一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置，在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪，下方设置反射板；光源发出的复色光波经过色散探头散色，第一光波和第二光波分别聚焦于被测透明材料的上表面和下表面并被反射回色散探头；光谱仪接收反射回来的第一光波和第二光波，并通过计算机分别测得第一光波和第二光波的位移数据l(λ<subgt;1</subgt;)、l(λ<subgt;2</subgt;)；控制色散探头在其光轴方向上位移，使第二光波聚焦于反射板的表面；移去被测透明材料，复色光中的第三光波聚焦于反射板的表面，反射板将接收到的第三光波反射回色散探头，并被光谱仪接收，通过计算机测得第三光波的位移数据l(λ<subgt;3</subgt;)。本发明专利技术具有操作简单，通用型性好、可同时测量厚度和折射率等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于透明材料折射率测量及膜厚测量领域，更具体地，特别涉及一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置。

技术介绍

1、折射率是光学材料基本参数之一，介质的折射率随入射光波长的增大而减小，不同波长折射率的差值称为色散。介质的折射率和色散的研究对于了解介质材料的性质有重要意义。透明材料例如液膜在能源工程、航空航天、半导体制造、微电子和石油化工等领域应用广泛，例如膜式蒸发器，光刻胶涂覆，墨水屏液膜等；液膜的厚度控制对于系统性能有非常大的影响，实时监控液膜的厚度对于保证系统有效、稳定的运行至关重要。

2、现有的透明材料测量装置通常采用电容测量原理，光谱吸收测量原理等，测量装置复杂，精度低，校准过程操作不便，难以应用于工业实时检测过程中。同时，目前常规的检测仪器功能单一，需要在已知被测透明材料折射率的条件下才能测量出被测透明材料的厚度，或者需要在已知被测透明材料厚度的条件下才能测量出被测透明材料的折射率，无法同时检测材料折射率和厚度，需要单独购买相关检测设备，提高了检测的成本。

技术实现思路</p>

1、针对本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪，下方设置反射板；

2.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，所述色散探头的光轴与被测透明材料的表面垂直；所述反射板与被测透明材料平行。

3.如权利要求2所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，所述第一光波、第二光波分别在被测透明材料上、下表面的聚焦点与第三光波在反射板表面的聚焦点处于同一轴线上。

4.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，

5.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率...

【技术特征摘要】

1.一种测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪，下方设置反射板；

2.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，所述色散探头的光轴与被测透明材料的表面垂直；所述反射板与被测透明材料平行。

3.如权利要求2所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，所述第一光波、第二光波分别在被测透明材料上、下表面的聚焦点与第三光波在反射板表面的聚焦点处于同一轴线上。

4.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，

5.如权利要求1所述的测量透明材料厚度和折射率的方法，其特征在于，所述光源通过第一光纤与所述色散探头连接，所述色...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢文龙，吴运权，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：