【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三波长合色分色器及其制备方法。
技术介绍
1、目前常见的合色分色器有两种，包括菲利浦rgb合色器和x-cube的合色器。其中菲利浦rgb合色器，由三个不同形状的棱镜组合而成，两分色膜层分别镀在不同棱镜的分色面上，然后根据设计一个分色面胶合，一个分色面设置空气隙结构，其结构复杂，加工方案难度大，加工成本高。而x-cube的合色器，它是由4个相同的等腰直角棱镜组合而成，但如图9所示，这种合色器是在四个直角等腰直角棱镜的直角面上分别镀上不同的分色膜层，然后相邻两个棱镜的直角面进行胶合形成截面为正方形的棱镜结构，该产品对胶合的精度要求很高，若是一个面的胶合出现偏差，则会影响整个分色器的效果。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种三波长合色分色器及其制备方法，本专利技术提供的合色分色器将四个尺寸规格和材料相同的等腰直角棱镜分两组，每组两个等腰直角棱镜之间通过斜面粘合，两组之间再通过直角面粘合构成截面为长方形的棱镜结构，这样不仅只需要在其中两个等腰直角棱镜的斜面上镀分色膜层，而且胶合面少，两组斜面粘合面相互垂直，因此使用时不会因其中某个面的胶合偏差而影响整个合色分色器的使用效果，可降低对胶合的精度要求、并使加工制造更加简单方便。
2、本专利技术通过以下技术方案实现：
3、一种三波长合色分色器，包括4个同尺寸同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三和等腰直角棱镜四，
4、等腰直角棱镜一的斜面一或者等腰直角棱镜二的斜面二上镀制有分
5、分色膜层一的分色膜层指标t≥97％@450&@550nm且r≥97％@650nm aoi＝45°；分色膜层二的分色膜层指标t≥98％@550nm且r≥98％@450nm aoi＝45°。
6、具体地，分色膜层一镀制于等腰直角棱镜一的斜面一上，所述的分色膜层一包括在等腰直角棱镜一的斜面上从里至外依次布设的第一nb2o5膜层、第一sio2膜层、第二nb2o5膜层、第二sio2膜层、第三nb2o5膜层、第三sio2膜层、第四nb2o5膜层、第四sio2膜层、第五nb2o5膜层、第五sio2膜层、第六nb2o5膜层、第六sio2膜层、第七nb2o5膜层、第七sio2膜层、第八nb2o5膜层、第八sio2膜层、第九nb2o5膜层、第九sio2膜层、第十nb2o5膜层、第十sio2膜层、第十一nb2o5膜层、第十一sio2膜层、第十二nb2o5膜层、第十二sio2膜层、第十三nb2o5膜层、第十三sio2膜层和第十四nb2o5膜层；
7、分色膜层二镀制于等腰直角棱镜三的斜面三上，所述的分色膜层二包括在等腰直角棱镜三斜面上从里至外依次布设的第十五nb2o5膜层、第十五sio2膜层、第十六nb2o5膜层、第十六sio2膜层、第十七nb2o5膜层、第十七sio2膜层、第十八nb2o5膜层、第十八sio2膜层、第十九nb2o5膜层、第十九sio2膜层、第二十nb2o5膜层、第二十sio2膜层、第二十一nb2o5膜层、第二十一sio2膜层、第二十二nb2o5膜层、第二十二sio2膜层、第二十三nb2o5膜层、第二十三sio2膜层、第二十四nb2o5膜层、第二十四sio2膜层、第二十五nb2o5膜层、第二十五sio2膜层、第二十六nb2o5膜层和第二十六sio2膜层。
8、本专利技术的三波长合色分色器当作为分色器时，三条出射光相互垂直或者平行成90°或180°，因而容易进行光路优化设计和调整，而且光路可逆；本专利技术的分色膜层一t≥97％@450&@550nm且r≥97％@650nmaoi＝45度，分色膜层二t≥98％@550nm且r≥98％@450nmaoi＝45度，从而形成三波长合色分色器，可以把3个波长的光合成新的一束光或把一束光分成3个波长。
9、具体地，所述的第一nb2o5膜层的厚度为80.07-97.87nm，第一sio2膜层的厚度为195.71-239.20nm，第二nb2o5膜层的厚度为25.95-31.71nm，第二sio2膜层的厚度为232.32-283.94nm，第三nb2o5膜层的厚度为51.61-63.07nm，第三sio2膜层的厚度为175.88-214.96nm，第四nb2o5膜层的厚度为47.99-58.652nm，第四sio2膜层的厚度为188.64-230.560nm，第五nb2o5膜层的厚度为48.34-59.08nm，第五sio2膜层的厚度为213.30-260.70nm，第六nb2o5膜层的厚度为45.95-56.16nm，第六sio2膜层的厚度为190.62-232.98nm，第七nb2o5膜层的厚度为50.42-61.62nm，第七sio2膜层的厚度为183.99-224.87nm，第八nb2o5膜层的厚度为50.382-61.58nm，第八sio2膜层的厚度为190.17-232.43nm，第九nb2o5膜层的厚度为45.71-55.87nm，第九sio2膜层的厚度为213.624-261.10nm，第十nb2o5膜层的厚度为48.51-59.29nm，第十sio2膜层的厚度为188.67-230.59nm，第十一nb2o5膜层的厚度为48.375-59.13nm，第十一sio2膜层的厚度为174.73-213.55nm，第十二nb2o5膜层的厚度为51.43-62.85nm，第十二sio2膜层的厚度为232.182-283.78nm，第十三nb2o5膜层的厚度为26.48-32.36nm，第十三sio2膜层的厚度为196.51-240.17nm，第十四nb2o5膜层的厚度为79.34-96.97nm；
10、第十五nb2o5膜层的厚度为45.77-55.94nm，第十五sio2膜层的厚度为288.02-352.02nm，第十六nb2o5膜层的厚度为43.56-53.24nm，第十六sio2膜层的厚度为115.60-141.28nm，第十七nb2o5膜层的厚度为31.89-38.97nm，第十七sio2膜层的厚度为115.52-141.19nm，第十八nb2o5膜层的厚度为44.06-53.86nm，第十八sio2膜层的厚度为310.92-380.02nm，第十九nb2o5膜层的厚度为45.25-55.31nm，第十九sio2膜层的厚度为119.91-146.55nm，第二十nb2o5膜层的厚度为31.87-38.95nm，第二十sio2膜层的厚度为114.65-142.33nm，第二十一nb2o5膜层的厚度为32.427-39.633nm，第二十一sio2膜层的厚度为120.762-147.608nm，第二十二nb2o5膜层的厚度为本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种三波长合色分色器，其特征在于：包括4个同尺寸同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三和等腰直角棱镜四，
2.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：分色膜层一镀制于等腰直角棱镜一的斜面一上，所述的分色膜层一包括在等腰直角棱镜一的斜面上从里至外依次布设的第一Nb2O5膜层、第一SiO2膜层、第二Nb2O5膜层、第二SiO2膜层、第三Nb2O5膜层、第三SiO2膜层、第四Nb2O5膜层、第四SiO2膜层、第五Nb2O5膜层、第五SiO2膜层、第六Nb2O5膜层、第六SiO2膜层、第七Nb2O5膜层、第七SiO2膜层、第八Nb2O5膜层、第八SiO2膜层、第九Nb2O5膜层、第九SiO2膜层、第十Nb2O5膜层、第十SiO2膜层、第十一Nb2O5膜层、第十一SiO2膜层、第十二Nb2O5膜层、第十二SiO2膜层、第十三Nb2O5膜层、第十三SiO2膜层和第十四Nb2O5膜层；
3.根据权利要求2所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的第一Nb2O5膜层的厚度为80.07-97.87nm，第一SiO2膜层的厚度为195.7
4.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的等腰直角棱镜一的两个直角面上、等腰直角棱镜三的非黏合直角面六以及等腰直角棱镜四的与直角面一平行的直角面四上均镀制有增透膜层。
5.根据权利要求4所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的增透膜层包括在基底上从里至外的第二十七Nb2O5膜层、第二十七SiO2膜层、第二十八Nb2O5膜层、第二十八SiO2膜层。
6.根据权利要求5所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：第二十七Nb2O5膜层的厚度为12.42-12.94nm；第二十七SiO2膜层的厚度为35.33-36.77nm；第二十八Nb2O5膜层的厚度为115.75-120.47nm；第二十八SiO2膜层的厚度为87.23-90.79nm。
7.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三和等腰直角棱镜四的基底材料为石英玻璃。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的三波长合色分色器的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
9.根据权利要求8所述的三波长合色分色器的制备方法，其特征在于：还包括如下步骤：在所述的等腰直角棱镜一的两个直角面上、等腰直角棱镜三的非黏合直角面六以及等腰直角棱镜四的与直角面一平行的直角面四上均镀制有增透膜层。
...【技术特征摘要】
1.一种三波长合色分色器，其特征在于：包括4个同尺寸同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三和等腰直角棱镜四，
2.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：分色膜层一镀制于等腰直角棱镜一的斜面一上，所述的分色膜层一包括在等腰直角棱镜一的斜面上从里至外依次布设的第一nb2o5膜层、第一sio2膜层、第二nb2o5膜层、第二sio2膜层、第三nb2o5膜层、第三sio2膜层、第四nb2o5膜层、第四sio2膜层、第五nb2o5膜层、第五sio2膜层、第六nb2o5膜层、第六sio2膜层、第七nb2o5膜层、第七sio2膜层、第八nb2o5膜层、第八sio2膜层、第九nb2o5膜层、第九sio2膜层、第十nb2o5膜层、第十sio2膜层、第十一nb2o5膜层、第十一sio2膜层、第十二nb2o5膜层、第十二sio2膜层、第十三nb2o5膜层、第十三sio2膜层和第十四nb2o5膜层；
3.根据权利要求2所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的第一nb2o5膜层的厚度为80.07-97.87nm，第一sio2膜层的厚度为195.71-239.20nm，第二nb2o5膜层的厚度为25.95-31.71nm，第二sio2膜层的厚度为232.32-283.94nm，第三nb2o5膜层的厚度为51.61-63.07nm，第三sio2膜层的厚度为175.88-214.96nm，第四nb2o5膜层的厚度为47.99-58.652nm，第四sio2膜层的厚度为188.64-230.560nm，第五nb2o5膜层的厚度为48.34-59.08nm，第五sio2膜层的厚度为213.30-260.70nm，第六nb2o5膜层的厚度为45.95-56.16nm，第六sio2膜层的厚度为190.62-232.98nm，第七nb2o5膜层的厚度为50.42-61.62nm，第七sio2膜层的厚度为183.99-224.87nm，第八nb2o5膜层的厚度为50.382-61.58nm，第八sio2膜层的厚度为190.17-232.43nm，第九nb2o5膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱元强，陈昕，林兆忠，
申请(专利权)人：福建福特科光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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