【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试，具体是一种高精度自动补偿测试方法。
技术介绍
1、半导体测试是确保半导体芯片质最和性能的重要环节，测试工艺可依据不同的测试对象，分为晶圆测试和封装测试；也可根据不同的测试参数，分为温度、速度和运作模式测试等三种类型，温度测试以施加在试验样品上的温度为标准，速度测试又分为核心（core）测试和速率测试，运作模式测试细分为直流测试（dc test）、交流测试（actest）和功能测试（functiontest），晶圆测试的对象是晶圆。
2、现有技术中，在单通道输出电压不够的情况下，需要进行多通道叠加输出，叠加的误差会被放大，导致输出值偏差大；在通道测量精度达不到要求时，需要通过高精度仪器进行高精度测量对输出电压值进行补偿输出，较为依赖高精度仪器，而高精度仪器使得测试的成本较高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种高精度自动补偿测试方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、本专利技术的技术方案是：一种高精度自动补偿测试方法，包括以下步骤：
3、s1、通过vi multimate 对high-accuray adc 进行校准，使其达到高精度；
4、s2、使用校准后的high-accuray adc 对 vi source进行内部校准修正；
5、s3、high-accuray adc 通过继电器对多通道 vi source进行校准修正gainoffset；
6、s4、当负载需要高精
7、s5、多路负载叠加输出vi源补偿是通过高精度adc采集负载端电压差，数据传给fpga进行处理取vi源输出值与高精度测量值进行差值计算，再通过修正offset传给最后一个累加的vi源输出。
8、优选的，s2包括：
9、vi源输出电压给负载的理论值fvvalue，high-accuray adc进行测量得到测量值measurevalue；
10、通道内adc测得值selfmeasure；fv偏差值=measurevalue - fvvalue；通过相干计算得出10v档位的线性数据，最终得出fvgain与offset；同样通道adc偏差值=measurevalue- selfmeasure；通过相干计算得出10v档位的线性数据，最终得出通道adc 的gain与offset。
11、优选的，s3包括，通过板卡上的公用high-accuray adc切到不同通道进行校准，校准的步骤与s2相同。
12、优选的，s4包括：
13、当需要高精度adc监控vi源输出的值高不够精准，以及测试到vi源输出与软件加理论值有偏差时，通过fpga获取偏差值加到vi源输出上。
14、优选的，s4还包括：
15、采用fpga控制高精度测量电源测试负载上的电压，vi源设置加电压到负载上，fpga回读高精度源测试值-vi设定的输出到负载端的值= 偏差值,当这个偏差值在设定的范围内则不做处理，如果超出设定的偏差范围，则fpga控制vi设定的输出到负载端的值+偏差值= 负载端要求达到的理论值；
16、偏差范围精度达到+-0.5mv范围。
17、优选的，s5包括：
18、当3路vi源同时输出5v叠加总体偏差最大在1.5mv时，如果要求最低端的l到最高端的h电势差不能超过0.5mv时，将高精度测量单元接在被测负载端上监控，当偏差超过0.5mv，假如测得值为15.001v则fpga控制最高端vi source a 输出电压为4.999v补偿整体偏差。
19、本专利技术通过改进在此提供一种高精度自动补偿测试方法，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
20、本专利技术能够减少叠加输出的误差累积，通过高精度adc采集负载端电压差，数据传给fpga进行处理取vi源输出值与高精度测量值进行差值计算，再通过修正offset传给vi源输出，通过这种模式保证vi source输出电压源精度更高。
21、本专利技术能够增加内部自检，通过校准内部测量单元，然后脱离万用表进行内部自检校准修正等；将高精度测量单元接在测负载端上监控，当偏差超过0.5mv，假如测得值为15.001v则fpga控制最高端vi source a 输出电压为4.999v补偿整体偏差；上述加测控制都是通过软件设置到fpga，由硬件自动补偿操作，该方法可以提高测试效率。不用通过软件反复测量来回测试补偿验证。
22、本专利技术能够解决测量对于高精度仪器的依赖，通过板卡上的公用high-accurayadc切到不同通道进行校准，校准的步骤与s2相同，这种校准方式减少对万用表的依赖，通过板卡内部的高精度adc对板卡上的多路通道adc/dac进行修改校准。
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1.一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述S2包括：
3.根据权利要求2所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述S3包括，通过板卡上的公用High-Accuray ADC切到不同通道进行校准，所述校准的步骤与S2相同。
4.根据权利要求1所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述S4包括：
5.根据权利要求4所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述S4还包括：
6.根据权利要求1所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述S5包括：
【技术特征摘要】
1.一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述s2包括：
3.根据权利要求2所述的一种高精度自动补偿测试方法，其特征在于：所述s3包括，通过板卡上的公用high-accuray adc切到不同通道进行校...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄浩，李全任，
申请(专利权)人：南京宏泰半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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