【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、现有技术中，在晶圆针测过程中，测试针板与被测晶圆间相互接触的扎针动作是人工完成的，人与人之间存在力量差异，且无法保证个人对每批晶圆进行扎针时均使用相同的力量和速度。基于上述现有技术的针测方式，可能会因人工扎针的速度过快或力量过大，导致在测试针板与晶圆接点接触的瞬间，晶圆表面以及测试针板的针尖均会受到重大冲击，可能会导致晶圆出现接触不良的现象，并且会影响测试针板的使用寿命。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供了一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质，旨在解决如何防止测试针板与晶圆接触时速度过快导致损坏晶圆以及测试针板的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术实施例提供了一种晶圆针测控制方法，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
3、在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速，所述预设缓冲点设置于所述测试针板的初始位置与晶圆扎针点之间；
4、基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动。
5、可选地，所述在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速的步骤之前，还包括：
6、检测所述测试针板的位置；
7、在检测到所述测试针板未移动至所述预设缓冲点时，检测所述实时移速是否等于第二移速；
8、在检测到所述实时移
9、可选地，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
10、在检测到所述测试针板未移动至所述预设缓冲点时，控制所述测试针板以所述第二移速向所述预设缓冲点进行移动，并重新执行所述检测所述测试针板的位置的步骤。
11、可选地，所述检测所述测试针板的位置的步骤之前，还包括：
12、检测是否需要对晶圆进行扎针操作；
13、在检测到所述晶圆需要进行所述扎针操作时，控制所述测试针板以所述第二移速从所述初始位置向所述晶圆扎针点进行移动。
14、可选地，所述基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动的步骤之后，还包括：
15、检测所述测试针板的位置；
16、在检测到所述测试针板移动至所述晶圆扎针点时，控制所述测试针板停止移动。
17、可选地，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
18、在检测到所述测试针板经过所述预设缓冲点且未移动至所述晶圆扎针点时，基于所述第一移速，控制所述测试针板向所述晶圆扎针点进行移动，并重新执行所述检测所述测试针板的位置的步骤。
19、可选地，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
20、在检测到所述测试针板经过所述预设缓冲点且未移动至所述晶圆扎针点时，检测所述实时速度是否等于所述第一移速；
21、在检测到所述实时移速不等于所述第一移速时，控制所述测试针板停止移动，并反馈速度异常信息。
22、此外，为实现上述目的，本专利技术实施例还提出一种晶圆针测控制装置，所述晶圆针测控制装置包括：
23、测控模块，用于在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速；
24、所述测控模块，还用于基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动。
25、此外，为实现上述目的，本专利技术实施例还提出一种晶圆针测控制设备，所述晶圆针测控制设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的晶圆针测控制程序，所述晶圆针测控制程序配置为实现如上文所述的晶圆针测控制方法的步骤。
26、此外，为实现上述目的，本专利技术实施例还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有晶圆针测控制程序，所述晶圆针测控制程序被处理器执行时实现如上文所述的晶圆针测控制方法的步骤。
27、本专利技术实施例提出一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速，所述预设缓冲点设置于所述测试针板的初始位置与晶圆扎针点之间；基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动。通过在测试针板移动至晶圆扎针点的路径中设置预设缓冲点，使得测试针板在移动至预设缓冲点之前，自动降速至较为缓慢的第一移速，再以第一移速缓慢移动至晶圆扎针点对晶圆进行扎针，防止测试针板移速过快地与晶圆接点发生激烈碰撞，减少因晶圆接点受激烈碰撞导致的接触不良，也延长了测试针板的使用寿命。
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1.一种晶圆针测控制方法，其特征在于，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
2.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速的步骤之前，还包括：
3.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之前，还包括：
5.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动的步骤之后，还包括：
6.如权利要求5所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
7.如权利要求5所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
8.一种晶圆针测控制装置，其特征在于，所述晶圆针测控制装置包括：
9.一种晶圆针测控制设备，其特征在于，所述晶圆针测控制
10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有晶圆针测控制程序，所述晶圆针测控制程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的晶圆针测控制方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆针测控制方法，其特征在于，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
2.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速的步骤之前，还包括：
3.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之前，还包括：
5.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动的步骤之后，还包括：
6.如权利要求5所述的晶圆针测控...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭寂波，
申请(专利权)人：芯测通深圳半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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