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高光谱成像的红外探测器制造技术
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下载高光谱成像的红外探测器的技术资料
文档序号:41115540
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本技术提供了一种高光谱成像的红外探测器,包括:衬底;介质层,介质层设置于衬底表面,介质层在第一位置具有第一高度,在第二位置具有第二高度;反射层,反射层设置于介质层表面;微桥阵列,微桥阵列包括在第一位置位于反射层上方的第一微桥结构,和在第二位...
该专利属于杭州大立微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州大立微电子有限公司授权不得商用。
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