【技术实现步骤摘要】
本技术属于隔膜阀，尤其是涉及一种真空隔膜阀。
技术介绍
1、真空隔膜阀是利用阀杆将橡胶膜直接压在阀座上，用来截止或接通真空系统，其适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。在半导体制造过程中，ald工艺等均需要使用真空隔膜阀在高温大气环境下在极短时间内开闭进行循环的高速切换，以便控制气体供给管路系统的通断进行气体供给，阀的开闭动作次数多。
2、目前，市面上常见的真空隔膜阀主要是由阀体、隔膜片和气动执行器等组成，阀体的相对两端分别供介质进出的两个介质通道，两个介质通道的衔接处具有一个阀座，隔膜片对应阀座设置在阀体的中部，隔膜片由气动执行器驱动与阀座配合用于控制两个介质通道之间的通断。然而，由于现有隔膜片大都是由橡胶材料成型，耐磨性较差，而且阀座的顶部接触面积较小，橡胶材质的隔膜片很容易被压坏，导致真空隔膜阀不能正常关闭，从而影响密封效果，使用寿命短；此外，在使用过程中，现有阀体的两端一般是采用插接方式与外部系统的管道进行连接，存在连接不牢固导致意外脱落的问题。因此，急需对现有的真空隔膜阀进行结构改进，提供一种真空隔膜阀来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于针对现有技术中存在的不足，提供一种设计合理，耐磨性优良，使用寿命长，密封效果好，管道连接方便快捷，连接牢固不易脱落的真空隔膜阀。
2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种真空隔膜阀，其包括阀体、隔膜片和气动执行器，所述阀体的两端分别设有两个介质通道，两个介质通道的衔接处具有
4、作为优选，所述管接头包括熔接套筒和连接螺母，连接螺母活动套设在熔接套筒的外侧，连接螺母和熔接套筒的一端之间设有防脱落限位结构，熔接套筒的另一端和介质通道的外端真空熔焊相连。
5、作为优选，所述防脱落限位结构包括限位止口和限位轴肩，限位止口和限位轴肩分别设于连接螺母的一端内侧和介质通道的外端外侧，限位止口与限位轴肩配合用于防止熔接套筒和连接螺母发生轴向脱落。
6、作为优选，所述连接螺母的一端侧壁上沿径向开设有螺钉孔。
7、作为优选，所述气动执行器包括壳体、支座、阀芯和活塞，所述支座的上下两端分别与壳体和阀体的螺纹连接，支座的内部设有上下设置的活塞腔和压紧腔，所述活塞滑动连接在活塞腔内将其内部空间分为上腔和下腔，下腔与壳体之间设有气动通道连通，壳体的顶部内壁和活塞的上表面之间设有弹簧连接，所述阀芯对应隔膜片设于压紧腔内，阀芯通过活塞杆与活塞的下表面连接，压紧腔内设有用于压紧隔膜片周侧的压紧环。
8、作为优选，所述壳体的顶部设有气管连接孔，气管连接孔的底部与气动通道连通。
9、作为优选，所述壳体的上部侧壁、支座的下部侧壁以及压紧环的上部侧壁均设有排气孔。
10、作为优选，所述活塞杆的中部与活塞固定连接，活塞杆的上部与壳体滑动连接，活塞杆的下部滑动穿过支座与阀芯固定连接。
11、作为优选，所述活塞杆的上部与壳体之间、活塞杆的下部与支座之间、以及活塞与活塞腔之间均设有第一密封圈。
12、作为优选，所述隔膜片由elgiloy材料成型。
13、作为优选，所述中间通道的平底上嵌置有高出平底的第二密封圈。
14、与现有技术相比，本技术采用以上技术方案，具有以下技术效果：
15、本技术的隔膜片为倒扣圆盘状的金属膜片，具有优良的耐磨性能，能够耐受多次开闭循环切换，而且阀座的顶部平整，中间通道具有平底，使得隔膜片与阀座相抵配合时更不容易被压坏，能够有效的与阀座配合以确保真空隔膜阀正常关闭，密封效果好，使用寿命长。本技术通过在两个介质通道的外端分别真空熔焊连接有用于连接外部管道的两个管接头，使得管道连接更加方便快捷，连接牢固，不易脱落。
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1.一种真空隔膜阀，包括阀体(10)、隔膜片(20)和气动执行器(30)，所述阀体(10)的两端分别设有两个介质通道(11)，两个介质通道(11)的衔接处具有一个阀座(12)，所述隔膜片(20)对应阀座(12)设置在阀体(10)的中部，隔膜片(20)由气动执行器(30)驱动与阀座(12)配合用于控制两个介质通道(11)之间的通断，其特征在于：所述隔膜片(20)为倒扣圆盘状的金属膜片，隔膜片(20)的下表面与阀座(12)之间围合形成具有平底的中间通道(13)，中间通道(13)分别与两个介质通道(11)的内端连通，两个介质通道(11)的外端分别真空熔焊连接有用于连接外部管道的两个管接头(40)。
2.根据权利要求1所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述管接头(40)包括熔接套筒(41)和连接螺母(42)，连接螺母(42)活动套设在熔接套筒(41)的外侧，连接螺母(42)和熔接套筒(41)的一端之间设有防脱落限位结构，熔接套筒(41)的另一端和介质通道(11)的外端真空熔焊相连。
3.根据权利要求2所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述防脱落限位结构包括限位止口(43)
4.根据权利要求2所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述连接螺母(42)的一端侧壁上沿径向开设有螺钉孔(45)。
5.根据权利要求1所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述气动执行器(30)包括壳体(31)、支座(32)、阀芯(33)和活塞(34)，所述支座(32)的上下两端分别与壳体(31)和阀体(10)的螺纹连接，支座(32)的内部设有上下设置的活塞腔和压紧腔，所述活塞(34)滑动连接在活塞腔内将其内部空间分为上腔和下腔，下腔与壳体(31)之间设有气动通道(35)连通，壳体(31)的顶部内壁和活塞(34)的上表面之间设有弹簧(36)连接，所述阀芯(33)对应隔膜片(20)设于压紧腔内，阀芯(33)通过活塞杆(38)与活塞(34)的下表面连接，压紧腔内设有用于压紧隔膜片(20)周侧的压紧环(37)。
6.根据权利要求5所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述壳体(31)的顶部设有气管连接孔(39)，气管连接孔(39)的底部与气动通道(35)连通。
7.根据权利要求5所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述壳体(31)的上部侧壁、支座(32)的下部侧壁以及压紧环(37)的上部侧壁均设有排气孔(60)。
8.根据权利要求5所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述活塞杆(38)的中部与活塞(34)固定连接，活塞杆(38)的上部与壳体(31)滑动连接，活塞杆(38)的下部滑动穿过支座(32)与阀芯(33)固定连接。
9.根据权利要求8所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述活塞杆(38)的上部与壳体(31)之间、活塞杆(38)的下部与支座(32)之间、以及活塞(34)与活塞腔之间均设有第一密封圈(51)。
10.根据权利要求1所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述中间通道(13)的平底上嵌置有高出平底的第二密封圈(52)。
...【技术特征摘要】
1.一种真空隔膜阀，包括阀体(10)、隔膜片(20)和气动执行器(30)，所述阀体(10)的两端分别设有两个介质通道(11)，两个介质通道(11)的衔接处具有一个阀座(12)，所述隔膜片(20)对应阀座(12)设置在阀体(10)的中部，隔膜片(20)由气动执行器(30)驱动与阀座(12)配合用于控制两个介质通道(11)之间的通断，其特征在于：所述隔膜片(20)为倒扣圆盘状的金属膜片，隔膜片(20)的下表面与阀座(12)之间围合形成具有平底的中间通道(13)，中间通道(13)分别与两个介质通道(11)的内端连通，两个介质通道(11)的外端分别真空熔焊连接有用于连接外部管道的两个管接头(40)。
2.根据权利要求1所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述管接头(40)包括熔接套筒(41)和连接螺母(42)，连接螺母(42)活动套设在熔接套筒(41)的外侧，连接螺母(42)和熔接套筒(41)的一端之间设有防脱落限位结构，熔接套筒(41)的另一端和介质通道(11)的外端真空熔焊相连。
3.根据权利要求2所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述防脱落限位结构包括限位止口(43)和限位轴肩(44)，限位止口(43)和限位轴肩(44)分别设于连接螺母(42)的一端内侧和介质通道(11)的外端外侧，限位止口(43)与限位轴肩(44)配合用于防止熔接套筒(41)和连接螺母(42)发生轴向脱落。
4.根据权利要求2所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述连接螺母(42)的一端侧壁上沿径向开设有螺钉孔(45)。
5.根据权利要求1所述的真空隔膜阀，其特征在于：所述气动...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟雄，袁华昌，
申请(专利权)人：埃癸斯漳州智能设备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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