

11.根据权利要求1至10中任一项所述的氢检测装置,

12.一种氢检测装置,具备:

13.根据权利要求12所述的氢检测装置,

14.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:河合贤本间运也片山幸治
申请(专利权)人:新唐科技日本株式会社
类型:发明
国别省市:

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