【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光纤应用，具体涉及一种基于光纤内多回音壁模式谐振器及其制作方法。
技术介绍
1、回音壁模式(wgm)谐振器内的光在一个封闭的腔体内传播，以同样的角度在腔体内进行全反射，传播一周后当光波路径满足一定相位匹配条件时，就可以互相叠加增强形成驻波场，形成光放大效果。回音壁模式(wgm)谐振器因其高品质因数(q)、模式体积小、窄线宽、光子寿命长、功耗低等优点，广泛应用于滤光片、调制器、微激光器、频率梳发生器、非线性光学和高灵敏度传感器器件。
2、目前，常见的wgm谐振器的微腔类型主要有：微球腔、微泡腔、微环腔、微盘腔、微环芯腔、微管腔、瓶口腔等。每个微腔类型都有自己的优缺点。然而，上述微腔类型的wgm谐振器大多是分立光学器件，不能直接与入射光辐射耦合，需要使用锥形光纤、侧面抛光光纤、波导或棱镜等外部耦合方案。当需要在光纤系统中使用wgm谐振器时，这就造成了困难。
3、因此，一种集成在光纤内的微型wgm谐振结构，并且容易通过光纤纤芯中传播光进行耦合的wgm谐振器以及相关的制作方法的在实际中是迫切需求的，目前，市面上还没有出现此类设备。
技术实现思路
1、本专利技术目的是为解决上述现有技术中存在的技术问题而提出了一种基于光纤内多回音壁模式谐振器及其制作方法；该wgm谐振器采用飞秒激光刻蚀和快速氢氟酸腐蚀制备而成。这种在光纤内形成两个wgm的谐振器与光纤完全集成，可以直接耦合在光纤纤芯中传播的光，从而为微激光器和非线性光学等领域的许多有前途的应用铺平了道路。<...
【技术保护点】
1.一种基于光纤内多回音壁模式谐振器，包括光纤本体，所述光纤本体为单模光纤本体、多模光纤本体或者无芯光纤本体，其特征在于，在光纤本体上刻蚀有回音壁结构，所述回音壁结构包括圆环形空腔和圆柱形导光体，其中圆环形空腔通过在多模光纤本体上刻蚀而成，刻蚀后在圆环形空腔内的部分即为圆柱形导光体；
2.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，当光纤本体为单模光纤本体时，圆环形空腔的全部或者部分嵌入纤芯内；当光纤本体为多模光纤本体时，圆环形空腔和圆柱形导光体均位于纤芯内，且圆环形空腔的中心线与光纤本体的中心线相交垂直。
3.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，所述圆柱形导光体与圆环形空腔内壁相切设置。
4.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，在圆柱形导光体内刻蚀有同轴设置的内圆柱形空腔。
5.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，所述圆柱形导光体为两个，且两个圆柱形导光体之间设有间隔，两个圆柱形导光体与圆环形空腔内壁之间也设有间隔。
6.根
7.根据权利要求5所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，所述圆柱形导光体为两个，两个圆柱形导光体之间相切设置，两个圆柱形导光体与圆环形空腔内壁之间也相切设置。
8.一种如权利要求1至7任一项所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
9.根据权利要求8所述的多回音壁模式谐振器的制作方法，其特征在于，在步骤A中，所述光纤本体为多模光纤，飞秒激光器的中心波长为800nm，脉冲能量为500μJ，脉冲持续时间为35fs，重复频率为5kHz，激光束的扫描速度为10μm/s。
10.根据权利要求8所述的多回音壁模式谐振器的制作方法，其特征在于，在步骤B中，将圆柱形结构所在光纤本体部位放入40％浓度的氢氟酸溶液浸泡腐蚀150s。
...【技术特征摘要】
1.一种基于光纤内多回音壁模式谐振器，包括光纤本体，所述光纤本体为单模光纤本体、多模光纤本体或者无芯光纤本体，其特征在于，在光纤本体上刻蚀有回音壁结构，所述回音壁结构包括圆环形空腔和圆柱形导光体，其中圆环形空腔通过在多模光纤本体上刻蚀而成，刻蚀后在圆环形空腔内的部分即为圆柱形导光体；
2.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，当光纤本体为单模光纤本体时，圆环形空腔的全部或者部分嵌入纤芯内；当光纤本体为多模光纤本体时，圆环形空腔和圆柱形导光体均位于纤芯内，且圆环形空腔的中心线与光纤本体的中心线相交垂直。
3.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，所述圆柱形导光体与圆环形空腔内壁相切设置。
4.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，在圆柱形导光体内刻蚀有同轴设置的内圆柱形空腔。
5.根据权利要求1所述的基于光纤内多回音壁模式谐振器，其特征在于，所述圆柱形导光体为两个，且两个圆柱形导光体之间设有间隔，两个圆柱...
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