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一种沉积设备包括：腔室，提供内部空间；和沉积源，所述沉积源包括：容纳模块，容纳沉积材料；和加热器模块，将热量提供到所述沉积材料。所述沉积源容纳在所述内部空间中以提供所述沉积材料。所述加热器模块包括：第一加热器盖，包括面向所述容纳模块的表面，...
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