一种碳化硅加工降温水风冷却设备制造技术

技术编号:41095300 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-25 13:53
本技术涉及碳化硅加工技术领域,且公开了一种碳化硅加工降温水风冷却设备,包括底座,所述底座上设置有炉体和侧板,所述侧板上固定连接有顶板,所述顶板的下表面两侧均固定连接有电推杆,所述电推杆的底部固定连接有承接板。该碳化硅加工降温水风冷却设备,通过水泵可以将冷却水箱内部的水从第一连接管导入到第二连接管的内部,再通过空腔块和排水槽喷射到炉体的内壁上,然后通过设置驱动组件,可以使得第二连接管进行旋转,电推杆带动承接板向下运动,从而可以使得空腔块同步向下运动,以此可以对炉体内壁各个位置进行降温处理,解决了现有技术中无法对炉体内壁各个位置进行均匀降温的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅加工,具体为一种碳化硅加工降温水风冷却设备


技术介绍

1、碳化硅由于其化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好等较多的优点,除作磨料用外,还有很多其他用途,其中单晶碳化硅目前主要应用于半导体加工,而对于碳化硅晶体的加工往往会利用加工设备对原材料进行高温加工,现有的单晶碳化硅材料的加工设备大多结构简单且功能性较为单一,当对碳化硅材料加热完成后,加热炉体内部的温度仍然会在一段时间内保持较高状态,需要静置较长的时间,不能在一定程度内快速的进行降温散热,若工作人员不等待完全冷却后直接离开,炉体高温具有一定的危险性。

2、基于上述技术问题,专利号为cn217231023u的中国专利,公开了提供一种单晶碳化硅材料的加工设备,涉及单晶碳化硅加工领域。所述一种单晶碳化硅材料的加工设备包括底座,所述内置板壳内滑动连接有两个嵌合板,所述底座的侧壁上固定连接有水箱,所述水箱的内部设有水泵。本技术提供的一种单晶碳化硅材料的加工设备通过启动电机使驱动长轴转动带动两个连接件在两个长槽中移动,使两个嵌合板同时在内置板壳中滑动打开,即可使多口喷头暴露在内置板壳上的方形开口位置处,进行喷洒冷却水降温,也能够很好的避免在高温加工状态下多口喷头与连接管体受热损坏;通过水流带动斗形腔固定管中的涡轮叶转动,使细杆顶端的风扇叶随之转动吹风,即可很好的加速多个分流绕管中的水流散温。

3、现有技术在进行使用时仍存在着一定的不足,例如,现有技术中只是单纯依靠喷洒冷却水进行降温,无法对炉体内壁各个位置进行均匀降温,降温效果较差。


技术实现思路

1、本技术提供了一种碳化硅加工降温水风冷却设备,具备均匀散热降温的有益效果,解决了上述
技术介绍
中所提到的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种碳化硅加工降温水风冷却设备,包括底座,所述底座上设置有炉体和侧板,所述侧板上固定连接有顶板,所述顶板的下表面两侧均固定连接有电推杆,所述电推杆的底部固定连接有承接板,所述承接板上固定安装有冷却水箱,所述冷却水箱上设置有供水组件;

3、所述供水组件包括水泵,所述水泵设置于所述冷却水箱上,所述水泵的出水端固定连接有第一连接管,所述第一连接管远离所述水泵的一端外侧转动连接有第二连接管,所述第二连接管和所述承接板之间转动连接,所述第二连接管的底部固定连接有空腔块,所述空腔块的两侧均开设有排水槽,所述承接板上相对于所述第二连接管的位置设置有驱动组件。

4、优选的,所述冷却水箱上固定连接有注水管。

5、优选的,所述承接板的上表面和下表面均设置有限位板,两个所述限位板均固定套接于所述第二连接管的外侧,两个所述限位板与所述承接板之间转动连接。

6、优选的,所述第二连接管的顶部嵌入安装有轴承,所述第一连接管的一端与所述轴承固定套接,所述第一连接管通过所述轴承与所述第二连接管转动连接。

7、优选的,所述驱动组件包括第一皮带轮、第二皮带轮和传动皮带,所述第一皮带轮和所述第二皮带轮之间通过所述传动皮带传动连接,所述第一皮带轮固定套接于所述第二连接管的一端外侧,所述第二皮带轮的内部固定套接有驱动轴,所述驱动轴的一端固定连接有电机,所述电机与所述承接板的上表面相连接。

8、优选的,所述空腔块的外侧面固定连接有横板,所述横板的一侧设置有导向轮,所述导向轮的外侧面与所述炉体的内侧壁相贴合,所述横板一侧相对于所述导向轮的位置开设有转动槽,所述横板上相对于所述导向轮的位置固定套接有轴销。

9、优选的,所述排水槽和所述横板的数量均为两个,两个所述排水槽和两个所述横板之间交替设置。

10、本技术具备以下有益效果:

11、该碳化硅加工降温水风冷却设备,通过设置冷却水箱、供水组件和驱动组件等结构,可以在降温时,通过水泵可以将冷却水箱内部的水从第一连接管导入到第二连接管的内部,再通过空腔块和排水槽喷射到炉体的内壁上,然后通过设置驱动组件,可以使得第二连接管进行旋转,从而可以对炉体内壁一周进行喷射降温,同时通过在降温的同时,电推杆带动承接板向下运动,从而可以使得空腔块同步向下运动,以此可以对炉体内壁各个位置进行降温处理,以此可以起到均匀降温的目的,解决了现有技术中无法对炉体内壁各个位置进行均匀降温的问题。

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【技术保护点】

1.一种碳化硅加工降温水风冷却设备,包括底座(1),所述底座(1)上设置有炉体(2)和侧板(3),所述侧板(3)上固定连接有顶板(4),其特征在于:所述顶板(4)的下表面两侧均固定连接有电推杆(5),所述电推杆(5)的底部固定连接有承接板(6),所述承接板(6)上固定安装有冷却水箱(7),所述冷却水箱(7)上设置有供水组件;

2.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述冷却水箱(7)上固定连接有注水管(11)。

3.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述承接板(6)的上表面和下表面均设置有限位板(17),两个所述限位板(17)均固定套接于所述第二连接管(10)的外侧,两个所述限位板(17)与所述承接板(6)之间转动连接。

4.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述第二连接管(10)的顶部嵌入安装有轴承(18),所述第一连接管(9)的一端与所述轴承(18)固定套接,所述第一连接管(9)通过所述轴承(18)与所述第二连接管(10)转动连接。

5.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述驱动组件包括第一皮带轮(12)、第二皮带轮(13)和传动皮带(14),所述第一皮带轮(12)和所述第二皮带轮(13)之间通过所述传动皮带(14)传动连接,所述第一皮带轮(12)固定套接于所述第二连接管(10)的一端外侧,所述第二皮带轮(13)的内部固定套接有驱动轴(15),所述驱动轴(15)的一端固定连接有电机(16),所述电机(16)与所述承接板(6)的上表面相连接。

6.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述空腔块(19)的外侧面固定连接有横板(21),所述横板(21)的一侧设置有导向轮(22),所述导向轮(22)的外侧面与所述炉体(2)的内侧壁相贴合,所述横板(21)一侧相对于所述导向轮(22)的位置开设有转动槽,所述横板(21)上相对于所述导向轮(22)的位置固定套接有轴销(23)。

7.根据权利要求6所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述排水槽(20)和所述横板(21)的数量均为两个,两个所述排水槽(20)和两个所述横板(21)之间交替设置。

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【技术特征摘要】

1.一种碳化硅加工降温水风冷却设备,包括底座(1),所述底座(1)上设置有炉体(2)和侧板(3),所述侧板(3)上固定连接有顶板(4),其特征在于:所述顶板(4)的下表面两侧均固定连接有电推杆(5),所述电推杆(5)的底部固定连接有承接板(6),所述承接板(6)上固定安装有冷却水箱(7),所述冷却水箱(7)上设置有供水组件;

2.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述冷却水箱(7)上固定连接有注水管(11)。

3.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述承接板(6)的上表面和下表面均设置有限位板(17),两个所述限位板(17)均固定套接于所述第二连接管(10)的外侧,两个所述限位板(17)与所述承接板(6)之间转动连接。

4.根据权利要求1所述的碳化硅加工降温水风冷却设备,其特征在于:所述第二连接管(10)的顶部嵌入安装有轴承(18),所述第一连接管(9)的一端与所述轴承(18)固定套接,所述第一连接管(9)通过所述轴承(18)与所述第二连接管(10)转动连接。

5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵伟马克俊王婧刘强
申请(专利权)人:天祝鑫澳源碳材科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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