【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器领域，特别涉及一种带压力校准的压差传感器。
技术介绍
1、压差传感器能够监测压力输入端气体或液体的压力差，是生产制造、航空工业中的重要监测设备。由于压差传感器的芯体压敏结构、芯体封装工艺和压力腔制造工艺等原因，压力跨越较大时，压差传感器内易对压力输入的应变响应不对称，产生压差零漂问题。即在压力跨越较大时，零压差的漂移。
2、一般的零漂校准技术，校准后，压力跨越较大时，传感器零压差易漂移，即难以在跨越压力较大时校准零漂。
3、也有技术是监测高压端压力和低压端压力，压力相减，输出压差；但为适应较大压力，传感器的高压端芯体和低压端芯体，均是适应较大压力监测的芯体，在监测的压差较小时，精度低。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术的压差传感器易零漂、监测精度低的缺陷，提供一种带压力校准的压差传感器。
2、本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
3、本专利技术提供一种带压力校准的压差传感器，其特点在于，其包括有压差端基座、压力端基座、壳体、第一输入端、第二输入端、压力输入端、压差监测芯体、压力监测芯体、芯体外电路和电接口，所述压差端基座内设置有第一压力腔、第二压力腔、压力腔和所述压差监测芯体，所述压差端基座上设置有所述第一输入端、所述第二输入端和所述压力输入端，所述压差监测芯体的一端连接所述第一压力腔，所述压差监测芯体的另一端连接所述第二压力腔，所述第一压力腔与所述第一输入端之间设置第一压
4、优选地，所述第一输入端的端部伸入所述压差端基座内，所述第一输入端伸入所述压差端基座内的一端两侧分别连接所述第一压力腔和所述压力腔且与所述第一压力腔和所述压力腔之间分别设置所述第一压力腔金属膜、所述压力腔金属膜。
5、优选地，所述第一输入端与所述压力输入端连通，所述第一输入端与所述压力腔之间设置所述压力腔金属膜。
6、优选地，所述第二输入端与所述压力输入端连通，所述第二输入端与所述压力腔之间设置所述压力腔金属膜。
7、优选地，所述第一输入端开设有第一引压孔，所述第一引压孔用于连接被监测气体或液体的第一压力端口，所述第一压力腔与所述第一引压孔之间设置所述第一压力腔金属膜。
8、优选地，所述第二输入端开设有第二引压孔，所述第二引压孔用于连接被监测气体或液体的第二压力端口，所述第二压力腔与所述第二引压孔之间设置所述第二压力腔金属膜。
9、优选地，所述压力输入端开设有压力引压孔，所述压力引压孔用于连接被监测气体或液体的所述第一压力端口或所述第二压力端口，所述压力腔与所述压力引压孔之间设置所述压力腔金属膜。
10、优选地，所述压力输入端与所述第一输入端在同一位置，所述压力引压孔与所述第一引压孔在同一位置。
11、优选地，所述压力输入端与所述第二输入端在同一位置，所述压力引压孔与所述第二引压孔在同一位置。
12、优选地，所述第二输入端的端部伸入所述压差端基座内，所述第二输入端伸入所述压差端基座内的一端两侧分别连接所述第二压力腔和所述压力腔且与第二压力腔和所述压力腔之间分别设置所述第二压力腔金属膜、所述压力腔金属膜。
13、在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本专利技术各较佳实例。
14、本专利技术的积极进步效果在于：本专利技术中，带压力校准的压差传感器能够解决压差传感器在压力跨越较大时的零漂问题，且能避免压力相减技术的芯体精度问题，能跨越较大压力，灵敏地监测压差。
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1.一种带压力校准的压差传感器，其特征在于：其包括有压差端基座、压力端基座、壳体、第一输入端、第二输入端、压力输入端、压差监测芯体、压力监测芯体、芯体外电路和电接口，所述压差端基座内设置有第一压力腔、第二压力腔、压力腔和所述压差监测芯体，所述压差端基座上设置有所述第一输入端、所述第二输入端和所述压力输入端，所述压差监测芯体的一端连接所述第一压力腔，所述压差监测芯体的另一端连接所述第二压力腔，所述第一压力腔与所述第一输入端之间设置第一压力腔金属膜，所述第二压力腔与所述第二输入端之间设置第二压力腔金属膜，所述压差端基座的一侧设置所述压力端基座，所述压力端基座内设置有所述压力监测芯体，所述压力监测芯体的一端连接于所述压力腔，所述压力输入端与所述压力腔连接，所述压力腔与所述压力输入端之间设置压力腔金属膜，所述压力端基座或所述压差端基座的一侧设置所述壳体，所述芯体外电路设置于所述壳体内，所述壳体上设置所述电接口，所述芯体外电路包括电连接的压差压力集成放大电路单元和压差校准电路单元，所述压差监测芯体、所述压力监测芯体、所述电接口均与所述压差压力集成放大电路单元和所述压差校准电路单元电连接，所
2.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第一输入端的端部伸入所述压差端基座内，所述第一输入端伸入所述压差端基座内的一端两侧分别连接所述第一压力腔和所述压力腔且与所述第一压力腔和所述压力腔之间分别设置所述第一压力腔金属膜、所述压力腔金属膜。
3.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第一输入端与所述压力输入端连通，所述第一输入端与所述压力腔之间设置所述压力腔金属膜。
4.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第二输入端与所述压力输入端连通，所述第二输入端与所述压力腔之间设置所述压力腔金属膜。
5.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第一输入端开设有第一引压孔，所述第一引压孔用于连接被监测气体或液体的第一压力端口，所述第一压力腔与所述第一引压孔之间设置所述第一压力腔金属膜。
6.如权利要求5所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第二输入端开设有第二引压孔，所述第二引压孔用于连接被监测气体或液体的第二压力端口，所述第二压力腔与所述第二引压孔之间设置所述第二压力腔金属膜。
7.如权利要求6所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述压力输入端开设有压力引压孔，所述压力引压孔用于连接被监测气体或液体的所述第一压力端口或所述第二压力端口，所述压力腔与所述压力引压孔之间设置所述压力腔金属膜。
8.如权利要求7所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述压力输入端与所述第一输入端在同一位置，所述压力引压孔与所述第一引压孔在同一位置。
9.如权利要求7所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述压力输入端与所述第二输入端在同一位置，所述压力引压孔与所述第二引压孔在同一位置。
10.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第二输入端的端部伸入所述压差端基座内，所述第二输入端伸入所述压差端基座内的一端两侧分别连接所述第二压力腔和所述压力腔且与第二压力腔和所述压力腔之间分别设置所述第二压力腔金属膜、所述压力腔金属膜。
...【技术特征摘要】
1.一种带压力校准的压差传感器，其特征在于：其包括有压差端基座、压力端基座、壳体、第一输入端、第二输入端、压力输入端、压差监测芯体、压力监测芯体、芯体外电路和电接口，所述压差端基座内设置有第一压力腔、第二压力腔、压力腔和所述压差监测芯体，所述压差端基座上设置有所述第一输入端、所述第二输入端和所述压力输入端，所述压差监测芯体的一端连接所述第一压力腔，所述压差监测芯体的另一端连接所述第二压力腔，所述第一压力腔与所述第一输入端之间设置第一压力腔金属膜，所述第二压力腔与所述第二输入端之间设置第二压力腔金属膜，所述压差端基座的一侧设置所述压力端基座，所述压力端基座内设置有所述压力监测芯体，所述压力监测芯体的一端连接于所述压力腔，所述压力输入端与所述压力腔连接，所述压力腔与所述压力输入端之间设置压力腔金属膜，所述压力端基座或所述压差端基座的一侧设置所述壳体，所述芯体外电路设置于所述壳体内，所述壳体上设置所述电接口，所述芯体外电路包括电连接的压差压力集成放大电路单元和压差校准电路单元，所述压差监测芯体、所述压力监测芯体、所述电接口均与所述压差压力集成放大电路单元和所述压差校准电路单元电连接，所述压力监测芯体输出的电压通过所述压差压力集成放大电路单元放大后接入所述压差校准电路单元，作为所述压差监测芯体的压差监测做零漂校准时的校准电压，所述压差校准电路单元的输出为对压差监测校准后的输出。
2.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感器，其特征在于：所述第一输入端的端部伸入所述压差端基座内，所述第一输入端伸入所述压差端基座内的一端两侧分别连接所述第一压力腔和所述压力腔且与所述第一压力腔和所述压力腔之间分别设置所述第一压力腔金属膜、所述压力腔金属膜。
3.如权利要求1所述的带压力校准的压差传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：武伟成，郭昕，莫婵娟，
申请(专利权)人：上海天沐自动化仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：
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