【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，具体是一种气体纳米传感器。
技术介绍
1、传感器是一种检测装置，是实现自动检测和自动控制的首要环节；传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化以及网络化；传感器能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求；气体传感器是众多传感器中的一种；
2、相关技术中提供了一种气体传感器，该气体传感器仅具备单一特定气体信号检测与传感功能；而且在制作该气体传感器时，形成在基板上用于吸附待检测气体分子进行电化学信号转换的传感模块多为通过化学气相沉积技术(应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物)制作，使得制作的传感模块比表面积较小，与靶向气体相互作用的有效面积较小；
3、针对上述
技术介绍
中的问题，本专利技术旨在提供一种气体纳米传感器。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种气体纳米传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种气体纳米传感器，所述气体纳米传感器包括：
4、传感器本体，其中，在传感器本体内部开设有空腔，在空腔内部布置有基片，基片为半导体硅基片；基片上集成有用于预存目标检测气体不同浓度气氛中的信号值的存储器；同时基片上还间隔排列分布有用于通电后吸附待检测气体进行信号比对，实现目标气体检测与检测信息输出的传感模块；
5、作为本专利技术进一步的方案：形成的传感模块包括电结晶纳米线以及导电基，导电基形成在基片上端表面，而电结晶纳米线架构在导电基上端。
6、作为本专利技术进一步的方案：在传感器本体一侧还安装有用于对所述气体纳米传感器实现电源输出以及信号输入与输出的引脚，引脚与空腔内部安装的基片电性连接。
7、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
8、所述的气体纳米传感器设置的传感模块通过籽晶介导电沉积技术使有机晶体化合物在籽晶介导结晶过程中具有纳米尺寸约束现象，cts-nws的结晶特性可通过改变前驱体的化学性质、浓度以及溶剂类型进行调控，使nws比表面积增大，提供了较大的与靶向气体相互作用的有效面积；
9、而且，通过籽晶介导电沉积技术与相关技术中的化学气相沉积(cvd)、模板技术、固-气相生长等nws制备方法相比，其工艺简单，可重复性强以及成本低，适合大规模生产，满足产业化需求；
10、另外，该气体纳米传感器还具备以下性能：检测精度达到ppm量级，功耗低至nw～μw量级；响应和信号稳定速度快；器件长期稳定性佳，使用寿命长；可以多气体成分同时检测。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种气体纳米传感器，其包括：传感器本体(1)；其特征在于：在传感器本体(1)内部开设有空腔(2)，在空腔(2)内部布置有基片(4)，基片(4)为半导体硅基片；基片(4)上集成有用于预存目标检测气体不同浓度气氛中的信号值的存储器(3)；
2.根据权利要求1所述的气体纳米传感器，其特征在于：形成的传感模块(5)包括电结晶纳米线(8)以及导电基(9)，导电基(9)形成在基片(4)上端表面，而电结晶纳米线(8)架构在导电基(9)上端。
3.根据权利要求1所述的气体纳米传感器，其特征在于：在传感器本体(1)一侧还安装有用于对所述气体纳米传感器实现电源输出以及信号输入与输出的引脚(6)，引脚(6)与空腔(2)内部安装的基片(4)电性连接。
【技术特征摘要】
1.一种气体纳米传感器，其包括：传感器本体(1)；其特征在于：在传感器本体(1)内部开设有空腔(2)，在空腔(2)内部布置有基片(4)，基片(4)为半导体硅基片；基片(4)上集成有用于预存目标检测气体不同浓度气氛中的信号值的存储器(3)；
2.根据权利要求1所述的气体纳米传感器，其特征在于：形成的传感模块(5)包括电结...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜辉，赵良，段晶，
申请(专利权)人：江苏量辉智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。