【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
1、专利文献1中公开了蒸镀装置的对准方法。在此，对准是指使掩模和基板平行而使彼此的对准标记(成膜位置)配合。在基板因自重而挠曲而不平行的情况下，在对准后载置于掩模时，基板的伸长的方向变得不均匀。由此，掩模的对准孔的位置与基板的对准标记的位置容易错位，在最终确认中检测出对准错位。其结果，产生对准的重试。
2、因此，将触摸板(touch plate，以下称为tp)设于与掩模相反的一侧，通过tp的自重按压基板，抑制该基板的挠曲。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：国际公开第2020/183552号
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题
2、载置到掩模之前的基板在挠曲的同时基板的周缘由钩挂部支承。如果对该状态的基板单纯地载置tp，则与钩挂局部接触，对基板的端部施加强负荷，引起基板破裂。图8中示出该情形。由于自重而挠曲的基板3被钩挂部5支承，基板3的端部成为从钩挂部5稍微浮起的状态。当在该状态下将tp4a载置于基板3时，向基板3与tp4a接触的接触部t1或t2施加按压力。其结果是，施加来自接触部t1、t2的下方向的压力和基板3的挠曲所产生的上方向的压力，对接触点ld施加强的负荷。为了减轻该强负荷，需要在钩挂部5和tp4a之间配置垫板7，在钩挂部5和tp4a之间形成空隙，减轻接触部t1、t2的按压力。
3、另外，即使在使用了tp的情况下，由于基板的挠曲的抑制不
4、从图9b移至图9c时，基板3与tp4a的接触点从周缘移至中央部，从而基板3的伸长的起点(被固定的点)仅tp4a的中心部(与基板3的接触点)变得不稳定。因此，在基板3挂住与tp4a的接触点地伸长时，挠曲的消除方向杂乱，基板3与掩模2的对准错位。
5、进而，伴随着用于修正该对准错位的对准的重试次数的增加，在掩模2与基板3之间异物转印增加。
6、本专利技术的一个方式的目的在于，在蒸镀装置中，抑制对准后的基板的错位。
7、解决问题的方案
8、本专利技术的一个方式所涉及的蒸镀装置包括：金属制的掩模；触摸板，其从与所述掩模相反的一侧按压被固定于所述掩模之上的基板；钩挂部，其支承所述基板以及、所述触摸板的周围；以及磁铁，其设置于所述触摸板的与所述基板相反的一侧，所述触摸板朝向与所述基板相反的一侧翘曲。
9、专利技术效果
10、依据本专利技术的一个方式，在蒸镀装置中，由于触摸板朝向与基板相反的一侧翘曲，所以能够抑制对准后的基板的错位。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛尾修士，藤原圣士，今田裕士，园田通，
申请(专利权)人：夏普显示科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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