【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、现有技术中，在晶圆针测过程中，测试针板与被测晶圆间相互接触的扎针动作是人工完成的，人与人之间存在力量差异，且无法保证个人对每批晶圆进行扎针时均使用相同的力量和速度。基于上述现有技术的针测方式，可能会因人工扎针的速度过快或力量过大，导致在测试针板与晶圆接点接触的瞬间，晶圆表面以及测试针板的针尖均会受到重大冲击，可能会导致晶圆出现接触不良的现象，并且会影响测试针板的使用寿命。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供了一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质，旨在解决如何防止测试针板与晶圆接触时速度过快导致损坏晶圆以及测试针板的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术实施例提供了一种晶圆针测控制方法，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
3、在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速，所述预设缓冲点设置于所述测试针板的初始位置与晶圆扎针点之
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【技术保护点】
1.一种晶圆针测控制方法，其特征在于，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
2.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速的步骤之前，还包括：
3.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之前，还包括：
5.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆针测控制方法，其特征在于，所述晶圆针测控制方法的步骤包括：
2.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述在检测到测试针板移动至预设缓冲点时，控制所述测试针板的实时移速下降至第一移速的步骤之前，还包括：
3.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之后，还包括：
4.如权利要求2所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述检测所述测试针板的位置的步骤之前，还包括：
5.如权利要求1所述的晶圆针测控制方法，其特征在于，所述基于所述第一移速，控制所述测试针板从所述预设缓冲点向所述晶圆扎针点进行移动的步骤之后，还包括：
6.如权利要求5所述的晶圆针测控...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭寂波，
申请(专利权)人：芯测通深圳半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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