下载一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质的技术资料

文档序号:41117320

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本发明提出一种晶圆针测控制方法、装置、设备及存储介质,涉及晶圆测试技术领域,晶圆针测控制方法的步骤包括:在检测到测试针板移动至预设缓冲点时,控制测试针板的实时移速下降至第一移速,预设缓冲点设置于测试针板的初始位置与晶圆扎针点之间;基于第一移...
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