【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例属于有机场效应晶体管,具体涉及一种超薄有机晶体管阵列制备方法及晶体管阵列。
技术介绍
1、近些年来,有机半导体和有机场效应晶体管的性能持续提升,其载流子迁移率可以和非晶硅的性能相比较(μ>0.1cm2v-1s-1),能够满足多种光电子设备的需求,在大屏显示器、电子书、传感器、曲面显示器、电子标签、智慧卡、电子皮肤等领域具有广泛的应用价值。
2、大面积、均匀、优异再线性的有机晶体管阵列是实现有机光电子器件产业化的关键。目前,有机半导体薄膜的制备方法主要有气相沉积。但是,气相沉积成本高昂、操作复杂且高温状态下易破坏半导体材料的性能等缺点,难以应用于商业化制备和生产。
3、因此,如何解决上述问题成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本公开的实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种超薄有机晶体管阵列制备方法及晶体管阵列。
2、本公开的实施例的第一个方面,提供一种超薄有机晶体管阵列制备方法及晶体管阵列,包括:
3、提本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,所述在所述氧化层上表面制作源电极和漏电极之后,还包括:
3.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,所述在所述衬底上表面形成氧化层之前,还包括:
4.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,
7.根据权利要求1
...【技术特征摘要】
1.一种超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,所述在所述氧化层上表面制作源电极和漏电极之后,还包括:
3.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,所述在所述衬底上表面形成氧化层之前,还包括:
4.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的超薄有机晶体管阵列制备方法,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴倜,谭琳,俞朝晖,刘省珍,曹龙,李永鹏,
申请(专利权)人:北京印刷学院,
类型:发明
国别省市:
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