【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学装备制造，尤其涉及一种高速脉冲串激光的产生装置。
技术介绍
1、针对脉冲激光材料精密加工而言，提升脉冲重复频率，缩短脉冲间间隔和使用脉冲串加工的方式具有重要的应用价值。首先，脉冲串可以减少热量扩散，避免单一大能量脉冲热量向加工点周围区域的扩散，形成大的热影响区，降低加工精度和质量；其次，高重复频率可以减少脉冲叠加过程中的能量损失，利用残留热量持续提升加工位置温度，提高加工速度；此外，高重频脉冲激光在同物质相互作用过程中，还会形成诸如“烧蚀冷却”等效应，进一步提高加工效率和质量。通过对脉冲串中各脉冲能量的精确分配，还可以进一步优化加工效果。目前常用的电调制技术方案受限于系统带宽，难于输出过高重频。新进研发的ghz级别高重频种子源虽然可以减小脉冲间隔时间，但是各脉冲强度无法精确设定。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种高速脉冲串激光的产生装置及方法，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。
2、本专利技术为实现上述专利技术目的采用如下技术方案：
3、本专利技术提供了一种高速脉冲串激光的产生装置，包括激光种子源、脉冲分束器、激光放大器和光合束器；
4、所述激光种子源用于产生脉冲光信号；
5、所述脉冲分束器用于接收所述激光种子源产生的脉冲光信号，以将脉冲光信号按照一定比例分配功率，并能够控制脉冲光信号的时间延迟；
6、所述激光放大器用于接收所述脉冲分束器输出的脉冲光
7、所述光合束器用于对所述激光放大器输出的脉冲光信号进行合并。
8、进一步地，所述激光种子源产生的脉冲光信号，其重复频率小于200mhz，脉冲宽度的取值范围为5纳秒至500飞秒。
9、进一步地，所述脉冲分束器包括至少一组耦合器，每组耦合器的数量设置为两个；
10、其中每一组耦合器的输入端分别连接所述激光种子源，输出端分别连接另一组耦合器的输入端，用于获取等功率的两路激光信号。
11、进一步地，当获得2n路等功率激光输出时，需要2n-1组耦合器，n取正整数。
12、进一步地，所述脉冲分束器通过截断和延长光纤以控制脉冲光信号抵达的时间。
13、进一步地，所述激光放大器对所述脉冲分束器产生的多路脉冲光信号进行同等倍率的放大或不同等倍率的放大。
14、进一步地，所述激光放大器包括泵浦激光源、泵浦合束器、增益光纤和级间隔离器；
15、所述泵浦激光源的能量通过所述泵浦合束器进入所述增益光纤，以对低功率的前级信号进行能量放大。
16、进一步地，所述光合束器对多路被放大的脉冲光信号进行合束，合并至同一个光纤中输出。
17、本专利技术的有益效果如下：
18、本专利技术实现了一种脉冲串加工，脉冲串中的子脉冲间隔通过光纤延迟确定，从而可以提供很小的子脉冲间隔；
19、由于采用了独立的放大器，可以对各子脉冲的能量进行精确控制。而不是受限于单一放大器中的储能状况和能量提取率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，包括激光种子源、脉冲分束器、激光放大器和光合束器；
2.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述激光种子源产生的脉冲光信号，其重复频率小于200MHz，脉冲宽度的取值范围为5纳秒至500飞秒。
3.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述脉冲分束器包括至少一组耦合器，每组耦合器的数量设置为两个；
4.根据权利要求3所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，当获得2n路等功率激光输出时，需要2n-1组耦合器，n取正整数。
5.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述脉冲分束器通过截断和延长光纤以控制脉冲光信号抵达的时间。
6.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述激光放大器对所述脉冲分束器产生的多路脉冲光信号进行同等倍率的放大或不同等倍率的放大。
7.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述激光放大器包括泵浦激光源、泵浦合束器、增
8.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述光合束器对多路被放大的脉冲光信号进行合束，合并至同一个光纤中输出。
...【技术特征摘要】
1.一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，包括激光种子源、脉冲分束器、激光放大器和光合束器；
2.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述激光种子源产生的脉冲光信号，其重复频率小于200mhz，脉冲宽度的取值范围为5纳秒至500飞秒。
3.根据权利要求1所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，所述脉冲分束器包括至少一组耦合器，每组耦合器的数量设置为两个；
4.根据权利要求3所述的一种高速脉冲串激光的产生装置，其特征在于，当获得2n路等功率激光输出时，需要2n-1组耦合器，n取正整数。
5.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋仕彬，李夏，蒋立佳，
申请(专利权)人：杭州银湖激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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