【技术实现步骤摘要】
本申请涉及机械电子,尤其涉及一种压电加速度计、压电传感器及智能设备。
技术介绍
1、压电传感器作为一种振动检测单元,广泛的应用于轮胎压力监测系统(tirepressure monitoring system,tpms)、震动检测仪、真正无线立体声(true wirelessstereo,tws)耳机、穿戴设备、听诊器等智能设备中。
2、但是,目前的压电传感器普遍存在可靠性差的问题。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种压电加速度计、压电传感器及智能设备,用于提高压电加速度计的信噪比及可靠性。
2、为达到上述目的,本实施例采用如下技术方案:
3、本申请实施例的第一方面,提供一种压电加速度计,压电加速度计例如为微电机系统压电加速度计。压电加速度计包括:基座、第一感应组件、第二感应组件以及连接结构。第一感应组件包括第一悬臂梁、第一质量块以及第一应力检测结构;第一悬臂梁相对的两端与基座和第一质量块连接,第一应力检测结构设置在第一悬臂梁表面。第二感应组件包括第二
...【技术保护点】
1.一种压电加速度计,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的压电加速度计,其特征在于,沿第一方向,所述连接结构的两端与所述第一质量块和所述第二质量块连接;沿第二方向,所述连接结构的至少一端与所述基座连接;所述第一方向为所述第一感应组件与所述第二感应组件的排布方向,所述第二方向与所述第一方向相交。
3.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构包括至少一条第一连接臂、至少一条第二连接臂以及至少一条第三连接臂;
4.根据权利要求3所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括至少一个第四连接臂;
【技术特征摘要】
1.一种压电加速度计,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的压电加速度计,其特征在于,沿第一方向,所述连接结构的两端与所述第一质量块和所述第二质量块连接;沿第二方向,所述连接结构的至少一端与所述基座连接;所述第一方向为所述第一感应组件与所述第二感应组件的排布方向,所述第二方向与所述第一方向相交。
3.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构包括至少一条第一连接臂、至少一条第二连接臂以及至少一条第三连接臂;
4.根据权利要求3所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括至少一个第四连接臂;
5.根据权利要求3或4所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括汇合部,所述第一连接臂、所述第二连接臂以及所述第三连接臂分别与所述汇合部连接。
6.根据权利要求5所述的压电加速度计,其特征在于,所述汇合部具有开口。
7.根据权利要求3-6任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一连接臂位于所述第二连接臂的延伸线上;
8.根据权利要求3-7任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一连接臂、所述第二连接臂以及所述第三连接臂的延伸轨迹为直线或者曲线。
9.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构具有开口。
10.根据权利要求1-9任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一悬臂梁的长度与所述第二悬臂梁的长度不相等。
11.根据权利要求1-10任一项...
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