【技术实现步骤摘要】
本公开涉及废气处理，具体是一种废气处理系统及方法。
技术介绍
1、在半导体器件的制程中会产生废气，需要对这些废气进行处理以避免废气污染环境以及造成安全隐患，然而，在废气处理过程中会存在回燃风险，一旦发生回燃会损坏输气管路和相关设备，造成经济损失，引发安全事故。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本公开提供一种废气处理系统及方法。
2、根据本公开实施例的第一方面，提供一种废气处理系统，用于对含有可燃气体的废气进行处理，所述废气处理系统包括：
3、废气处理装置，用于对废气进行燃烧处理；
4、泵送装置，用于将废气泵送至所述废气处理装置；
5、防回火装置，设置于所述泵送装置与所述废气处理装置之间；
6、第一输气通路，用于将所述泵送装置经所述防回火装置与所述废气处理装置连通；
7、第二输气通路，用于将所述泵送装置与所述废气处理装置连通；
8、第一切换装置，配置为用于使得所述第一输气通路和所述第二输气通路择
【技术保护点】
1.一种废气处理系统，用于对含有可燃气体的废气进行处理，其特征在于，所述废气处理系统包括：
2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，所述防回火装置的内腔中设置有火焰隔离部，所述火焰隔离部将所述内腔分为第一空间和第二空间，所述火焰隔离部配置为对所述第一空间和所述第二空间进行火焰隔离，并使得气体沿由所述第一空间向所述第二空间的方向单向导通；
3.根据权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于，所述防回火装置的内腔中容置有隔离液体，所述隔离液体为不可燃液体，且所述废气难溶于所述隔离液体，所述内腔在所述隔离液体的液面以下的空间构成所述第一空间，...
【技术特征摘要】
1.一种废气处理系统，用于对含有可燃气体的废气进行处理，其特征在于，所述废气处理系统包括：
2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其特征在于，所述防回火装置的内腔中设置有火焰隔离部，所述火焰隔离部将所述内腔分为第一空间和第二空间，所述火焰隔离部配置为对所述第一空间和所述第二空间进行火焰隔离，并使得气体沿由所述第一空间向所述第二空间的方向单向导通；
3.根据权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于，所述防回火装置的内腔中容置有隔离液体，所述隔离液体为不可燃液体，且所述废气难溶于所述隔离液体，所述内腔在所述隔离液体的液面以下的空间构成所述第一空间，所述内腔在所述隔离液体的液面以上的空间构成所述第二空间。
4.根据权利要求2所述的废气处理系统，其特征在于，所述废气处理系统还包括：
5.根据权利要求4所述的废气处理系统，其特征在于，所述火焰侦测装置设置于所述第二空间内。
6.根据权利要求1至5任一项所述的废气处理系统，其特征在于，所述第二输气通路包括第三输气管路，所述第三输气管路的一端与所述泵送装置相连，所述第三输气管路的...
【专利技术属性】
技术研发人员：龙海峰，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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