一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统技术方案

本申请涉及沉积炉用配电柜技术领域，尤其涉及一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，气相沉积炉配电柜和风冷装置；风冷装置的进风管连通设置在气相沉积炉配电柜的顶部，风冷装置的出风口设置在气相沉积炉配电柜的底部；自气相沉积炉配电柜的顶部至气相沉积炉配电柜的底部形成有流动风路，本申请在配电柜中设置风冷装置，并且风冷装置的进风管连通设置在气相沉积炉配电柜的顶部，风冷装置的出风口设置在气相沉积炉配电柜的底部，使得通入气相沉积炉配电柜内部的气体以自上而下的方向流动，进而实现了对配电柜内部沉积的粉尘进行吹扫及去除，避免配电柜内部存在的导电粉尘导致配电柜的爆炸的现象，同时能够达到对配电柜内发热元件降温的目的。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及沉积炉用配电柜，尤其涉及一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统。

技术介绍

1、碳碳复合材料因其独特的耐高温及抗腐蚀等优异的理化性能，普遍应用于高温、航天、制动等领域，市场需求量逐年增加。

2、cvd(化学气相沉积)是一种常用的碳纤维预制体增密方法，其原理主要是将小分子碳源气体在高温下裂解，裂解碳沉积至预制体内部，制备碳碳复合材料，其制备过程中会产生易导电的粉尘。

3、在cvd过程中通过配电柜对炉内温度、压强、气量等参数进行控制，在配电柜长时间运行的情况下，气相沉积炉配电柜内部会逐渐升高，需要对沉积炉配电柜进行降温，常用方法是在配电柜内部安装冷风机。冷风机的使用虽然可以实现降温功能，但同时也会将悬浮于炉体周围空气中的导电粉尘引入配电柜中，常会引起cvd炉配电柜爆炸，对设备造成损坏。

4、因此，需提供一种改进的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，以解决上述现存问题的至少之一。

技术实现思路

1、为了解决上述现有技术存在的问题，本申请提供一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，包液气相沉积炉配电柜和风冷装置；所述风冷装置的进风管连通设置在所述气相沉积炉配电柜的顶部，所述风冷装置的出风口设置在所述气相沉积炉配电柜的底部；在所述气相沉积炉配电柜的内部，自所述气相沉积炉配电柜的顶部至所述气相沉积炉配电柜的底部形成有流动风路；

2、进一步地，所述风冷装置包括过滤件；所述过滤件设置在所述风冷装置的进风管内。

3、进一步地，所述过滤件的过滤层数为5-10层。

4、进一步地，所述风冷装置还包括风机装置；所述风机装置连通设置在所述风冷装置的进风管上，所述风机装置设置在所述过滤件与所述气相沉积炉配电柜之间。

5、进一步地，所述气相沉积炉配电柜的顶部设置有进风口，所述风冷装置的进风管与所述进风口连通设置。

6、进一步地，所述风冷装置的进风管上可通断设置调控阀，所述调控阀设置在靠近所述气相沉积炉配电柜一侧。

7、进一步地，所述风冷装置的进风管为pp(聚丙烯)管。

8、进一步地，所述风冷装置的进风管的直径范围为3-10cm，所述进风口的口径与所述风冷装置的进风管的直径相适配。

9、进一步地，所述风冷装置包括通风主管路，所述通风主管路与所述风冷装置的进风管连通；所述通风主管路的管路直径范围为10-20cm。

10、进一步地，所述通风主管路为变径管路，所述通风主管路沿风向流动方向包括主管进风始端和主管进风末端，所述主管进风始端的管径范围为10-20cm，所述主管进风末端的管径范围为5-8cm。

11、进一步地，所述风冷装置的出风口处开设有多个均匀布置的矩形缝隙，所述矩形缝隙的宽度范围为25-30mm。

12、进一步地，一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统包括至少两个所述气相沉积炉配电柜；所述至少两个气相沉积炉配电柜依次布置；所述风冷装置包括至少两个风冷装置的进风管，所述至少两个风冷装置的进风管分别与所述至少两个气相沉积炉配电柜的顶部一一对应连通设置；所述风冷装置包括至少两个风冷装置的出风口，所述至少两个风冷装置的出风口分别一一对应设置在所述至少两个气相沉积炉配电柜的底部。

13、本申请提供的一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，至少具有如下

14、有益效果：

15、本申请在配电柜中设置风冷装置，并且风冷装置的进风管连通设置在气相沉积炉配电柜的顶部，风冷装置的出风口设置在气相沉积炉配电柜的底部，在气相沉积炉配电柜的内部，自气相沉积炉配电柜的顶部至气相沉积炉配电柜的底部形成有流动风路，使得通入气相沉积炉配电柜内部的气体以自上而下的方向流动，进而实现了对配电柜内部沉积的粉尘进行吹扫及去除，避免配电柜内部存在的导电粉尘导致配电柜的爆炸的现象，提升了设备使用的安全性，实现了设备的安全生产要求，同时能够达到对配电柜内发热元件降温的目的，提升了各个配电柜内发热元件的使用寿命及使用性能。

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【技术保护点】

1.一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置包括过滤件(3)；

3.根据权利要求2所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述过滤件(3)的过滤层数为5-10层。

4.根据权利要求2所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置还包括风机装置(4)；

5.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述气相沉积炉配电柜(1)的顶部设置有进风口，所述风冷装置的进风管(21)与所述进风口连通设置。

6.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置的进风管(21)上可通断设置调控阀(5)，所述调控阀(5)设置在靠近所述气相沉积炉配电柜(1)一侧。

7.根据权利要求5所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置的进风管(21)的直径范围为3-10cm，所述进风口的口径与所述风冷装置的进风管(21)的直径相适配；

8.根据权利要求7所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述通风主管路(20)为变径管路，

9.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置的出风口(22)处开设有多个均匀布置的矩形缝隙，所述矩形缝隙的宽度范围为25-30mm。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，包括至少两个所述气相沉积炉配电柜(1)；所述至少两个气相沉积炉配电柜(1)依次布置；

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【技术特征摘要】

1.一种用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置包括过滤件(3)；

3.根据权利要求2所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述过滤件(3)的过滤层数为5-10层。

4.根据权利要求2所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置还包括风机装置(4)；

5.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述气相沉积炉配电柜(1)的顶部设置有进风口，所述风冷装置的进风管(21)与所述进风口连通设置。

6.根据权利要求1所述的用于气相沉积炉的配电柜防爆降温系统，其特征在于，所述风冷装置的进风管(21)上可通断设置调控阀(5)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海波，甘晶晶，王宏涛，
申请(专利权)人：浙江德鸿碳纤维复合材料有限公司，
类型：新型
国别省市：