【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种沉积设备。更具体地，本公开涉及一种包括屏蔽管和屏蔽盖的沉积设备。
技术介绍
1、诸如电视机、移动电话、平板计算机、导航单元和游戏单元的显示装置包括显示面板以显示图像。显示面板包括多个像素。每个像素包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。显示元件通过在基底上沉积电极和发光图案形成。
2、发光图案使用掩模形成在预定区域中，通过该掩模限定沉积开口。近年来，正在开发一种使用大面积掩模的沉积工艺技术，以改善显示面板的产量。
技术实现思路
1、本公开提供一种通过将耦接构件耦接到具有很高的刚度的固定框架而具有很高的紧固力的沉积设备。
2、本公开提供了一种能够防止加热器短路的包括屏蔽盖和屏蔽管的沉积设备。
3、本专利技术构思的实施例提供一种沉积设备，所述沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，所述沉积源包括：容纳模块，容纳沉积材料；和加热器模块，与所述容纳模块的外部部分相邻设置以将热量提供到所述沉积材料。所述沉积源容纳在所述内部空间中以提供所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，所述第一加热器盖的第一表面面向所述容纳模块；第二加热器盖，面向所述第一加热器盖的与所述第一加热器盖的所述第一表面背对的第二表面，所述第二加热器盖包括绝缘材料并且提供有穿过所述第二加热器盖限定的第二通孔；加热器，设置在所述第一加热器盖的所述第二表面和所述第二加热器盖的第一表面之间；固定框架，与所述第二加热器盖的与所述第二加热器盖的所述第一表面背对的
4、在实施例中，所述沉积设备还可以包括插入到所述第一通孔和所述第二通孔中并且包括绝缘材料的屏蔽管，并且所述耦接构件可以插入到所述屏蔽管中。
5、在实施例中，所述耦接构件可以包括限定在所述耦接构件的与所述耦接构件的所述第一端相反的第二端处的螺纹，并且所述螺纹可以与所述紧固孔耦接。
6、在实施例中，所述屏蔽管可以具有比所述第二加热器盖的厚度大的高度。
7、在实施例中，所述屏蔽盖和所述屏蔽管中的至少一者可以包括具有大约95％或更大的纯度的氮化硼。
8、在实施例中，所述第一加热器盖可以提供有穿过所述第一加热器盖限定以在平面图中与所述加热器的形状相对应的排出孔，并且从所述加热器生成的热量可以通过所述排出孔排出。
9、在实施例中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者可以包括具有大约95％或更大的纯度的氮化硼。
10、在实施例中，所述第一加热器盖的限定所述第一通孔的内侧表面可以具有与所述屏蔽盖相对应的台阶差。
11、在实施例中，所述固定框架可以具有比所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的每一者的刚度大的刚度。
12、在实施例中，所述加热器模块可以提供为多个加热器模块，并且所述多个加热器模块中的至少一个可以设置在所述容纳模块上方。
13、在实施例中，所述的沉积设备还可以包括固定构件。所述第一加热器盖可以提供有穿过所述第一加热器盖限定的第一固定孔，所述第二加热器盖可以提供有穿过所述第二加热器盖限定的第二固定孔，并且所述固定构件可以插入到所述第一固定孔和所述第二固定孔中。
14、在实施例中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者可以提供与所述加热器相对应以容纳所述加热器的安置凹部。
15、本专利技术构思的实施例提供一种沉积设备，所述沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，所述沉积源包括：容纳模块，容纳沉积材料；和加热器模块，与所述容纳模块的外部部分相邻设置以将热量提供到所述沉积材料。所述沉积源容纳在所述内部空间中以提供所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，所述第一加热器盖的第一表面面向所述容纳模块；第二加热器盖，面向所述第一加热器盖的与所述第一加热器盖的所述第一表面背对的第二表面，所述第二加热器盖包括覆盖构件和突出结构，所述覆盖构件提供有穿过所述覆盖构件限定的第二通孔，所述突出结构从所述覆盖构件突出并且提供有穿过所述突出结构限定的第三通孔，并且所述第二加热器盖包括绝缘材料；加热器，设置在所述第一加热器盖和所述覆盖构件之间；固定框架，与所述第二加热器盖的一个表面耦接，固定所述第二加热器盖，并且提供有穿过所述固定框架限定的紧固孔；以及耦接构件，插入到所述第二通孔、所述第三通孔和所述紧固孔中。所述第一加热器盖包括绝缘材料并且提供有穿过所述第一加热器盖限定的第一通孔。所述突出结构插入到所述第一通孔中。
16、在实施例中，所述的沉积设备还可以包括耦接螺母。所述耦接构件包括限定在所述耦接构件的与所述容纳模块相邻的第一端处的螺纹，并且所述耦接螺母与所述螺纹耦接。
17、在实施例中，所述耦接构件可以包括限定在所述耦接构件的第二端处的耦接头，所述耦接构件的所述第二端与所述耦接构件的所述第一端相反，并且所述固定框架的限定所述紧固孔的内侧表面可以具有与所述耦接头相对应的台阶差。
18、在实施例中，所述沉积设备还可以包括耦接螺母。所述耦接构件可以包括限定在所述耦接构件的与所述容纳模块相邻的第一端处的耦接头以及限定在所述耦接构件的与所述耦接构件的所述第一端相反的第二端处的螺纹，并且所述耦接螺母可以与所述螺纹耦接。
19、在实施例中，所述固定框架的限定所述紧固孔的内侧表面可以具有与所述耦接螺母相对应的台阶差。
20、在实施例中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者可以包括具有大约95％或更大的纯度的氮化硼。
21、在实施例中，所述固定框架可以具有比所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的每一者的刚度大的刚度。
22、在实施例中，所述加热器模块可以提供为多个加热器模块，并且所述多个加热器模块中的至少一个可以设置在所述容纳模块上方。
23、根据实施例，由于沉积设备包括屏蔽盖和屏蔽管，因此防止因沉积材料的微小颗粒的堆叠而导致的加热器的短路。
24、根据上文所述，耦接构件与具有很高的刚度的固定框架耦接，并且因此确保很高的紧固力。
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1.一种沉积设备，其中，所述沉积设备包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括屏蔽管，所述屏蔽管插入到所述第一通孔和所述第二通孔中并且包括绝缘材料，其中，所述耦接构件插入到所述屏蔽管中。
3.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述耦接构件包括螺纹，所述螺纹限定在所述耦接构件的与所述耦接构件的所述第一端相反的第二端处，并且
4.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述屏蔽管具有比所述第二加热器盖的厚度大的高度。
5.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述屏蔽盖和所述屏蔽管中的至少一者包括具有95％或更大的纯度的氮化硼。
6.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖提供有穿过所述第一加热器盖限定以在平面图中与所述加热器的形状相对应的排出孔，并且从所述加热器生成的热量通过所述排出孔排出。
7.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者包括具有95％或更大的纯度的氮化硼。
8.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器
9.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述固定框架具有比所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的每一者的刚度大的刚度。
10.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述加热器模块提供为多个加热器模块，并且所述多个加热器模块中的至少一个设置在所述容纳模块上方。
11.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括固定构件，其中，所述第一加热器盖提供有穿过所述第一加热器盖限定的第一固定孔，所述第二加热器盖提供有穿过所述第二加热器盖限定的第二固定孔，并且所述固定构件插入到所述第一固定孔和所述第二固定孔中。
12.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者提供有与所述加热器相对应以容纳所述加热器的安置凹部。
13.一种沉积设备，其中，所述沉积设备包括：
14.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括耦接螺母，其中，所述耦接构件包括限定在所述耦接构件的与所述容纳模块相邻的第一端处的螺纹，并且所述耦接螺母与所述螺纹耦接。
15.根据权利要求14所述的沉积设备，其中，所述耦接构件包括限定在所述耦接构件的第二端处的耦接头，
16.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括耦接螺母，其中，所述耦接构件包括限定在所述耦接构件的与所述容纳模块相邻的第一端处的耦接头以及限定在所述耦接构件的与所述耦接构件的所述第一端相反的第二端处的螺纹，并且所述耦接螺母与所述螺纹耦接。
17.根据权利要求16所述的沉积设备，其中，所述固定框架的限定所述紧固孔的内侧表面具有与所述耦接螺母相对应的台阶差。
18.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者包括具有95％或更大的纯度的氮化硼。
19.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述固定框架具有比所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的每一者的刚度大的刚度。
20.根据权利要求13所述的沉积设备，其中，所述加热器模块提供为多个加热器模块，并且所述多个加热器模块中的至少一个设置在所述容纳模块上方。
...【技术特征摘要】
1.一种沉积设备，其中，所述沉积设备包括：
2.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括屏蔽管，所述屏蔽管插入到所述第一通孔和所述第二通孔中并且包括绝缘材料，其中，所述耦接构件插入到所述屏蔽管中。
3.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述耦接构件包括螺纹，所述螺纹限定在所述耦接构件的与所述耦接构件的所述第一端相反的第二端处，并且
4.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述屏蔽管具有比所述第二加热器盖的厚度大的高度。
5.根据权利要求2所述的沉积设备，其中，所述屏蔽盖和所述屏蔽管中的至少一者包括具有95％或更大的纯度的氮化硼。
6.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖提供有穿过所述第一加热器盖限定以在平面图中与所述加热器的形状相对应的排出孔，并且从所述加热器生成的热量通过所述排出孔排出。
7.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的至少一者包括具有95％或更大的纯度的氮化硼。
8.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第一加热器盖的限定所述第一通孔的内侧表面具有与所述屏蔽盖相对应的台阶差。
9.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述固定框架具有比所述第一加热器盖和所述第二加热器盖中的每一者的刚度大的刚度。
10.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述加热器模块提供为多个加热器模块，并且所述多个加热器模块中的至少一个设置在所述容纳模块上方。
11.根据权利要求1所述的沉积设备，其中，所述沉积设备还包括固定构件，其中，所述第一加热器盖提供有穿过所述第一加热器盖限定的...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛在完，徐敏逵，尹引泽，崔钟贤，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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