高光谱成像的红外探测器制造技术

本技术提供了一种高光谱成像的红外探测器，包括：衬底；介质层，介质层设置于衬底表面，介质层在第一位置具有第一高度，在第二位置具有第二高度；反射层，反射层设置于介质层表面；微桥阵列，微桥阵列包括在第一位置位于反射层上方的第一微桥结构，和在第二位置位于反射层上方的第二微桥结构，第一微桥结构与其下方的反射层构成用于探测光学信号的第一谐振腔，第二微桥结构与其下方的反射层构成用于探测光学信号的第二谐振腔，第一谐振腔的高度与第二谐振腔的高度不同。本技术在衬底表面设置高度渐变的介质层，令不同位置微桥结构与反射层构成的谐振腔具有不同的吸收波峰，使高光谱成像的红外探测器具备光谱分光检测能力。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及探测器领域，尤其涉及一种高光谱成像的红外探测器。

技术介绍

1、红外光是一种波长比红光更长的电磁波，所有温度高于绝对零度的物体都在向外辐射着红外光。工程常用的探测波段主要有短波红外(1～3μm)，中波红外(3～5μm)以及长波红外(8～14μm)。常用的非制冷红外焦平面阵列探测器以微测辐射热计技术为主，其对红外辐射的吸收主要依靠像元微桥桥面与下方的反射层形成的谐振腔的共振吸收，目前的像元微桥结构的反射层都是水平状态，构成的谐振腔也是固定高度，整个阵列仅能对一定波长范围内的红外信号进行宽光谱吸收和探测，不具备光谱分光检测能力，对目标物体的探测和识别缺少光谱维度的信息。而光谱维度的信息对于目标物体的化学成分识别、复杂环境下的成像质量、提高目标识别侦测等方面具有非常重要的作用。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是提供一种高光谱成像的红外探测器，能够通过探测某一波段或宽波段中不同的峰值吸收波长进而实现光谱分光检测。

2、为了解决上述问题，本技术提供了一种高光谱成像的红外探测器，包括：衬本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高光谱成像的红外探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面呈倾斜状。

3.根据权利要求2所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面的倾斜角度α的范围是0°至90°之间。

4.根据权利要求1所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面呈台阶状。

5.根据权利要求1所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述衬底内设置有驱动电路，所述驱动电路与微桥阵列连接，用于处理所述高光谱成像的红外探测器的输出信号。

6.根据权利要求1所述的高光...

【技术特征摘要】

1.一种高光谱成像的红外探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面呈倾斜状。

3.根据权利要求2所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面的倾斜角度α的范围是0°至90°之间。

4.根据权利要求1所述的高光谱成像的红外探测器，其特征在于，所述介质层的表面呈台阶状。

5.根据权利要求1所述的高...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗雯雯，姜利军，杨翔宇，钱良山，潘峰，马志刚，
申请(专利权)人：杭州大立微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：