【技术实现步骤摘要】
本文描述的专利技术构思的实施方案是关于示教方法(teaching method)、存储在介质中用于执行示教方法的程序及传送系统。
技术介绍
1、在制造半导体组件的基板处理设备中，对诸如晶圆的基板执行各种工艺，诸如光学光刻术工艺、蚀刻工艺、灰化工艺、薄膜沉积工艺及清洗工艺。在基板处理设备中，晶圆由传送机械手在基板处理装置内传送。传送机械手将晶圆传送至支承晶圆的支承机构，诸如旋转卡盘、加热板及由基板处理设备提供的支承架。为了对晶圆正确执行工艺，传送机械手必须能够将晶圆传送至这些支承机构上的正确位置。
2、执行示教以检查及调整传送机械手的晶圆传送位置(例如，晶圆传送坐标)，以便传送机械手能够将晶圆装载至基板处理设备中支承机构的正确位置。这一示教操作在对晶圆执行工艺之前由使用者执行，更具体地，在安装传送机械手时执行。
3、一般而言，通过使用控制设备或类似者手动地操作传送机械手来执行示教操作。具体地，使用者手动地操作传送机械手以将晶圆装载至支承机构上，此时，检查晶圆的传送坐标。然而，根据使用者的熟练程度及疲劳程度，这一方法...
【技术保护点】
1.一种用于示教传送机械手的传送位置的示教方法，所述示教方法包含以下步骤：
2.根据权利要求1所述的示教方法，其中，所述示教方法还包含以下步骤：基于从不同于所述第一传感器及所述第二传感器的第三传感器获取的数据得出所述对象的第一方向的坐标。
3.根据权利要求2所述的示教方法，其中，所述示教方法还包含以下步骤：基于包括所述第一方向的坐标、所述第二方向的坐标及所述第三方向的坐标的对象坐标及所述对象的预先存储的信息来计算所述传送位置的坐标的示教坐标。
4.根据权利要求3所述的示教方法，其中，所述对象的所述信息包括从所述对象坐标至所述示教坐标
<...【技术特征摘要】
1.一种用于示教传送机械手的传送位置的示教方法，所述示教方法包含以下步骤：
2.根据权利要求1所述的示教方法，其中，所述示教方法还包含以下步骤：基于从不同于所述第一传感器及所述第二传感器的第三传感器获取的数据得出所述对象的第一方向的坐标。
3.根据权利要求2所述的示教方法，其中，所述示教方法还包含以下步骤：基于包括所述第一方向的坐标、所述第二方向的坐标及所述第三方向的坐标的对象坐标及所述对象的预先存储的信息来计算所述传送位置的坐标的示教坐标。
4.根据权利要求3所述的示教方法，其中，所述对象的所述信息包括从所述对象坐标至所述示教坐标的距离值。
5.根据权利要求4所述的示教方法，其中，所述距离值包括所述第一方向的距离值、所述第二方向的距离值及所述第三方向的距离值。
6.根据权利要求2所述的示教方法，其中，所述第一传感器是激光雷达传感器，所述第二传感器是视觉传感器，且所述第三传感器是距离传感器。
7.根据权利要求6所述的示教方法，其中，所述示教方法还包含以下步骤：
8.根据权利要求3所述的示教方法，其中，如果所述对象是用于存储待传送的所述目标对象的存储机构，则所述对象坐标是所述对象面对所述传送机械手的面中特定点的坐标。
9.根据权利要求3所述的示教方法，其中，如果所述对象是其上放置有待传送的所述目标对象的支承单元，则所述对象坐标是所述对象的支承销...
【专利技术属性】
技术研发人员：李钟民，金光燮，林名俊，朴永镐，宋延徹，孙相睍，吴埈昊，柳志勋，慎重喆，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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