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压电加速度计、压电传感器及智能设备制造技术
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文档序号:41137387
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本申请提供一种压电加速度计、压电传感器及智能设备,涉及机械电子技术领域,用于提高压电加速度计的可靠性。压电加速度计例如为微电机系统压电加速度计。压电加速度计包括基座、第一感应组件、第二感应组件以及连接结构。第一感应组件包括第一悬臂梁、第一质...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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