【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种rf generator阻抗匹配装置。
技术介绍
1、射频电源主要应用于半导体和泛半导体领域，如太阳能光伏行业、新材料行业、显示面板，科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等。在芯片生产中主要应用于等离子体刻蚀和等离子增强气相沉积这两种设备上。在反射测试过程中，对于不同频率的射频电源反射测试往往需要调节阻抗匹配装置上的不同点位以达到所相应的驻波比。
2、而现有技术中，阻抗匹配装置可调节的阻抗范围小，同一个阻抗匹配装置达到的不同点位所相应的驻波比有限，本技术提供一种rf generator的反射测试阻抗匹配装置，可以达到更多点位所相应的驻波比，实现对不同频率的射频电源进行反射测试。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种rfgenerator阻抗匹配装置。
2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种rf generator阻抗匹配装置，包括壳体，所述壳体内设置有旋钮数值调节器，所述旋钮数值调节器还配套设置有阻抗调节电路，所述阻抗调节电路中设置有三组可调电容，每组可调电容都设置有两个可调电容，每对可调电容之间相互并联，并且三组可调电容之间相互串联。
4、进一步的，所述旋钮数值调节器共设置有六个，每个所述旋钮数值调节器分别与一个可调电容相连。
5、进一步的，所述阻抗调节电路中还设置有电感l1，所述电感l1串联在所述
6、进一步的，所述壳体中还设置有输入输出端口，所述输入输出端口分为输入端口和输出端口，分别设置在盒体的两侧，所述输入端口与所述阻抗调节电路的输入端相连，所述输出端口与所述阻抗调节电路的输出端相连。
7、进一步的，所述壳体中还设置有直流风扇，所述直流风扇嵌设在所述壳体中，并且所述直流风扇的风口对着所述阻抗调节电路。
8、进一步的，所述直流风扇还配套设置有220v供电插头，所述220v供电插头为所述直流风扇提供电能。
9、进一步的，所述220v供电插头与所述直流风扇之间还设置有ac-dc转换器，所述ac-dc转换器将220v的交流电转换为24v的直流电。
10、进一步的，所述壳体中还设置有进出水口，所述进出水口在所述壳体内部铺设有水管，该水管沿着所述阻抗调节电路铺设，为所述阻抗调节电路进行水冷降温。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果为：
12、1、本申请设计了三组可调电容，三组相互串联，每组的可调电容之间相互并联，可调电容之间相互并联，使得这组的两个电容的阻抗可以直接相加，提高了一组电容可调节的阻抗最大值，而每组电容之间相互串联，又进一步确保了三组电容的阻抗之和不会过大，这样的设计，保证了阻抗在安全范围内的最大调控范围，使得本设计可以达到更多不同点位的驻波比，解决了现有的问题。
13、2、本申请在阻抗调节电路中还设置了电感，该电感可以避免电路中谐波放大和电容的过流损坏，确保的电路的稳定性，也保证了电容在调节过程中的运行安全。
14、3、本申请还设置了风冷和水冷装置，帮助电容在调节过程中降温，避免高温损坏电容，同时也提高了设备的使用寿命。
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1.一种RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有旋钮数值调节器，所述旋钮数值调节器还配套设置有阻抗调节电路，所述阻抗调节电路中设置有三组可调电容，每组可调电容都设置有两个可调电容，每对可调电容之间相互并联，并且三组可调电容之间相互串联。
2.根据权利要求1所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述旋钮数值调节器共设置有六个，每个所述旋钮数值调节器分别与一个可调电容相连。
3.根据权利要求1所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述阻抗调节电路中还设置有电感L1，所述电感L1串联在所述阻抗调节电路的输出端。
4.根据权利要求1所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述壳体中还设置有输入输出端口，所述输入输出端口分为输入端口和输出端口，分别设置在盒体的两侧，所述输入端口与所述阻抗调节电路的输入端相连，所述输出端口与所述阻抗调节电路的输出端相连。
5.根据权利要求1所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述壳体中还设置有直流风扇，所
6.根据权利要求5所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述直流风扇还配套设置有220V供电插头，所述220V供电插头为所述直流风扇提供电能。
7.根据权利要求6所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述220V供电插头与所述直流风扇之间还设置有AC-DC转换器，所述AC-DC转换器将220V的交流电转换为24V的直流电。
8.根据权利要求1所述的RF Generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述壳体中还设置有进出水口，所述进出水口在所述壳体内部铺设有水管，该水管沿着所述阻抗调节电路铺设，为所述阻抗调节电路进行水冷降温。
...【技术特征摘要】
1.一种rf generator阻抗匹配装置，其特征在于：包括壳体，所述壳体内设置有旋钮数值调节器，所述旋钮数值调节器还配套设置有阻抗调节电路，所述阻抗调节电路中设置有三组可调电容，每组可调电容都设置有两个可调电容，每对可调电容之间相互并联，并且三组可调电容之间相互串联。
2.根据权利要求1所述的rf generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述旋钮数值调节器共设置有六个，每个所述旋钮数值调节器分别与一个可调电容相连。
3.根据权利要求1所述的rf generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述阻抗调节电路中还设置有电感l1，所述电感l1串联在所述阻抗调节电路的输出端。
4.根据权利要求1所述的rf generator阻抗匹配装置，其特征在于：所述壳体中还设置有输入输出端口，所述输入输出端口分为输入端口和输出端口，分别设置在盒体的两侧，所述输入端口与所述阻抗调节电路的输入端相连，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张利娜，魏宇臻，
申请(专利权)人：江苏志文半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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