压电加速度计、压电传感器及智能设备制造技术

技术编号:41137387 阅读:18 留言:0更新日期:2024-04-30 18:08
本申请提供一种压电加速度计、压电传感器及智能设备,涉及机械电子技术领域,用于提高压电加速度计的可靠性。压电加速度计例如为微电机系统压电加速度计。压电加速度计包括基座、第一感应组件、第二感应组件以及连接结构。第一感应组件包括第一悬臂梁、第一质量块以及第一应力检测结构;第一悬臂梁相对的两端与基座和第一质量块连接,第一应力检测结构设置在第一悬臂梁表面。第二感应组件包括第二悬臂梁、第二质量块以及第二应力检测结构;第二悬臂梁相对的两端与基座和第二质量块连接,第二应力检测结构设置在第二悬臂梁表面。连接结构设置在第一感应组件与第二感应组件之间,连接结构与第一质量块、第二质量块以及基座分别连接。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及机械电子,尤其涉及一种压电加速度计、压电传感器及智能设备


技术介绍

1、压电传感器作为一种振动检测单元,广泛的应用于轮胎压力监测系统(tirepressure monitoring system,tpms)、震动检测仪、真正无线立体声(true wirelessstereo,tws)耳机、穿戴设备、听诊器等智能设备中。

2、但是,目前的压电传感器普遍存在可靠性差的问题。


技术实现思路

1、本申请实施例提供一种压电加速度计、压电传感器及智能设备,用于提高压电加速度计的信噪比及可靠性。

2、为达到上述目的,本实施例采用如下技术方案:

3、本申请实施例的第一方面,提供一种压电加速度计,压电加速度计例如为微电机系统压电加速度计。压电加速度计包括:基座、第一感应组件、第二感应组件以及连接结构。第一感应组件包括第一悬臂梁、第一质量块以及第一应力检测结构;第一悬臂梁相对的两端与基座和第一质量块连接,第一应力检测结构设置在第一悬臂梁表面。第二感应组件包括第二悬臂梁、第二质量块以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电加速度计,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的压电加速度计,其特征在于,沿第一方向,所述连接结构的两端与所述第一质量块和所述第二质量块连接;沿第二方向,所述连接结构的至少一端与所述基座连接;所述第一方向为所述第一感应组件与所述第二感应组件的排布方向,所述第二方向与所述第一方向相交。

3.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构包括至少一条第一连接臂、至少一条第二连接臂以及至少一条第三连接臂;

4.根据权利要求3所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括至少一个第四连接臂;

>5.根据权利要求3...

【技术特征摘要】

1.一种压电加速度计,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的压电加速度计,其特征在于,沿第一方向,所述连接结构的两端与所述第一质量块和所述第二质量块连接;沿第二方向,所述连接结构的至少一端与所述基座连接;所述第一方向为所述第一感应组件与所述第二感应组件的排布方向,所述第二方向与所述第一方向相交。

3.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构包括至少一条第一连接臂、至少一条第二连接臂以及至少一条第三连接臂;

4.根据权利要求3所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括至少一个第四连接臂;

5.根据权利要求3或4所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构还包括汇合部,所述第一连接臂、所述第二连接臂以及所述第三连接臂分别与所述汇合部连接。

6.根据权利要求5所述的压电加速度计,其特征在于,所述汇合部具有开口。

7.根据权利要求3-6任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一连接臂位于所述第二连接臂的延伸线上;

8.根据权利要求3-7任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一连接臂、所述第二连接臂以及所述第三连接臂的延伸轨迹为直线或者曲线。

9.根据权利要求1或2所述的压电加速度计,其特征在于,所述连接结构具有开口。

10.根据权利要求1-9任一项所述的压电加速度计,其特征在于,所述第一悬臂梁的长度与所述第二悬臂梁的长度不相等。

11.根据权利要求1-10任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员:阮盛杰邢增平
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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